【技术实现步骤摘要】
一种薄膜压力传感器
本技术涉及一种薄膜压力传感器。
技术介绍
薄膜传感器被称为第三代传感器,是国外80年代后随着薄膜技术的进步逐步发展起来的感器新品种,由于薄膜压力传感器采用的是物理气相沉积的方法制备,能满足高温、湿热、腐蚀、震动等恶劣环境下使用。薄膜压力传感器由于其优异的稳定性和恶劣环境适应性在航空、航天领域、石油工业及汽车等领域得到了广泛应用。 目前,薄膜压力传感器芯体主要使用的应变材料是镍铬合金,但是由于镍铬合金应变因子低于2.5,因此限制了传感器的灵敏度,不适合于恶劣环境下测量应变,所以开发具有高灵敏度的应变材料对于薄膜压力传感器的性能十分重要的。 因此,亟需一种以氮化坦为应变材料的薄膜压力传感器,以解决上述现有存在的冋题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是,针对现有技术不足,提供一种薄膜压力传感器,解决现有薄膜压力传感器灵敏度不足,不适合于恶劣环境下应变测量的问题,实现对压力参数的精确测量,提高薄膜压力传感器抗环境干扰能力和可靠性。 为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是:一种薄膜压力传感器,包括弹性基底,所述弹性基底为由两个竖直部分和连接所述两个竖直部分顶端的水平部分构成的倒U型;所述倒U型上表面覆盖有缓冲层;所述缓冲层上设有绝缘层;所述倒U型水平部分上方的绝缘层上设有多个应变电阻层;所述倒U型竖直部分上方的绝缘层上设有多个测温电阻层;所述应变电阻层和测温电阻层上表面的焊盘区域均设有电极层;所述多个应变电阻层之间的绝缘层上、所述测温电阻层与应变电阻层之间的绝缘层上,以及应变电阻层和测温电阻层的 ...
【技术保护点】
一种薄膜压力传感器,其特征在于,包括弹性基底(1),所述弹性基底(1)为由两个竖直部分和连接所述两个竖直部分顶端的水平部分构成的倒U型;所述倒U型上表面覆盖有缓冲层(2);所述缓冲层(2)上设有绝缘层(3);所述倒U型水平部分上方的绝缘层(3)上设有多个应变电阻层(4);所述倒U型竖直部分上方的绝缘层(3)上设有多个测温电阻层(5);所述应变电阻层(4)和测温电阻层(5)上表面的焊盘区域均设有电极层(6);所述多个应变电阻层(4)之间的绝缘层(3)上、所述测温电阻层(5)与应变电阻层(4)之间的绝缘层(3)上,以及应变电阻层(4)和测温电阻层(5)的非焊盘区域均设有钝化层(7)。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜压力传感器,其特征在于,包括弹性基底(I ),所述弹性基底(I)为由两个竖直部分和连接所述两个竖直部分顶端的水平部分构成的倒U型;所述倒U型上表面覆盖有缓冲层(2);所述缓冲层(2)上设有绝缘层(3);所述倒U型水平部分上方的绝缘层(3)上设有多个应变电阻层(4);所述倒U型竖直部分上方的绝缘层(3)上设有多个测温电阻层(5);所述应变电阻层(4)和测温电阻层(5)上表面的焊盘区域均设有电极层(6);所述多个应变电阻层(4)之间的绝缘层(3)上、所述测温电阻层(5)与应变电阻层(4)之间的绝缘层(3)上,以及应变电阻层(4)和测温电阻层(5)的非焊盘区域均设有钝化层(7)。2.根据权利要求1所述的薄膜压力传感器,其特征在于,所述弹性基底(I)采用不锈钢制成。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:周国方,景涛,龚星,袁云华,章良,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十八研究所,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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