微机电气体感测装置制造方法及图纸

一种微机电气体感测装置，包括基板、氧化层、加热单元、导热金属层、钝化层与感测单元层。基板具有第一空腔。氧化层具有第一面与相对第一面的第二面，氧化层配置于基板上，并覆盖第一空腔，且第一面与基板接触。加热单元配置于氧化层内，且邻近于氧化层的第一面。导热金属层配置于加热单元与氧化层的第二面之间。钝化层配置于氧化层的第二面上，且具有至少一孔洞。感测单元层配置于钝化层上，且透过至少一孔洞与导热金属层电性连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体感测装置，特别是一种微机电气体感测装置。
技术介绍
一般来说，气体检测在环境监控、家用警报、化工控制、温室环境控制领域有着广泛的应用。对于具有无色和无味特性的有毒气体，例如一氧化碳(CO)，人类的视觉和嗅觉无法辨识它们的存在。当毒性气体在空气中的含量超过一定的范围，人体便会产生轻则头痛、晕旋、呕吐的症状，严重的甚至会休克、死亡。若有气体分析的仪器或装置，对密闭空间或通风不良的环境里的气体成分做实时的监测，便能在毒性气体的浓度超出人类可允许的范围时，及时的发出警报的声响，防止不幸和灾害的发生。一般化学实验室和品管检验室所使用的气体分析设备虽然具有高准确度、高灵敏度与低检测极限等优点，但是它们因有体积庞大、不易携带、耗电性高、仪器构造复杂及价格昂贵等缺点，所以在应用上受到极大的限制。因此，电气体传感器仍有改善的空间。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种微机电气体感测装置，以使温度均匀的施加，使微机电气体感测装置具有集成化与制作批次化的能力，以及避免微机电气体感测装置所产生的热扩散至其他部分，而影响到周遭电路元件的运作。为了实现上述目的，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电气体感测装置，其特征在于，包括：一基板，具有一第一空腔；一氧化层，具有一第一面与相对该第一面的一第二面，该氧化层配置于该基板上，并覆盖该第一空腔，且该第一面与该基板接触；一加热单元，配置于该氧化层内，且邻近于该氧化层的该第一面；一导热金属层，配置于该加热单元与该氧化层的该第二面之间；一钝化层，配置于该氧化层的该第二面上，且具有至少一孔洞；以及一感测单元层，配置于该钝化层上，且透过该至少一孔洞与该导热金属层电性连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘茂诚，赵晧名，周文介，吕柏纬，翁淑怡，王竣傑，
申请(专利权)人：先技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71