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多晶硅全自动熔炼控制系统及控制方法技术方案
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文档序号:11362623
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本发明是多晶硅全自动熔炼控制系统及控制方法,其结构包括可编程序控制器PLC、中频电源功率分配板、多晶硅熔炼坩埚温度装置、数字显示当前功率和温度装置、传感器、4-20MA电流信号发生器;优点:采用中频感应炉热电偶在坩埚壁上全程测温加热方式,与...
该专利属于朱兴发所有,仅供学习研究参考,未经过朱兴发授权不得商用。
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