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本发明涉及一种热处理设备的炉门控制机构，属于半导体卧式热处理设备技术领域，通过设置动力驱动装置、传动装置以及控制单元，利用花键轴套以及花键轴承之间的传动作用，实现带动炉门旋转与升降的功能。本发明提供的炉门控制机构，可灵活控制炉门的动作，操作...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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