【技术实现步骤摘要】
本技术属于微系统设备中的微位移检测领域，特别涉及一种基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统。
技术介绍
微悬臂梁传感检测技术是在原子力显微镜和微机电系统基础上发展起来的一种基于力学效应的新兴传感检测技术，由于具备检测方法简单、灵敏度高、非标记、能实时原位再现检测等优点，已逐渐成为微纳传感技术研宄的热点，目前已在化学、生物等学科获得广泛研宄，如气体分子、蛋白质、病毒和基因检测。其主要工作原理是:把探针分子固定到微悬臂梁的一侧表面，将此微悬臂梁放入密闭性很好的反应池中，当反应池中被检测样品的靶标分子与微悬臂梁表面的探针分子发生反应时，微悬臂梁表面应力会因此发生改变，从而导致微悬臂梁尖端发生弯曲变形，通过光学或电学方法实时的检测这种变形，即可得到该反应过程的实时反应信息。目前对于微悬臂梁的弯曲程度检测一般采用光电位置敏感探测器进行接收，而微悬臂梁的弯曲位移一般在微米级，随着检测范围的扩大和检测环境的复杂，对装置体积和光电位置敏感探测器的测量精度提出了更高的要求，由于制造工艺水平的原因，部分光电位置敏感探测器测量精度难以符合实验要求，这就迫切需要实现缩小装...
【技术保护点】
基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，其特征是所述系统包括：USB显微摄像头，所述USB显微摄像头固定在USB显微摄像头支架上；半导体激光器，所述半导体激光器固定在半导体激光器支架上,用于发射水平光束；半透半反镜，所述半透半反镜采取45°使用；反应池，所述反应池用于放置夹持台和待测样品；第一平面镜，所述第一平面镜安装在反应池上侧内壁上，并与反应池内壁平行；第二平面镜，所述第二平面镜安装于反应池下侧内壁上，并与反应池内壁平行；光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器通过光电位置敏感探测器支架固定在光电位置敏感探测器位移平台，用于采集经第二平面镜反射后的激光束；模数转...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：程韦，滕艳华，张泽华，夏玲燕，薛长国，何培文，陈兆权，
申请(专利权)人：安徽理工大学，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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