本实用新型专利技术属于贴膜机配件领域，尤其涉及一种夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机，旨在解决现有贴膜机中的掩膜版定位机构难以适应不同尺寸规格的掩膜版及现有蒙版夹具与掩膜版定位机构占用较大空间的技术问题。将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，平台沿Y轴方向滑动安装在框架的缺口内，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置保证压制，从而适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构的成本。还有，整体结构紧凑，在厚度方向上占用空间较小。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于贴膜机配件领域，尤其涉及一种夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机。
技术介绍
贴膜机用于蒙版(Pellicle)贴付在掩膜版(Mask)上，现有技术仅能够满足第3.5代至第6代的掩膜版贴付蒙版的制作。根据国内外TFT(薄膜场效应晶体管)行业发展趋势，各地均开始建立第8代的TFT液晶面板生产线。TFT液晶面板的代数越高，掩膜版尺寸越大。现有贴膜机无法满足第8代的大尺寸掩膜版贴付蒙版的需求。现有技术需要多套掩膜版定位机构来满足贴膜要求，即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版定位机构，且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版定位机构。该方案操作麻烦，经济成本较高。还有，现有的蒙版夹具与掩膜版定位机构采用相互叠设结构安装在设备上，在厚度方向上占用较大空间。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种夹具组件，旨在解决现有贴膜机中的掩膜版定位机构难以适应不同尺寸规格的掩膜版及现有蒙版夹具与掩膜版定位机构占用较大空间的技术问题。本技术是这样实现的，一种夹具组件，用于安装蒙版与掩膜版，所述夹具组件包括平台、用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构；所述蒙版夹具包括安装在所述平台上的基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，所述框架具有一缺口且所述平台沿Y轴方向滑动安装在该缺口内，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。进一步地，所述蒙版夹具的所述基板上开设有定位孔，所述夹具组件还包括安装在所述平台上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件及由所述第一驱动件驱动的定位销，所述定位销穿设在所述定位孔中。进一步地，所述蒙版夹具的所述基板上开设有盲孔，所述盲孔中设置有夹紧法兰且该夹紧法兰上开设有型孔，所述夹具组件还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的卡接件及用于驱动所述第二驱动件沿Y轴方向移动的第三驱动件，所述卡接件包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴，所述卡接头的横截面形状与所述型孔的横截面形状相同，该卡接件的所述转动轴与所述第二驱动件的所述输出端相连接，该卡接件的所述卡接头穿过所述夹紧法兰的所述型孔并伸入所述基板的所述盲孔后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具固紧在所述平台上。进一步地，所述夹紧组件包括安装在所述基板上的第四驱动件，所述第四驱动件具有沿X轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端，所述夹紧组件还包括分别由所述第四驱动件的两个所述输出端一一对应驱动沿X轴方向移动的两个拨杆、一一对应由所述拨杆顶抵沿X轴方向移动且沿X轴方向延伸的两个导杆及设置在每一所述导杆的自由端上的卡爪，所述第四驱动件的两个所述输出端分别驱动两个所述拨杆顶抵对应的所述导杆以使两个所述卡爪张开，所述夹紧组件还包括设置在每一所述导杆上且用于在两个所述卡爪张开后使该卡爪复位以夹紧所述蒙版的弹性件。进一步地，所述夹紧组件包括安装在所述基板上的第四驱动件，所述第四驱动件具有沿Y轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端，所述夹紧组件还包括分别由所述第四驱动件的两个所述输出端一一对应驱动沿Y轴方向移动的两个拨杆、一一对应由所述拨杆顶抵沿Y轴方向移动且沿Y轴方向延伸的两个导杆及设置在每一所述导杆的自由端上的卡爪，所述第四驱动件的两个所述输出端分别驱动两个所述拨杆顶抵对应的所述导杆以使两个所述卡爪张开，所述夹紧组件还包括设置在每一所述导杆上且用于在两个所述卡爪张开后使该卡爪复位以夹紧所述蒙版的弹性件。进一步地，所述掩膜版定位机构包括安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述竖直臂沿X轴方向移动的第五驱动组件及安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述水平臂沿Y轴方向移动的第六驱动组件。进一步地，二个所述第五驱动组件分别分布在所述框架的上下两侧且该二个第五驱动组件共同驱动一个所述竖直臂，二个所述第六驱动组件分别分布在所述框架的左右两侧且该二个第六驱动组件共同驱动一个所述水平臂。进一步地，每一所述竖直臂上均设置有用于与所述掩膜版的一侧相抵的第一定位件，两个所述竖直臂上的所述第一定位件相向设置；每一所述水平臂上均设置有用于与所述掩膜版的一侧相抵的第二定位件，两个所述水平臂上的所述第二定位件相向设置。进一步地，所述框架上设置有沿Y轴方向延伸的滑轨，所述平台上设置有与所述滑轨滑动配合的滑座。本技术的另一目的在于提供一种贴膜机，包括夹具组件。本技术相对于现有技术的技术效果是:将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，平台沿Y轴方向滑动安装在框架的缺口内，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置保证压制，从而适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构的成本。还有，整体结构紧凑，在厚度方向上占用空间较小。【附图说明】图1是本技术实施例提供的夹具组件的立体装配图。图2是图1的夹具组件的立体分解图。图3是图1的夹具组件的另一角度的立体分解图。【具体实施方式】为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1至图3，本技术实施例提供的一种夹具组件100，用于安装蒙版(图未示)与掩膜版(图未示)，所述夹具组件100包括平台110、用于安装所述蒙版的蒙版夹具120及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构130 ;所述蒙版夹具120包括安装在所述平台110上的基板121及安装在所述基板121上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件122，所述掩膜版定位机构130包括框架131、沿X轴方向滑动安装在所述框架131上的两个竖直臂132及沿Z轴方向滑动安装在所述框架131上的两个水平臂133，所述框架131具有一缺口且所述平台110沿Y轴方向滑动安装在该缺口内，两个所述竖直臂132相面对设置且两个所述水平臂133相面对设置，两个所述竖直臂132与两个所述水平臂133共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具120上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构130上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。将用于安装蒙版的蒙版夹具120安装在平台110上，平台110沿Y轴方向滑动安装在框架131的缺口内框架131上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂132同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂133，竖直臂132与水平臂133可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种夹具组件，用于安装蒙版与掩膜版，其特征在于：所述夹具组件包括平台、用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构；所述蒙版夹具包括安装在所述平台上的基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，所述框架具有一缺口且所述平台沿Y轴方向滑动安装在该缺口内，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张建国，夏静远，
申请(专利权)人：深圳清溢光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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