触控模组及其桥接结构的制造方法技术

一种触控模组，包括多个第一感测电极和多个第二感测电极，第一感测电极和第二感测电极绝缘相交设置，第一感测电极包括多个第一感测单元以及将相邻两个第一感测单元电性连接的第一桥接结构，第二感测电极包括多个第二感测单元以及将相邻两个第二感测单元电性连接的第二桥接结构，第一桥接结构上覆盖一绝缘隔离结构，第二桥接结构横越过该第一桥接结构以及该绝缘隔离结构将相邻两个第二感测单元电性连接。该第一桥接结构包括形状不同的第一部分和第二部分，第一部分未被绝缘隔离结构覆盖，第二部分被该绝缘隔离结构覆盖且该第二部分的图案形状与该绝缘隔离结构的图案形状相同。本发明专利技术还提供一种上述触控模组的桥接结构的制造方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
随着电子技术的不断发展，手机、便携式电脑、个人数字助理（PDA)、平板电脑、媒 体播放器等消费性电子产品大多都采用触控模组作为输入设备，以使产品具有更友好的人 机交互方式。 根据其触控原理的不同，触控模组包括电阻式触控模组、电容式触控模组、红外式 触控模组以及声波式触控模组等。目前，应用较为广泛的触控模组包括电阻式、电容式、光 学式、音波式等触控模组。其中，尤以电容式触控模组的应用更为广泛。电容式触控模组由 于其触控灵敏度好、使用寿命长、不易被外界信号干扰等优点，被广泛应用于各种消费性电 子产品。 目前，被广泛使用的电容式触控模组，例如投射式电容触控模组，大多包括触控感 测区域以及位于该触控感测区域外围的布线区域或边框区域。该感测区域设置有由导电材 质形成的沿第一方向（如纵向）延伸的第一感测电极以及沿第二方向（如横向）延伸的第 二感测电极。该第一感测电极与第二感测电极相互绝缘设置。 所述第一和第二感测电极可使用铟锡氧化物（Indium Tin Oxides, ΙΤ0)制成，形 成双层ITO结构。第一和第二感测电极的铺设方式有两种，一种是第一和第二感测电极分 别铺设在基板的双侧，形成DITCKDouble Side IT0，DIT0)结构。另一种为第一和第二感 测电极均铺设在基板的同一侧。传统的DITO结构大多使用光学胶（OCA)贴合在玻璃盖板 (Cover Lens)和显示模组上。 此外，一种典型的电容式触控模组，其第一感测电极和第二感测电极分别包括序 列感测片，感测片可以为菱形或其它多边形。相邻感测片之间通过桥接导线实现电性连接。 第一感测电极的桥接导线与第二感测电极的桥接导线之间一般通过一绝缘层绝缘相交设 置，以将第一感测电极与第二感测电极之间绝缘隔离。其中，第一感测电极的桥接导线首先 通过光刻制程（photo etching process, PEP)形成，然后该绝缘层再通过另一光刻制程形 成于第一感测电极的桥接导线之上。然而，这种方法在第一感测电极桥的接导线与绝缘层 之间就需要两个光刻制程，在制程上显得成本较高。
技术实现思路
为解决以上问题，有必要提供一种可减少一光刻制程的触控模组。 本专利技术提供的触控模组，包括多个第一感测电极和多个第二感测电极，第一感测 电极和第二感测电极绝缘相交设置，第一感测电极包括多个第一感测单元以及将相邻两个 第一感测单元电性连接的第一桥接结构，第二感测电极包括多个第二感测单元以及将相邻 两个第二感测单元电性连接的第二桥接结构，第一桥接结构上覆盖一绝缘隔离结构，第二 桥接结构横越过该第一桥接结构以及该绝缘隔离结构将相邻两个第二感测单元电性连接。 其中，该第一桥接结构包括形状不同的第一部分和第二部分，第一部分未被绝缘隔离结构 覆盖，第二部分被该绝缘隔离结构覆盖且该第二部分的图案形状与该绝缘隔离结构的图案 形状相同。 优选地，所述第一桥接结构第二部分的宽度大于该第一桥接结构第一部分的宽 度。 优选地，所述第一桥接结构与所述绝缘隔离结构使用同一掩膜在同一光刻制程中 形成。 优选地，所述掩膜包括多个不透光区、多个半透光区、以及多个透光区，该不透光 区位于相邻两个半透光区之间，所述绝缘隔离结构以及第一桥接结构的第二部分与该不透 光区对应。 优选地，所述第一桥接结构的第二部分覆盖于所述绝缘隔离结构内部，该第二部 分的长度和宽度小于该绝缘隔离结构的长度和宽度。 优选地，所述第一桥接结构的第二部分上下两端分别与所述绝缘隔离结构上下两 端之间的间隔距离相等，且该第二部分左右两端分别与该绝缘隔离结构左右两端之间的间 隔距离也相等。 优选地，所述第二部分上下两端分别与所述绝缘隔离结构上下两端之间的间隔距 离为1-10微米，该第二部分左右两端分别与该绝缘隔离结构左右两端之间的间隔距离也 为1-10微米。 优选地，所述绝缘隔离结构与所述第一桥接结构第二部分的图案形状为矩形。 优选地，所述绝缘隔离结构与所述第一桥接结构第二部分的图案形状为椭圆形。 还有必要提供一种上述触控显示模组桥接结构的制造方法，包括：提供一基板，在 该基板的表面涂覆一导电材料层，并在该导电材料层的表面涂覆一绝缘光阻层；从绝缘光 阻层的一侧使用掩膜对该绝缘光阻层进行曝光，然后再进行显影形成绝缘层图案；其中，该 掩膜包括多个不透光区、多个半透光区、以及多个透光区，不透光区位于相邻两个半透光区 之间；该绝缘层图案包括与不透光区对应的第一部分以及与半透光区对应的第二部分，该 第二部分的厚度小于该第一部分的厚度；对所述导电材料层进行刻蚀，移除该导电材料层 未被绝缘层图案覆盖的部分，形成一桥接结构；及去除绝缘层图案的第二部分，形成覆盖于 该桥接结构上方的绝缘隔离结构。 优选地，对所述导电材料层进行刻蚀的方法为过刻蚀方法。 优选地，所述绝缘光阻层的材料为正型光阻材料。。 相较于现有技术，专利技术可将触控模组的第一感测电极的桥接结构与绝缘隔离结构 使用一掩膜在同一光刻制程中形成，节约了制程的成本。【附图说明】 图1是本专利技术较佳实施例提供的一触控模组的触控图形结构的平面示意图。 图2是图1中沿II-II切线的剖面结构示意图。 图3和图4是图1所述的一第一桥接结构与一绝缘隔离结构的平面结构示意图。 图5是另一实施例中所述第一桥接结构的第二部分与所述绝缘隔离结构的结构 关系的平面放大示意图。 图6是图5中沿VI-VI切线的剖面结构示意图。 图7是所述第一桥接结构与所述绝缘隔离结构的制造方法流程图。 图8-图11为图7所示各制造步骤的结构示意图。 图12是一实施例中所述触控模组的一触控显示装置的层级结构示意图。 主要元件符号说明【主权项】1. 一种触控模组，包括多个第一感测电极和多个第二感测电极，第一感测电极和第二 感测电极绝缘相交设置，第一感测电极包括多个第一感测单元以及将相邻两个第一感测单 元电性连接的第一桥接结构，第二感测电极包括多个第二感测单元以及将相邻两个第二感 测单元电性连接的第二桥接结构，第一桥接结构上覆盖一绝缘隔离结构，第二桥接结构横 越过该第一桥接结构以及该绝缘隔离结构将相邻两个第二感测单元电性连接，其特征在 于，该第一桥接结构包括形状不同的第一部分和第二部分，其中，第一部分未被绝缘隔离结 构覆盖，第二部分被该绝缘隔离结构覆盖且经由该第一部分与相应的第一感测单元连接， 该第二部分的图案形状与该绝缘隔离结构的图案形状相同。2. 如权利要求1所述的触控模组，其特征在于，所述第一桥接结构第二部分的宽度大 于该第一桥接结构第一部分的宽度。3. 如权利要求1所述的触控模组，其特征在于，所述第一桥接结构与所述绝缘隔离结 构在同一光刻制程中形成。4. 如权利要求1所述的触控模组，其特征在于，所述第一桥接结构的第二部分包覆于 所述绝缘隔离结构内部，该第二部分的长度和宽度小于该绝缘隔离结构的长度和宽度。5. 如权利要求4所述的触控模组，其特征在于，所述第一桥接结构的第二部分上下两 端分别与所述绝缘隔离结构上下两端之间的间隔距离相等，且该第二部分左右两端分别与 该绝缘隔离结构左右两端之间的间隔距离也相等。6. 如权利要求5所述的触控模组，其特征在于，所述第二部分上下两端分别与所述绝 缘隔离结构上下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触控模组，包括多个第一感测电极和多个第二感测电极，第一感测电极和第二感测电极绝缘相交设置，第一感测电极包括多个第一感测单元以及将相邻两个第一感测单元电性连接的第一桥接结构，第二感测电极包括多个第二感测单元以及将相邻两个第二感测单元电性连接的第二桥接结构，第一桥接结构上覆盖一绝缘隔离结构，第二桥接结构横越过该第一桥接结构以及该绝缘隔离结构将相邻两个第二感测单元电性连接，其特征在于，该第一桥接结构包括形状不同的第一部分和第二部分，其中，第一部分未被绝缘隔离结构覆盖，第二部分被该绝缘隔离结构覆盖且经由该第一部分与相应的第一感测单元连接，该第二部分的图案形状与该绝缘隔离结构的图案形状相同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨岳峰，
申请(专利权)人：业成光电深圳有限公司，英特盛科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44