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一种制备纳米Ti02薄膜的方法技术

技术编号:11515071 阅读:49 留言:0更新日期:2015-05-28 08:13
本发明专利技术涉及半导体材料制备技术领域,具体涉及一种利用溶胶-凝胶法制备纳米Ti02薄膜的方法。一种制备纳米Ti02薄膜的方法,采用如下步骤:制备前驱液;制备Ti02溶胶;制备多层薄膜;镀完所以膜后,将玻片在100℃下干燥30min;在马弗炉中以3℃/min-4℃/min速度升温至540℃,保温1h;在炉内自然冷却至室温,即可得到纳米Ti02薄膜。本发明专利技术方法简单,易于操作,通过本发明专利技术提供的方法获得的纳米Ti02薄膜,薄膜表面光滑,颗粒较均匀且达到纳米级颗粒。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制备纳米Ti02薄膜的方法,其特征在于:采用如下步骤:(1)制备前驱液:用离子水和乙醇超声清洗玻片,放于干燥皿备用;在室温25℃左右,湿度55%下;以25mmx75mm玻片为基体,纯度98%的钛酸丁脂为先驱体,99.7%二乙醇胺为络合剂、99.7%无水乙醇为溶剂;将Ti(OC4H9)4和螯合剂二乙醇胺以4:1比例同时滴加到无水乙醇烧杯中,搅拌2h,45℃恒温,得到均匀透明淡黄色前驱液;(2)制备Ti02溶胶:将2ml蒸馏水和10ml无水乙醇配成混合溶液,搅拌中滴加1m1 HN03至pH值为3的溶液滴加液,将滴加液以1~2滴/s速率滴加到前驱液中,成均匀透明淡黄色Ti02溶胶,搅拌0.5h,放置陈化12h待用;(3)制备多层薄膜:用机械式提升机将玻片浸渍Ti02溶胶中,浸泡一定时间后,以1.98 mm/s的速度提升玻片,并放入温度为100℃的烘箱中干燥5min,其发生水解反应、缩聚反应,在玻片上形成凝胶,在无尘空气中冷却5min,制备多层薄膜;(4)镀完所以膜后,将玻片在100℃下干燥30min;(5)在马弗炉中以3℃/min‑4℃/min速度升温至540℃,保温1h;(6)在炉内自然冷却至室温,即可得到纳米Ti02薄膜。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周宏
申请(专利权)人:周宏
类型:发明
国别省市:陕西;61

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