夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机制造技术

本实用新型专利技术属于贴膜机配件领域，尤其涉及一种夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机，旨在解决现有贴膜机中的掩膜版定位机构难以适应不同尺寸规格的掩膜版及现有蒙版夹具与掩膜版定位机构占用较大空间的技术问题。将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，平台沿Y轴方向滑动安装在框架的缺口内，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置保证压制，从而适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构的成本。还有，整体结构紧凑，在厚度方向上占用空间较小。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于贴膜机配件领域，尤其涉及一种夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机。
技术介绍
贴膜机用于蒙版(Pellicle)贴付在掩膜版(Mask)上，现有技术仅能够满足第3.5代至第6代的掩膜版贴付蒙版的制作。根据国内外TFT(薄膜场效应晶体管)行业发展趋势，各地均开始建立第8代的TFT液晶面板生产线。TFT液晶面板的代数越高，掩膜版尺寸越大。现有贴膜机无法满足第8代的大尺寸掩膜版贴付蒙版的需求。现有技术需要多套掩膜版定位机构来满足贴膜要求，即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版定位机构，且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版定位机构。该方案操作麻烦，经济成本较高。还有，现有的蒙版夹具与掩膜版定位机构采用相互叠设结构安装在设备上，在厚度方向上占用较大空间。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种夹具组件，旨在解决现有贴膜机中的掩膜版定位机构难以适应不同尺寸规格的掩膜版及现有蒙版夹具与掩膜版定位机构占用较大空间的技术问题。本技术是这样实现的，一种夹具组件，用于安装蒙版与掩膜版，所述夹具组件包括平台、用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹具组件，用于安装蒙版与掩膜版，其特征在于：所述夹具组件包括平台、用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构；所述蒙版夹具包括安装在所述平台上的基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，所述框架具有一缺口且所述平台沿Y轴方向滑动安装在该缺口内，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向、所述Y轴...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张建国，夏静远，
申请(专利权)人：深圳清溢光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44