【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种碳基电子的制作及互连方法，其特征在于，包含以下步骤：将制作好的碳纳米管束转移至第一硅片中的硅垂直通孔内，其中，每个所述碳纳米管束对应一个所述硅垂直通孔；在每三个所述碳纳米管束之间的所述第一硅片的上表面制作一个水平的碳基晶体管；将所述每三个碳纳米管束中的每个碳纳米管束分别与所述碳基晶体管的源极、漏极和栅极互连，得到所述碳基电子。
【技术特征摘要】
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