一种热处理设备的炉门控制机构制造技术

本发明专利技术涉及一种热处理设备的炉门控制机构，属于半导体卧式热处理设备技术领域，通过设置动力驱动装置、传动装置以及控制单元，利用花键轴套以及花键轴承之间的传动作用，实现带动炉门旋转与升降的功能。本发明专利技术提供的炉门控制机构，可灵活控制炉门的动作，操作方便，密封性能好，避免了热处理设备大量散热以及热辐射的问题，节约了成本，进而提高了半导体卧式热处理设备的工艺效率和机构的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种热处理设备的炉门控制机构，包括炉门，其特征在于，还包括动力驱动装置、传动装置以及控制单元；所述动力驱动装置包括平移气缸以及旋转气缸；所述平移气缸用于驱动所述传动装置做升降运动，所述旋转气缸用于驱动所述传动装置做旋转运动；所述传动装置包括相互配合的花键轴套以及花键轴承，所述花键轴套内壁设有内花键，所述花键轴承外表面设有与内花键相适应的花键段，所述花键轴承的外侧端依次固定连接一支板以及用于固定连接所述炉门的连接部；所述控制单元可分别控制所述平移气缸或旋转气缸的开启和关闭；其中，所述平移气缸与所述花键轴承的内侧端连接并驱动其在所述花键轴承的轴向方向上做往复运动，以带动所述炉门做升降运动，所述旋转...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贺小平，桂晓波，王广明，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11