一种测量高反射镜面形的平面标准镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，所述标准镜面上镀制有分光膜；所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。由此可知：本实用新型专利技术干涉显示出来的影像清晰，避免了增加滤网测量的网格干扰。另外，本实用新型专利技术可以用在平面和球面及其它各类标准镜的表面，镀过膜后的标准镜能测量银高反膜，铝高反膜及介质高反膜的反射镜，并测量硅片，锗片，硒化锌，硫化锌，金属片及角锥的面形，广泛地应用于光学加工及测量领域。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种测量高反射镜面形的平面标准镜，属于光学元件生产制造领域。
技术介绍
平面标准镜的工作原理，如图1所示:从光源6处发出的光束经过分光镜5，光线1通过准直仪3由点光源转换成平行光，部分光线由标准镜2的表面返回形成Ικ，另一半光线通过标准镜2到达被测反射镜I表面，由被测反射镜表面反射回来的光线It，IjP It两路光线形成干涉返回至分光镜5，由于角度关系全部折反，通过CXD摄像头可观察到两路光线的干涉条纹。如图2所示，I是被测反射镜，2是标准镜，被测面的反射率的范围在20 ;当入射光I。经过标准镜的标准面返回后的反射光线I κ只有入射光I ^的4%，而通过标准镜经过被测面反射回来的光线It为入光线的18-92%，这样两束反射光的强度差异太大151 κ，导致干涉条纹非常不清晰，并且不能完全分析，这样分析出来的结果非常不准确。目前市场上已经用到的解决方法:1、在标准镜头前面增加滤网，此方法虽然能较为清晰的反映出干涉条纹，但是整个干涉面有滤网的纹路，这样实际的镜片表面的面形精度受到滤网的影响。2、增加树脂膜，这是一张非常薄的膜，很脆弱，容易破，虽然能测得高反射率镜片的面形，但是价格昂贵还易破，不是一般公司所能承受的。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提供一种测量高反射镜面形的平面标准镜，该标准镜通过在普通平面标准面上镀制分光膜形成；镀膜后标准面的面型没有变化，镀膜面可以经得起反复清洁擦拭；另外，该分光膜可以保证所述标准镜的外反射率趋于零。由此可知:本技术干涉显示出来的影像清晰，避免了增加滤网测量的网格干扰。另外，本技术可以用在平面和球面及其它各类标准镜的表面，镀过膜后的标准镜能测量银高反膜，铝高反膜及介质高反膜的反射镜，并测量硅片，锗片，砸化锌，硫化锌，金属片及角锥的面形，广泛地应用于光学加工及测量领域。为实现以上的技术目的，本技术将采取以下的技术方案:一种测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，所述标准镜面上镀制有分光膜，该分光膜的厚度为20?SOnm ;所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。作为优选，所述标准镜面为球面镜或平面镜。作为优选，所述分光膜包括底层和面层，其中底层的材质为二氧化钛或氧化铝，而面层的材质为金属铬根据以上的技术方案，相对于现有技术，本技术具有以下的优占.V.本技术在在普通平面标准面上镀制分光膜形成；镀膜后标准面的面型没有变化，镀膜面可以经得起反复清洁擦拭；另外，该分光膜可以保证所述标准镜的外反射率趋于零。由此可知:本技术干涉显示出来的影像清晰，避免了增加滤网测量的网格干扰。另夕卜，本技术可以用在平面和球面及其它各类标准镜的表面，镀过膜后的标准镜能测量银高反膜，铝高反膜及介质高反膜的反射镜，并测量硅片，锗片，砸化锌，硫化锌，金属片及角锥的面形，广泛地应用于光学加工及测量领域。【附图说明】图1是普通平面标准镜测量高反射镜面的工作原理图；图2是现有技术中，经过普通平面标准镜的光路示意图；图3是本技术所述平面标准镜的分光膜的光路图；图4是本技术所述的平面标准镜的光路图；图5为本技术所述平面标准镜的结构示意图。图中:被测反射镜I ;标准镜2 ;准直仪3 ;(XD摄像头4 ;分光镜5 ;光源6 ;底层7、面层8 ；其中，入射光1 ;标准镜2的表面返回光线IR ;通过标准镜2到达被测反射镜I表面、由被测反射镜表面反射回来的光线It ;通过标准镜2到达被测反射镜I表面、由被测反射镜表面反射回来、经标准镜表面的分光膜反射的光线IRl。【具体实施方式】附图非限制性地公开了本技术所涉及优选实施例的结构示意图；以下将结合附图详细地说明本技术的技术方案。本技术所述的测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，所述标准镜面上镀制有分光膜；所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。其中:所述分光膜采用纳米级厚度，介于40nm-50nmo通过理论膜系设计，在标准镜的表面镀制特殊的分光膜，实现由标准面返回的光线^是入射光I <>的25%，入射光I 通过标准镜由被测镜片反射回来的光线，完全能透过标准面的分光膜，也就是外反射率趋近于0%，具体如图3所示。因此，本技术能够实现图4所示的光路图，具体是:一束光经过标准镜，被镀特殊分光膜的标准面分成两路，一路由标准面反射返回即Ικ，另一路光线透过标准面到达被测反射镜面，由被测反射镜面反射回来的光线It是入射光的11?56%，两路光线的强度为0.2?2倍的关系，经过干涉显示出来的影像非常清晰，具体如图4所示。本技术可以用在平面和球面及其它各类标准镜的表面，镀过膜后的标准镜能测量银高反膜，铝高反膜及介质高反膜的反射镜，并测量硅片，锗片，砸化锌，硫化锌，金属片及角锥的面形，广泛地应用于光学加工及测量领域。经过比较，本技术的标准镜上镀膜后测出来的高反镜的面形是最为清晰的，避免了增加滤网测量的网格干扰。【主权项】1.一种测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，其特征在于，所述标准镜面上镀制有分光膜，该分光膜的厚度为20?SOnm ;所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。2.根据权利要求1所述测量高反射镜面形的平面标准镜，其特征在于:所述标准镜面为球面镜或平面镜。3.根据权利要求1所述测量高反射镜面形的平面标准镜，其特征在于:所述分光膜包括底层和面层，其中底层的材质为二氧化钛或氧化铝，而面层的材质为金属铬。【专利摘要】本技术公开了一种测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，所述标准镜面上镀制有分光膜；所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。由此可知：本技术干涉显示出来的影像清晰，避免了增加滤网测量的网格干扰。另外，本技术可以用在平面和球面及其它各类标准镜的表面，镀过膜后的标准镜能测量银高反膜，铝高反膜及介质高反膜的反射镜，并测量硅片，锗片，硒化锌，硫化锌，金属片及角锥的面形，广泛地应用于光学加工及测量领域。【IPC分类】G01B11-24, G02B1-14, G02B1-115【公开号】CN204314490【申请号】CN201420733965【专利技术人】宋治平, 范一 【申请人】南京茂莱光电有限公司【公开日】2015年5月6日【申请日】2014年11月27日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量高反射镜面形的平面标准镜，包括标准镜面，其特征在于，所述标准镜面上镀制有分光膜,该分光膜的厚度为20～80nm；所述分光膜能够确保标准镜面的外反射率趋于零。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋治平，范一，
申请(专利权)人：南京茂莱光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32