基于光纤光栅微腔的FPI氢气传感器制造技术

基于光纤光栅微腔的FPI氢气传感器，其特征包括：宽带光源，单模传输光纤，镀有Pt/WO3膜的光纤光栅微腔FPI传感头，气室，光谱仪；所述镀有Pt/WO3膜的光纤光栅微腔FPI传感头由光纤光栅、微腔、Pt/WO3膜构成；氢气作用于Pt/WO3膜，Pt/WO3膜折射率会发生变化，导致透射波干涉波峰发生变化，通过检测干涉波峰的位置，可以实现高灵敏度的氢气浓度的测量。然而在Pt/WO3膜与氢气发生反应过程中，环境温度会发生变化，对测量结果的精确度造成影响。由于有光纤光栅的存在，可以在测量氢气浓度的同时可以监测环境温度对测量结果的影响，所以能够消除环境温度对测量结果的影响。本发明专利技术提出一种结构紧凑，可以提高测量精确度与灵敏度的基于光纤光栅微腔的FPI氢气传感器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光纤传感
，特别涉及基于光纤光栅微腔的FPI氢气传感器。
技术介绍
法布里-?罗干涉仪(Fabry-Perot interferometer，简称FPI)早在19世纪末就已问世，但基于光纤的FPI知道20世纪80年代初才制作成功，目前已经应用于温度、应力、电流、电压等传感中。光纤FPI传感器的特点是采用单根光纤、利用多光束干涉原理来检测被测量，避开了 Michelson和Mach-Zehnde干涉传感所需两根光纤配对移机必须对偏振进行补偿等问题。此外光纤FPI传感器对任何导致其两个反射距离发生变化的物理量灵敏度极高，而且传感区域小，在很多应用中可被视为“点”测量；加之其结果简单、体积小、复用能力强、抗干扰、重复性好等优势，在嵌入式测量更是倍受青睐，成为实现所谓人工智能结构和材料等相关领域的研宄热点。近年来全球变暖的趋势日益严重，遏制全球变暖的趋势已成为当今时代环保的一项重要任务，而全球变暖主要就是因为很多化石燃料燃烧释放了大量的CO2破坏臭氧层引起的，因此使用不排放CO2可在生的新能源已成为一种必然趋势。氢能源作为一种绿色能源，其燃烧产物只有水，以其分布本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于光纤光栅微腔的FPI氢气传感器，其特征在于：由宽带光源，单模传输光纤，镀有Pt/WO3膜的光纤光栅微腔FPI传感头，气室，光谱仪构成传感测量系统；宽带光源的输出端与单模传输光纤相连，单模传输光纤与处于气室内的镀有Pt/WO3膜的光纤光栅微腔FPI传感头的输入端相连，镀有Pt/WO3膜的光纤光栅微腔FPI传感头的输出端与单模传输光纤相连，单模传输光纤与光谱仪相连；所述光纤光栅微腔FPI传感头由光纤光栅、Pt/WO3膜和微腔组成，光纤光栅使用布拉格光纤光栅，微腔加工在光纤光栅中间位置，微腔的宽度在35μm～45μm之间，深度在66.6μm～76μm之间，形成FPI结构，Pt/WO3膜的厚度在1...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵春柳，时菲菲，吴彬青，
申请(专利权)人：中国计量学院，
类型：发明
国别省市：浙江;33