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多晶硅全自动熔炼控制系统及控制方法技术方案

技术编号:11362623 阅读:97 留言:0更新日期:2015-04-29 13:10
本发明专利技术是多晶硅全自动熔炼控制系统及控制方法,其结构包括可编程序控制器PLC、中频电源功率分配板、多晶硅熔炼坩埚温度装置、数字显示当前功率和温度装置、传感器、4-20MA电流信号发生器;优点:采用中频感应炉热电偶在坩埚壁上全程测温加热方式,与工艺有关的中频电源功率、频率,以及多晶硅的实时熔炼温度都可以通过传感器转换成数字信号传送给PLC系统,PLC系统可根据多晶硅的工艺要求,对这些参数经过PID调节,输出结果可精确控制多晶硅的各项性能指标,使产品的废品率大大降低;减轻劳动强度;提高生产效率;4)降低安全隐患。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是多晶硅全自动熔炼控制系统及控制方法,属于高新技术材料熔炼

技术介绍
现有的多晶硅熔炼控制大多都是开环式控制方式,即完全靠人工操作。由于多晶硅材料熔炼周期长,完全靠人工操作中频电源,人力劳动强度太大;完全靠人工操作时,控制精度不高,无法完全保证产品质量。
技术实现思路
本专利技术提出的是多晶硅全自动熔炼控制系统及控制方法,其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷,实现功率、温度闭环配方模式全自动熔炼控制。本专利技术的技术解决方案:多晶硅全自动熔炼控制系统,其结构包括可编程序控制器PLC、中频电源功率分配板、多晶硅熔炼坩埚温度装置、数字显示当前功率和温度装置、传感器、4-20MA电流信号发生器;其中可编程序控制器PLC的第一信号输出端通过中频电源功率分配板连接多晶硅熔炼坩埚温度装置的信号输入端,可编程序控制器PLC的第二信号输出端连接数字显示当前功率和温度装置的信号输入端,中频电源功率、多晶硅熔炼坩埚温度装置的信号输出端通过传感器接入4-20MA电流信号发生器,4-20MA电流信号发生器的信号输出端接入可编程序控制器P本文档来自技高网...

【技术保护点】
多晶硅全自动熔炼控制系统,其特征是包括可编程序控制器PLC、中频电源功率分配板、多晶硅熔炼坩埚温度装置、数字显示当前功率和温度装置、传感器、4‑20MA电流信号发生器;其中可编程序控制器PLC的第一信号输出端通过中频电源功率分配板连接多晶硅熔炼坩埚温度装置的信号输入端,可编程序控制器PLC的第二信号输出端连接数字显示当前功率和温度装置的信号输入端,中频电源功率、多晶硅熔炼坩埚温度装置的信号输出端通过传感器接入4‑20MA电流信号发生器,4‑20MA电流信号发生器的信号输出端接入可编程序控制器PLC的信号输入端。

【技术特征摘要】
1.多晶硅全自动熔炼控制系统,其特征是包括可编程序控制器PLC、中频电源功率分配板、多晶硅熔炼坩埚温度装置、数字显示当前功率和温度装置、传感器、4-20MA电流信号发生器;其中可编程序控制器PLC的第一信号输出端通过中频电源功率分配板连接多晶硅熔炼坩埚温度装置的信号输入端,可编程序控制器PLC的第二信号输出端连接数字显示当前功率和温度装置的信号输入端,中频电源功率、多晶硅熔炼坩埚温度装置的信号输出端通过传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱兴发李亚逸韩至成高玉龙朱伟陈睿
申请(专利权)人:朱兴发
类型:发明
国别省市:江苏;32

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