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本实用新型提供一种基于反应池内平面镜反射的微悬臂梁传感检测系统，属于微系统设备中的微位移检测领域。其包括半导体激光器、USB显微摄像头、半透半反镜、反应池、第一平面镜、第二平面镜、光电位置敏感探测器、模数转换器和一计算机。本实用新型采取半透...
该专利属于安徽理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过安徽理工大学授权不得商用。

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