【技术实现步骤摘要】
本技术属于压电驱动控制
，特别涉及一种基于惯性驱动的谐振型压电泵装置。
技术介绍
近年来，微流动系统及相关的微型机械制造技术已经成为了一个非常活跃的研宄领域。在化学分析与检测、生物工程、集成电路芯片、微型零部件以及微型化生产系统等领域迫切需要小型化、可以精确定量输送流体的微泵。微泵是微流动系统的关键部件，根据驱动机理的不同微泵可分为压电驱动、静电驱动、电磁驱动、热驱动和形状记忆合金驱动等。不同驱动方式的微型泵都有其自身特点和应用领域，压电泵由于具有结构紧凑，响应特性好，便于精确控制等特点，在医疗/制药、生物工程、化学分析、电子器件冷却以及燃料供给等方面具有广阔的应用前景。目前压电泵主要有以下几点不足:①目前压电泵的工作方式一般为非谐振状态，而对谐振型压电泵研宄很少压电泵驱动能力有限。无阀压电泵因为没有单向阀，泵工作时流体回流现象严重，泵的工作压力和截止性下降，自吸能力差，输出流量和压力较小；有阀压电泵的工作频率受单向阀运动元件惯性的限制，响应频率一般相对较低，泵的输出流量和压力受到限制；③压电叠堆泵输出压力较大，但压电叠堆变形小，输出流量不足，且体...
【技术保护点】
一种基于惯性驱动的谐振型压电泵，其特征在于，上泵体上设有出水口与入水口，中间体上安装有单向阀并与圆形隔膜构成泵腔，圆形隔膜通过连接杆、套筒与压电振子相连，压电振子两端与质量块固定连接，下泵体上开有导线孔，上泵体、中间体与下泵体通过螺栓连接共同构成谐振型压电泵。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：温建明，马继杰，郭和平，刘晓静，嵇佳，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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