访问仲裁模块包括用于与多个有源组件进行通信的多个有源组件通信端口，并且包括用于与无源组件进行通信的无源组件通信端口。访问仲裁模块还包括切换逻辑，所述切换逻辑被定义为控制所述多个有源组件通信端口中的每一个与所述无源组件通信端口之间的访问通信协议信号的传送，使得所述多个有源组件通信端口中的被授权的那个在给定时间与无源组件通信端口通信地连接，并且使得防止所述多个有源组件通信端口中的未被授权的那些在给定时间与无源组件通信端口进行通信。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】
技术介绍
现代半导体工厂使用多种自动化系统来移动材料和控制制造过程。如在本文中所使用的那样，术语半导体工厂和半导体加工厂是同义的，并且分别被简写为工厂和加工厂。加工厂内的各种自动化系统包括被接合以一起工作来自动化经过加工厂的材料、数据和控制的移动的硬件和软件。加工厂内的主要的自动化系统可能包括:MES(制造执行系统)，AMHS(自动材料处理系统)，MCS(材料控制系统)，用于工具连接的站控制、EFEM(设备前端模块)和用于工厂工具和AMHS之间的接口的装载端口(1adport)，像射频标识符(RFID)和条形码那样的材料跟踪系统，以及可能或者不可能在加工厂中使用并且可能或者不可能绑定在一起，以处理像故障检测、配方管理、调度和分派、统计处理控制(SPC)及其他那样的功能的相关联的软件产品。AMHS可以包括诸如OHT(高架提升运输，overhead hoisttransport)系统、近工具容器缓冲系统以及AGV(自动引导车)这样的子系统。另外，加工厂可以包括手动操作的材料处理和移动系统，其中诸如PGV(人力引导车)。在半导体制造期间，半导体晶片经历多个处理步骤，其每一个由专用处理工具来执行。工件容器用于从一个工具向另外的工具输送半导体晶片。每个工件容器能够运输特定直径的多个晶片。工件容器被设计为维持被保护的内部环境以使晶片免于例如由工件容器外部的空气中的颗粒的污染。还已知工件容器用于运送其他类型的基板，诸如分划板、液晶面板、用于硬盘驱动器的刚性磁介质、太阳能电池等。目前期望在周期时间、吞吐量、WIP(在制品)水平、材料处理等领域改善加工厂物流和生产力。对于更大的晶片的制造，可能特别关注加工厂物流中的改善。例如，300_和更大的晶片的制造需要经过加工厂的更加自动化的传送，从而受益于改善的加工厂物流。而且，具有减小的线宽度的更小的技术节点器件的制造可能需要更多的处理步骤，其反过来需要经过加工厂的更加自动化的运输，并且增加了加工厂中的周期时间控制的复杂性。因此，加工厂物流的改善还能够有利于更小的技术节点器件的制造。图1示出加工厂的一部分的示例性的平面布置图101。该平面布置图包括多个不同的制造处理和/或度量工具103A-103L。制造工具能够基本包括任何类型的半导体晶片制造工具，其中包括但不限于用于材料蚀刻和/或沉积的晶片等离子体处理工具、晶片清洁工具、晶片冲洗工具、晶片平面化工具。该平面布置图还可以包括材料处理设备，其中包括但不限于升降机/电梯、OHT (高架提升运输)系统、OHV (高架提升车)、RGV (轨道引导车)、地面输送带、STC(材料存储器/储料器)。图1的平面布置图示出材料处理系统(诸如OHT系统、RGV系统和/或地面输送带)的示例性行进路由105。图1的平面布置图还示出沿着各种行进路由105行进以移动携带半导体晶片或其他类型的工件的工件容器的多个材料运输车107，其中诸如OHV、RGV。应当理解的是，对于给定的加工厂可能存在基本上无限数量的平面布置图变型。例如，不同的加工厂可以包括不同的处理和/或度量工具的组合。而且，不同的加工厂可以包括不同的材料处理系统和相关联的路由。然而，大多数加工厂所共享的是需要以尽可能最有效的方式在场所之间精确并可靠地移动工件。其中，OHT、RGV、AGV、PGV以及地面输送带系统提供在加工厂内的场所之间移动工件容器的基本能力。另外，由近工具容器缓冲系统所提供的近工具工件容器缓冲能力允许对加工厂内的工件容器的移动和准备的改进的管理。传统地，各种AMHS子系统对诸如装载端口这样的加工厂内的某些站的访问已经被必要地限制，以确保在给定时间访问加工厂内的给定站时各种AMHS子系统不会相互碰撞或干扰。然而，虽然在各种AMHS子系统上的这样的访问限制的实现在避免工厂内的干扰条件时有效果，但是在各种AMHS子系统上的这样的访问限制的实现可能对加工厂内处理的工件容器效率低，并且可能对应地降低来自加工厂的工件吞吐量。在改进AMHS访问管理的这样的背景下提出本专利技术。
技术实现思路
在一个实施例中，公开一种用于半导体制造设施内的无源组件的访问仲裁模块。该访问仲裁模块包括用于与多个有源组件进行通信的多个有源组件通信端口。该访问仲裁模块还包括用于与无源组件进行通信的无源组件通信端口。该访问仲裁模块还包括切换逻辑，切换逻辑被定义为控制所述多个有源组件通信端口中的每一个与无源组件通信端口之间的访问通信协议信号的传送，使得所述多个有源组件通信端口中的被授权的那个在给定时间与无源组件通信端口通信地连接，并且使得防止所述多个有源组件通信端口中的未被授权的那些在给定时间与无源组件进行通信。在另外的实施例中，公开一种系统，以包括用于半导体制造工具的装载端口、第一有源组件、第二有源组件和访问仲裁模块。第一和第二有源组件中的每一个被定义为向所述装载端口递送工件容器。访问仲裁模块被定义为与所述装载端口、所述第一有源组件和所述第二有源组件中的每一个进行通信。访问仲裁模块被定义为控制所述第一和第二有源组件以及所述装载端口中的每一个之间的访问通信协议信号的传送，使得允许所述第一和第二有源组件中的被授权的那个在给定时间访问装载端口，并且使得防止所述第一和第二有源组件中的未被授权的那个在给定时间访问装载端口。在另外的实施例中，公开一种用于控制对半导体制造工具的装载端口的访问的方法。该方法包括从第一有源组件向所述装载端口传送第一访问协议信号。该方法还包括从第二有源组件向所述装载端口传送第二访问协议信号。该方法还包括在所述第一和第二访问协议信号到达所述装载端口之前拦截它们。该方法还包括确定所述第一和第二有源组件中的哪个当前被授权访问所述装载端口。该方法还包括当所述第一有源组件被授权访问所述装载端口时，传送所拦截的第一访问协议信号直到所述装载端口，并且阻止将所拦截的第二访问协议传送给所述装载端口。该方法还包括当所述第二有源组件被授权访问所述装载端口时，传送所拦截的第二访问协议信号直到所述装载端口，并且阻止将所拦截的第一访问协议传送给所述装载端口。【附图说明】图1示出加工厂的一部分的示例性的平面布置图101。图2示出根据本专利技术的一个实施例的加工厂的一部分，其中对工具210提供四个装载端口(LPLP) 203。图3A示出具有窗口 302的每个LPLP 203的接合示意图，容器303移动经过窗口302。图3B示出作为示例被定义为F0UP、被配置为与容器303接口连接的LPLP 203。图4示出根据本专利技术的一个实施例的被定义为控制多个有源组件401A-401n对无源组件403的访问的访问仲裁模块400。图5示出根据本专利技术的一个实施例的具有经过各自的通信链路405A-405n连接到访问仲裁模块400的多个无源组件403A-403n的访问仲裁模块400。图6示出根据本专利技术的一个实施例的访问仲裁模块400的示例性架构图。图7示出根据本专利技术的一个实施例的在图6的示例性访问仲裁模块400中的PC104接口 CPLD 611的总体框图。图8示出根据本专利技术的一个实施例的在图6的示例性访问仲裁模块400中的每个开关CPLD 619A-619D的总体框图。图9示出根据本专利技术的一个实施例的访问仲裁模块400进行操作以确保近工具容本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于半导体制造设施内的无源组件的访问仲裁模块，包含：多个有源组件通信端口，用于与多个有源组件进行通信；无源组件通信端口，用于与无源组件进行通信；以及切换逻辑，被定义为控制所述多个有源组件通信端口中的每一个与无源组件通信端口之间的访问通信协议信号的传送，使得所述多个有源组件通信端口中的被授权的那个在给定时间与无源组件通信端口通信地连接，并且使得防止所述多个有源组件通信端口中的未被授权的那些在给定时间与无源组件进行通信。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：P冈萨雷兹，GR沃茨，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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