液晶显示装置的制造方法和制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液晶显示装置的制造方法和制造装置。详细而言，本发明专利技术提供一种即使是因UV照射而产生的杂质也能获得充分的清洗效果、并能提高成品率的液晶显示装置的清洗方法。在具有于基板间夹持有液晶层的显示面板的液晶显示装置的制造方法中，在清洗工序中，通过具有单峰的流量分布(c)的清洗液喷洒(322)来清洗基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示装置的制造方法和制造装置。
技术介绍
液晶显示装置因其显示品质高且超薄、轻巧、低耗电量等优点而用途广泛，应用于从手机用显示屏、数码相机用显示器等用于便携装置的显示器，到台式电脑用显示器、用于印刷或设计的显示器、医疗用监视器，乃至液晶电视等各种用途。随着其用途的扩大，对于液晶显示装置要求更进一步的高画质化和高品质化，尤其强烈要求由高透过率化实现的高亮度化和低耗电化。另外，随着液晶显示装置的普及，对于低成本也有了强烈要求。通常，液晶显示装置的显示是通过向夹在一对基板间的液晶层的液晶分子施加电场而使液晶分子的取向方向变化，通过由此产生的液晶层的光学特性的变化来进行。无电场施加时的液晶分子的取向方向由取向膜(对聚酰亚胺薄膜的表面实施过摩擦处理)来规定。但是，存在由摩擦导致的静电或异物的产生、由基板表面的凹凸导致的摩擦不均匀等问题，因而目前采用不需要与摩擦布接触的光取向法。关于光取向法，有通过向形成在基板表面上的有机膜的表面照射几乎以直线偏振后的UV光、而对有机膜的表面赋予取向功能的方法等。由于光取向膜被UV光照射后会产生杂质分解物，所以一直通过进行热处理等来清除。此外，关于用于进行光刻工序后的湿法清洗等的清洗装置，例如在专利文献I中有公开。现有技术文献专利文献1:日本特开2004-273743号公报
技术实现思路
为了将在大型TV用液晶显示装置中具有实际成果的光取向膜适用于手机等中小型用液晶显示装置，本专利技术人进行了研宄。然而，发现在进行了用于除去因向光取向膜UV照射而产生的分解物的热处理之后，彩色滤光片会劣化。但若热处理温度很低的话，则可判断出清除杂质是很困难的。于是，专利技术人等尝试了通过湿法清洗来除去杂质。图1A表示所使用的清洗装置200的示意性结构的侧视图，图1B表示其俯视图。该清洗装置200具有水刀(Aqua Knife)部210、清洗液喷洒部220、和纯水喷洒部230。在水刀部210，向基板150供给水刀(帘状的纯水)211，该水刀211形成得比基板150的与搬运方向151交叉的方向上的宽度尺寸长。由此，能够在基板150的整个上表面上形成大致均匀的薄层状的纯水膜，抑制清洗处理中的清洗不均或污迹的产生。清洗液喷洒部220相对于水刀部210配置在基板150的搬运方向151的下游侧。在清洗液喷洒部220上，安装有多个(在此为四个)喷嘴223的清洗液用喷嘴部221在与搬运方向151交叉的方向上并列排列有多级(在此为四级)。从喷嘴223喷射出的清洗液222变成雾状呈圆锥状扩散(全锥形喷嘴)。需要说明的是，以使得来自邻接的喷嘴223的清洗液222在基板150上部分重复的方式，设定清洗液222的扩散以及邻接的各喷嘴223的间隔、邻接的各清洗液用喷嘴部221的间隔。纯水喷洒部230是为了冲洗在清洗液喷洒部220中附着在基板上的清洗液而设置的，其相对于清洗液喷洒部220配置在基板150的搬运方向151的下游侧。在纯水喷洒部230上，安装有多个(在此为四个)喷嘴233的纯水用喷嘴部231在与搬运方向151交叉的方向上并列排列有多级(在此为四级)。从喷嘴233喷射出的纯水232变成雾状呈圆锥状扩散(全锥形喷嘴)。此外，以使得来自邻接的喷嘴233的清洗液在基板150上部分重复的方式，设定纯水232的扩散以及邻接的各喷嘴233的间隔、邻接的各纯水用喷嘴部231的间隔。使用上述清洗装置对因UV照射而产生的杂质进行清除，其结果是，仅能除去50%左右而无法获得充分的清洗效果。此外，若无法充分除去杂质，则会发生取向不良，并导致液晶显示装置的可靠性降低。本专利技术的目的在于，提供一种即使是因UV照射而产生的杂质也能获得充分的清洗效果、并能提高成品率的液晶显示装置的清洗方法和清洗能力高的清洗装置。作为用于达成上述目的的一个实施方式，提出了一种具有在基板间夹持有液晶层的显示面板的液晶显示装置的制造方法，其特征在于，具有:准备第一基板的第一工序；和通过具有单峰的流量分布的清洗液喷洒来清洗所述第一基板的第二工序。另外，还提出了一种用于对构成液晶显示面板的基板进行清洗的液晶显示装置的制造装置，其特征在于，具有:水刀部；清洗液喷洒部；纯水喷洒部；和将被清洗物从所述水刀部向所述清洗液喷洒部、进而向所述纯水喷洒部搬运的搬运机构部，在所述清洗液喷洒部被喷射的清洗液的流量分布具有单峰。【附图说明】图1A是专利技术人等所研宄的用于说明清洗处理的清洗装置的示意性侧视图。图1B是专利技术人等所研宄的用于说明清洗处理的清洗装置的示意性俯视图。图2是专利技术人等所研宄的用于说明清洗处理中的药液状态的图，(a)是表示从喷嘴喷射出的清洗液的扩散的立体图，(b)是表示从喷嘴喷射出的清洗液的扩散的俯视图，(C)是从喷嘴喷射出的清洗液的流量分布图。图3A是本专利技术的第一实施例的清洗装置的示意性侧视图。图3B是本专利技术的第一实施例的清洗装置的示意性俯视图。图4是用于说明本专利技术的第一实施例的清洗处理中的药液状态的图，(a)是表示从喷嘴喷射出的清洗液的扩散的立体图，(b)是表不从喷嘴喷射出的清洗液的扩散的俯视图，(C)是从喷嘴喷射出的清洗液的流量分布图。图5A是本专利技术的第一实施例的液晶显示装置的制造方法中的取向膜形成工序的流程图。图5B是本专利技术的第一实施例的液晶显示装置的制造方法的光取向工序的流程图。图6A是用于说明本专利技术的第一实施例的液晶显示装置的制造方法中的取向膜形成工序的TFT基板或对置基板的示意性剖视图。图6B是用于说明本专利技术的第一实施例的液晶显示装置的制造方法中的取向膜形成工序的TFT基板或对置基板的示意性俯视图。图7是液晶显不装置的不意性俯视图。附图标记说明100-液晶显示装置、110-多层结构膜、120-光取向膜、130-显示区域、140-驱动电路部、150-基板、151-基板的搬运方向、160-显示面板区域、200-清洗装置、210-水刀部、211-水刀、220-清洗液喷洒部、221-清洗液用喷嘴部、222-清洗液、223-喷嘴、223a_喷嘴的位置、230-纯水喷洒部、231-纯水用喷嘴部、232-纯水、233-喷嘴、321-清洗液用喷嘴部、322-清洗液、323-喷嘴、323a-喷嘴的位置。【具体实施方式】专利技术人等为了调查通过所使用的清洗装置无法获得充分的杂质清除效果的原因，尤其对作为清洗处理的主要构成部的清洗液喷洒部220进行了研宄。图2是专利技术人等所研宄的用于说明清洗处理中的清洗液222的状态的图，图2(a)是表示从喷嘴223喷射出的清洗液的扩散的立体图，图2(b)是表示从喷嘴223喷射出的清洗液222的扩散的俯视图，图2(c)是从喷嘴223喷射出的清洗液222的流量分布图。附图标记223a表示喷嘴的位置。其结果是，尤其从图2(c)的清洗液的流量分布能够推测出，在专利技术人等使用的全锥形喷嘴的情况下，清洗液对基板的击打力弱。即，能够推测出，由于流量分布均匀，所以清洗液对基板表面的击打力均匀化，另外清洗液在基板上的流过速度也在平面内均匀化。于是，专利技术人等针对用于在提高清洗液对基板表面的击打力的同时、加快清洗液从基板上流过的速度的方法进行研宄，从而想到了以扇形扁平型喷嘴来代替全锥形喷嘴。图4表示使用扇形扁平型喷嘴的情况下的清洗液的状态，图4(a)是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对构成液晶显示面板的基板进行清洗的液晶显示装置的制造装置，其特征在于，具有：水刀部；清洗液喷洒部；纯水喷洒部；和将被清洗物从所述水刀部向所述清洗液喷洒部、进而向所述纯水喷洒部搬运的搬运机构部，在所述清洗液喷洒部被喷射的清洗液的流量分布具有单峰。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岛田阳二郎，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：日本;JP