光源装置制造方法及图纸

一种光源装置，其具有：放电灯；椭圆反射镜，其对放电灯放射出的光进行反射；箱形机壳，其收纳放电灯和椭圆反射镜，在前面板设有射出光的射出口；及光量调整单元，其具有控制光的光量的光圈机构、控制穿过光圈机构的光的射出与遮断的快门机构、及支撑快门机构与光圈机构的大致箱形的外壳构件，机壳的一侧面板具有可插入光量调整单元的安装开口部，外壳构件在光量调整单元的插入方向后端，具有可覆盖安装开口部的盖体，光量调整单元从安装开口部插入在机壳内，以盖体覆盖安装开口部的方式安装在机壳的一侧面板上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具备有放电灯的光源装置，特别涉及一种在放电灯射出的光的光路上设有光圈及快门的光源装置。
技术介绍
从很早以前开始，在光学零件的粘合、涂料或胶粘剂的硬化、半导体制造的晶圆周边曝光等方面所使用的光源装置中，一直采用放电灯作为光源。该种类的放电灯是一种例如在氙灯中使氙(Xe)气发光、在超高压水银灯中使水银发光、在金属卤化物灯中使水银及金属卤化物发光的放电灯，以比发光管的直径要短的电弧，即以较短的电极间距离放电，产生非常高亮度的光。从放电灯射出的光通过反射镜的反射、聚光被导光至光源装置的射出口，并通过连接在射出口的光纤束等导光装置射出外部。从放电灯放射出的光的光量，通过设在放电灯与射出口之间的光圈机构进行调整。此外，从放电灯放射出的光的开启/关闭(即光的射出/遮断)，通过设在放电灯与射出口之间的快门机构进行控制(例如专利文献1)。现有技术文献【专利文献1】特开2000-057816号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题：一般而言，光圈机构或快门机构通过旋转螺线管等致动器驱动，但该致动器因受长时间使用引起的发热或振动的影响、此外还因长时间不使用而引起的润滑脂老化等影响而会出现经年老化，因此需要定期更换。专利文献1所述光源装置，构成为：在放电灯与射出口之间设有内箱，将由快门板或快门驱动部(旋转螺线管)等构成的快门机构一体固定在该内箱的盖部(内箱盖)。并且，在更换快门机构时，连同内箱盖一起更换，因此不需要进行更换时的快门定位等复杂操作。不过，专利文献1所述的光源装置中，替换快门机构时，需要进行以下一系列的操作：(1)拆下壳体的上面盖、(2)从内箱上拆下内箱盖、(3)拆下电气配线(连接器)、(4)更换成新内箱盖、(5)连接电气配线、(6)在内箱上安装内箱盖、(7)在壳体上安装上面盖等，因此存在替换快门机构时所产生的停工时间(非运转时间)依然未被缩短的问题。本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种可轻松替换快门机构或光圈机构，且可缩短停工时间(down time)的光源装置。解决问题的手段：为达成上述目的，本专利技术的光源装置，其特征在于，具备有：放电灯；椭圆反射镜，其对放电灯放射出的光进行反射；箱形机壳，其收纳放电灯及椭圆反射镜，且在其前面板上设有射出光的射出口；及光量调整单元，其具有控制光的光量的光圈机构、控制穿过光圈机构的光的射出与遮断的快门机构、及支撑快门机构与光圈机构的大致箱形的外壳构件。机壳一侧面板上具有可插入光量调整单元的安装开口部，外壳构件在光量调整单元的插入方向后端，且外壳构件具有可覆盖安装开口部的盖体，光量调整单元从安装开口部插入在机壳内，以盖体覆盖安装开口部的方式安装在机壳一侧面板上。根据上述结构，无需卸下机壳面板，便可替换光量调整单元，因此可大幅缩短停工时间。此外，可构成为：外壳构件具有第1板状构件，其安装在机壳一侧面板上时，设置在椭圆反射镜一侧，具有使光通过的第1开口部；第2板状构件，其被安装在机壳的侧面板上时，以与第1板状构件相对的方式设置在第1板状构件与前面板之间，具有使光通过的第2开口部；及隔板，其将第1板状构件与第2板状构件之间的空间隔为：使第1开口部与第2开口部连通而使光通过的光透射区域、及用于遮光的遮光区域。这种情况下，优选为隔板将第1开口部及第2开口部的周围围成槽形，光透射区域形成在由隔板包围的空间内。此外，在这种情况下，优选地，由隔板包围的空间朝与光的光路呈正交的方向敞开。根据上述结构，在第1板状构件与第2板状构件之间的空间内可轻松形成光透射区域及遮光区域，可将容易因光线中所含紫外线引起老化的电机零件设置在遮光区域内。此外，可构成为：光圈机构具有设置在光的光路上，用于改变透光量的调光元件；及用于驱动调光元件的第1致动器，第1致动器设置在遮光区域内，调光元件设置在第2板状构件的外侧。根据上述结构，可避免第1致动器因光线中所含紫外线所导致的老化现象。此外，调光元件可具备有：以横穿光的光路方式设置的圆盘状旋转板、及开口面积沿着旋转板的圆周方向连续变化而形成的网状开口部。此外，调光元件可具备有：以横穿光的光路方式设置的圆盘状旋转板、及以沿旋转板的圆周方向连续变化而形成的光学滤光片部。此外，优选地，第1致动器为使旋转板旋转的电机。此外，可构成为：快门机构具有设置在光的光路上，且进行遮光的快门板；及将快门板在光的光路上进行前后驱动的第2致动器，第2致动器设置在遮光区域，快门板设置在第2板状构件的外侧。根据上述结构，可避免第2致动器因光线中所含紫外线所导致的老化现象。此外，优选地，调光元件设置在第2板状构件与快门板之间。根据上述结构，从放电灯到快门板的距离比到调光元件的距离要长，因此可用较小的快门板对光量调整单元射出的光进行遮光。此外，可构成为：光源装置具有吸入机壳外部空气的进气口；及将进气口吸入的空气排向机壳外部的排气口，遮光区域形成有将进气口吸入的空气向排气口流动的流道。这种情况下，优选地，光量调整单元具备有连接构件，其以在盖体与外壳构件之间形成中空部的方式，将盖体与外壳构件连接，中空部与遮光区域连通，当光量调整单元安装在机壳一侧面板上时，中空部及遮光区域形成有将进气口吸入的空气向排气口流动的流道。根据上述结构，可有效冷却设置在遮光区域的部件。此外，优选地，外壳构件与盖体相对的一面，具有与快门机构及光圈机构作电性连接的第1连接机构，机壳具有在该机壳的内部与第1连接机构配合的第2连接机构，第1连接机构或第2连接机构的至少任意一方相对外壳构件或机壳，留有规定间隙并固定。此外，在这种情况下，优选地，第1连接机构或第2连接机构的至少任意一方，具有引导任意另一方并辅助相互之间的配合的导向机构。根据上述结构，由于光量调整单元的加工误差、装配误差、安装位置误差等通过间隙而吸收，因此光量调整单元被准确地定位在机壳内。此外，第1连接机构与第2连接机构的配合可以顺利地、准确地进行。此外，可构成为：机壳具有导轨，其当光量调整单元插入在机壳内时，引导外壳构件的插入。根据上述结构，可轻松插入光量调整单元。专利技术效果：如上所示，根据本专利技术的光源装置，可轻松替换快门机构及光圈机构，且可大幅缩短光源装置的停工时间。附图说明  图1是本专利技术的实施方式所涉及的光源装置的结构示意图。图2是说明本专利技术的实施方式所涉及的光源装置的示意性结构的透视图。图3是说明本专利技术的实施方式的光源装置所收纳的致动器单元的示意性结构的透视图。图4是图3所示致动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光源装置，其特征在于，具备有：放电灯；椭圆反射镜，其对所述放电灯所放射出的光进行反射；箱形机壳，其收纳所述放电灯和所述椭圆反射镜，在前面板上设有射出所述光的射出口；及光量调整单元，其具有控制所述光的光量的光圈机构、控制穿过所述光圈机构的所述光的射出与遮断的快门机构、及支撑所述快门机构与所述光圈机构的箱形的外壳构件，所述机壳的一侧面板具有可插入所述光量调整单元的安装开口部，所述外壳构件在所述光量调整单元的插入方向后端，具有可覆盖所述安装开口部的盖体，所述光量调整单元从所述安装开口部插入在所述机壳内，以所述盖体覆盖所述安装开口部的方式安装在所述机壳的一侧面板上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.12.29 JP 2012-2892351.一种光源装置，其特征在于，具备有：
放电灯；
椭圆反射镜，其对所述放电灯所放射出的光进行反射；
箱形机壳，其收纳所述放电灯和所述椭圆反射镜，在前面板上设有射出所述光的射出口；
及
光量调整单元，其具有控制所述光的光量的光圈机构、控制穿过所述光圈机构的所述光
的射出与遮断的快门机构、及支撑所述快门机构与所述光圈机构的箱形的外壳构件，
所述机壳的一侧面板具有可插入所述光量调整单元的安装开口部，
所述外壳构件在所述光量调整单元的插入方向后端，具有可覆盖所述安装开口部的盖体，
所述光量调整单元从所述安装开口部插入在所述机壳内，以所述盖体覆盖所述安装开口
部的方式安装在所述机壳的一侧面板上。
2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述外壳构件具有：
第1板状构件，其安装在所述机壳的一侧面板上时，设置在所述椭圆反射镜侧，具有使
所述光通过的第1开口部；
第2板状构件，其安装在所述机壳的侧面板上时，以与所述第1板状构件相对向的方式
配置在所述第1板状构件与所述前面板之间，具有使所述光通过的第2开口部；及
隔板，其将所述第1板状构件与所述第2板状构件之间的空间，隔开成：使所述第1开
口部与所述第2开口部相连通而使所述光通过的光透射区域、及将所述光遮断的遮光区域。
3.根据权利要求2所述的光源装置，其特征在于，所述隔板将所述第1开口部及所述第
2开口部的周围围成槽形，
所述光透射区域形成在由所述隔板所包围的空间内。
4.根据权利要求3所述的光源装置，其特征在于，由所述隔板所包围的空间，朝与所述
光的光路呈正交的方向敞开。
5.根据权利要求2所述的光源装置，其特征在于，所述光圈机构具备有：配置在所述光
的光路上，改变所述透光量的调光元件；及用于驱动所述调光元件的第1致动器，
所述第1致动器配置在所述遮光区域，所述调光元件配置在所述第2板状构件的外侧。
6.根据权利要求5所述的光源装置，其特征在于，所述调光元件具备有：以横穿所述光
的光路方式配置的圆盘状旋转板、及开口面积沿所述旋转板的圆周方向连续变化所形成的网
状开口部。
7.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：芦田克己，
申请(专利权)人：豪雅冠得股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP