一种显示面板的制作方法技术

本发明专利技术公开本发明专利技术所述显示面板的制作方法包括提供一基板，基板上具有第一金属层，基板包括第一显示区域及第一外围区域，第一金属层覆盖第一显示区域及第一外围区域；在第一金属层上铺设光阻层，形成第一半成板；对第一半成板进行曝光、显影，形成第二半成板，其中，第二半成板对应第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一及第二预设图案；对第二半成板进行蚀刻、剥离，使得第一显示区域上形成第一预设金属线组，第一外围区域上形成第二预设金属线组。本发明专利技术大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现，进而大大提高了显示面板的良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子领域，尤其涉及。
技术介绍
目前常用的电子设备及仪器主要以金属线作为导线来传播信号，使用金属导线有助于降低设备的生产成本增加电子设备稳定性，所以形成金属线的材料要求价格低廉，具有较低的电阻和耐腐蚀性。液晶显示器的液晶面板一般由彩膜基板和阵列基板构成，阵列基板中的栅极线和数据线一般都是用包括铝及铝合金或者铜作为金属导线。然而使用纯铝作为导线，在后续高温制成中由于应力作用，铝的表面容易形成凸起进而破坏绝缘层导致播磨晶体管的电性异常。如果使用纯铜作为金属电极，由于铜与玻璃或者氮化硅或者氧化硅的附着力不好，容易形成金属膜剥落的现象。为克服这些问题经常使用多层铝结构或者多层铜结构作为栅极或者数据电极，具体的是将铝或者铜与高耐腐蚀性的钼或者钛叠层在一起。然而在显示器面板的制作过程中，多层结构的电极中不同金属的蚀刻率不同，特别是钼或者钛比较不活泼，显示区外围有大面积金属待蚀刻时经常会现出大面积现底层金属钼或者钛残留，容易引起后续制成出现静电放电(ESD)，从而造成面板良率大大降低失。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供，以提供显示面板的良率。为了实现上述目的，本专利技术实施方式提供如下技术方案:本专利技术供了，包括:提供一基板，所述基板上具有第一金属层，所述基板包括第一显示区域及第一外围区域，所述第一金属层覆盖所述第一显示区域及所述第一外围区域；在所述第一金属层上铺设光阻层，形成第一半成板；对所述第一半成板进行曝光、显影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板对应所述第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一预设图案及第二预设图案；对所述第二半成板进行蚀刻、剥离，从而使得所述第一显示区域上形成第一预设金属线组，所述第一外围区域上形成第二预设金属线组。其中，所述第二预设金属线组中的每个金属线的宽度小于I厘米。其中，所述第二预设金属线组中的金属线为直线、曲线或折线。其中，所述第二预设金属线组中的金属线为虚线状。其中，所述第二预设金属线组中的相邻两金属线之间的距离均相同。其中，所述基板上还具有第二金属层，所述第二金属层包括第二显示区域及第二外围区域；其中，所述制作方法还包括:在所述第二金属层上铺设光阻层，形成第三半成板；对所述第三半成板进行曝光、显影，形成第四半成板，其中，所述第四半成板对应所述第二显示区域及第二外围区域的区域分别形成第三预设图案及第四预设图案；对所述第四半成板进行蚀刻、剥离，从而使得所述第二显示区域上形成第三预设金属线组，所述第二外围区域上形成第四预设金属线组。其中，所述第四预设金属线组中的每个金属线的宽度小于I厘米。其中，所述第四预设金属线组中的金属线为直线、曲线或折线。其中，所述第四预设金属线组中的金属线为虚线。其中，所述第四预设金属线组中的相邻两金属线之间的距离均相同。本专利技术所述显示面板的制作方法包括提供一基板，所述基板上具有第一金属层，所述基板包括第一显示区域及第一外围区域，所述第一金属层覆盖所述第一显示区域及所述第一外围区域；在所述第一金属层上铺设光阻层，形成第一半成板；对所述第一半成板进行曝光、显影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板对应所述第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一预设图案及第二预设图案；对所述第二半成板进行蚀刻、剥离，从而使得所述第一显示区域上形成第一预设金属线组，所述第一外围区域上形成第二预设金属线组。由于在所述第一外围区域上形成了所述第二预设金属线组，从而形成了若干的引流道，以在进行蚀刻时引导蚀刻液进行流动，进而加速了蚀刻的速度及范围，使得所述第一外围区域不会再由大面的金属残留，大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现，进而大大提高了显示面板的良率。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术第一实施例提供的的流程图；图2是采用图1的方法制成的显示面板在处于步骤101时的示意图；图3是采用图1的方法制成的显示面板在处于步骤104时的示意图，其中显示区域的第一预设金属线组未示出；图4是本专利技术第一实施例提供的的流程图。【具体实施方式】下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。请参阅图1至图3，本专利技术第一实施例提供。所述方法包括一下步骤:步骤101、提供一基板200，所述基板200上具有第一金属层，所述基板200包括第一显示区域210及第一外围区域220。所述第一金属层覆盖所述第一显示区域210及所述第一外围区域220。需要说明的是，所述基板200可以为薄膜晶体管阵列基板。所述第一金属层可以为所述基板上的第一层，也可以为所述基板200的其他层。所述第一金属层可以为在所述基板上通过金属溅射成膜形成所述第一金属层。所述第一金属层为金属膜。所述第一外围区域220为所述第一显示区域210的外围区域。所述第一金属层可以是将铝或者铜于不活泼金属(如钼或者钛)叠层在一起的层。步骤102、在所述第一金属层上铺设光阻层，形成第一半成板。需要说明的是，本实施例中，采用旋涂方式或辊涂方法在所述第一半成板表面上涂布光阻剂。在其他实施例中，也可以采用其他的方式在所述第一半成板表面上涂布光阻剂。步骤103、对所述第一半成板进行曝光、显影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板对应所述第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一预设图案及第二预设图案。在本实施例中，所述光阻剂为正型光阻剂。所述正型光阻剂在所述预设波长的紫外线的照射下光阻剂的光照部分发生分解，溶解度增大，在所述第一半成板的对应所述第一显示区域的区域内形成所述第一预设图案，且在对应所述第一外围区域的区域上形成所述第二预设区域。在其他的实施例中，所述光阻剂也可以为负型光阻剂。所述负型光阻剂在所述预设波长的紫外线的照射下光阻剂的光照部分发生反应，溶解度变小，在所述第一半成板的对应第一显示区域的区域内形成与所述第一预设图案相反的图案，在对应所述第一外围区域的区域上形成与所述二预设图案相反的图案。步骤104、对所述第二半成板进行蚀刻、剥离，从而使得所述第一显示区域上形成第一预设金属线组，所述第一外围区域上形成第二预设金属线组310(参阅图3)。需要说明的是，可以采用混合酸作为蚀刻剂。其中，所述混合酸包括磷酸及硝酸。可以通过预设浓度的碱液进行剥离，在所述第一显示区域内形成第一预设金属线组，在所述第一外围区域上形成所述第二预设金属线组。其中，所述预设浓度的碱液为KOH、NaOH或有机碱。相邻的两个金属线之间形成引流道，用于引导蚀刻液的流动方向。所述第一预设金属线组包括栅极线及数据线。需要说明的是，在步骤104完成之后，所述显示面板还尚未完成，后续还需要进行真空制成等，最后在进行切割得到一个一个显示面板。在本实施例中，所述显示面板的制作方法包括提供一基板，所述基板上具有第一金属层，所述基板包括第一显示区域及第一外围区域，所述第一金属层覆盖所述第一显示区域及所述第一外围区域；在所述第一金属层上铺设光阻层，形成第一半成板；对所述第一半成板进行曝光、显影，形成第二半成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板的制作方法，包括：提供一基板，所述基板上具有第一金属层，所述基板包括第一显示区域及第一外围区域，所述第一金属层覆盖所述第一显示区域及所述第一外围区域；在所述第一金属层上铺设光阻层，形成第一半成板；对所述第一半成板进行曝光、显影，形成第二半成板，其中，所述第二半成板对应所述第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一预设图案及第二预设图案；对所述第二半成板进行蚀刻、剥离，从而使得所述第一显示区域上形成第一预设金属线组，所述第一外围区域上形成第二预设金属线组。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘元甫，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44