【技术实现步骤摘要】
示例性实施方式涉及电声转换器，更具体地，涉及微加工的电声转换器。
技术介绍
电声转换器是将电能转换成声能或者将声能转换成电能的装置，并且可W包括超 声转换器和麦克风。微加工的电声转换器是利用微机电系统（MEM巧的转换器。微加工的 电声转换器的一典型示例是微加工的超声转换器（MUT)，其是将电信号转换成超声信号或 者将超声信号转换成电信号的装置。MUT可W基于其转换方法而分为压电MUT(pMUT)、电容 MUT(cMUT)W及磁MUT(mMUT)。[000引 pMUT主要在过去使用。近来，cMUT因其诸如传送/接收宽带信号的性能、利用半 导体工艺批量生产的益处、W及与电路集成的性能的优点而越来越多地在开发中。因此，cMUT被广泛地用于医疗影像诊断装置或传感器中。 近来，随着对于不同类型的超声信号采集方法和产生的图像诸如B-模式图像、多 普勒图像、谐波图像、W及光声图像（其可获得W用于超声诊断中）的需求增长，具有宽带 特性的超声设备越来越多地在开发中。此外，为了涵盖具有不同尺寸和深度的各种器官诸 如腹部、也脏W及甲状腺的诊断，具有宽带特性的超声设备的开发...
【技术保护点】
一种电声转换器，包括多个元件，其中所述多个元件中的每个包括多个单元，所述多个单元中的至少一个单元包括形成在膜中的沟槽。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：姜诚赞，金东均，朴相河，金钟硕，尹容燮，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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