一种气体中微量杂质分析装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种气体中微量杂质分析装置及方法，属于气相色谱分析领域。所述装置包括：切换阀Ⅰ、切换阀Ⅱ、切换阀Ⅲ、切换阀Ⅳ，以及载气Ⅰ、载气Ⅱ、载气Ⅲ和载气Ⅳ四路载气气路；其中，切换阀Ⅰ上设有两个定量管，分别为定量管I和定量管II；切换阀Ⅰ和切换阀Ⅱ之间设有第一分子筛柱，在切换阀Ⅲ和切换阀Ⅳ之间设有第二分子筛柱，在切换阀Ⅰ和切换阀Ⅳ之间设有Porapak Q柱，在切换阀Ⅲ上设有脱氧柱和三通转换阀。本发明专利技术还提供了一种气体中微量杂质分析方法，只需一次进样的即可完成所有微量杂质的分析，能够分析包括氧气在内的多种高纯气、超纯气及其混合气中的微量杂质，节约分析成本，简化进样操作，加快分析速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，具体涉及一种高纯气/超纯气及其混合气中微量杂质分析装置及方法，属于气相色谱分析领域。
技术介绍
尚纯与超尚纯气体的彳丁业国豕标准，如尚(超尚)纯氣、尚(超尚)纯氣、尚(超尚)纯氣、尚(超尚)纯気、尚(超尚)纯氧等工业气体和电子工业用气，均规定使用ng/g (PPb)级高灵敏度的TOHID氦离子化检测器检测(本文中简称PDD检测器)。为满足上述诸多气体中微量或痕量杂质组分的检测，有必要设计一套适用于PDD检测器的色谱气路流程。专利CN 102628846A提供了一套超高纯气体分析的色谱工艺流程，必须通过二次进样和气路切换才能完成超高纯气体中所有杂质组分分离，分离开的气体杂质组分进入PDD检测器定量。主体成份在十通切换阀第一次进样预切分开H2、02/kr, N2, CH4, CO组分，第二次进样反吹C02、C2+组分；再分离后切换进入PDD检测器。由于氧气会加快PDD检测器的氧化，因此该工艺流程不适用于高纯氧和含氧混合气中杂质组分分析。在气相色谱分析中，氧和氩两个组分较难分离，通常以氧和氩的总和(混合峰)表现出来，所以，在国家标准《电子工业用气体氧》(GB/T1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体中微量杂质分析装置，其特征在于，所述装置包括：切换阀Ⅰ(1)、切换阀Ⅱ(2)、切换阀Ⅲ(3)、切换阀Ⅳ(4)，以及载气Ⅰ、载气Ⅱ、载气Ⅲ和载气Ⅳ四路载气气路；其中，切换阀Ⅰ(1)上设有两个定量管，分别为定量管Ⅰ(61)和定量管Ⅱ(62)；切换阀Ⅰ(1)和切换阀Ⅱ(2)之间设有第一分子筛柱(71)，在切换阀Ⅲ(3)和切换阀Ⅳ(4)之间设有第二分子筛柱(72)，在切换阀Ⅰ(1)和切换阀Ⅳ(4)之间设有Porapak Q柱(8)，在切换阀Ⅲ(3)上设有脱氧柱(9)和三通转换阀(12)；所述切换阀Ⅰ(1)为吹扫型十通气动切换阀，其十个接口序号为①、②、③、④、⑤、⑥、⑦、⑧、⑨和⑩；所述切换阀...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闫云，刘晓林，董云峰，代伟娜，许东海，黄国庆，陈欢，石晶，李晓昆，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所，
类型：发明
国别省市：河北;13