【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子束加工设备领域，具体涉及一种。
技术介绍
冷阴极气体放电电子束加工设备已经广泛应用于电子束冶炼、EB-PVD等工业领域。冷阴极气体放电电子束加工设备技术的核心技术之一是冷阴极气体放电电子枪。冷阴极气体放电电子枪的阴极寿命是常规热阴极电子枪阴极寿命的几倍甚至几十倍，冷阴极电子枪对真空度要求不严格，真空度在1Pa?10_2Pa均可正常工作。由于受到气体放电物理特性的限制，冷阴极气体放电电子枪的工作电压都比较低，一般都小于40kV。而常用热阴极电子枪的最大工作电压可以达到_150kV，甚至更高。电子枪工作电压高，表明电子速度快，动能大，电子束穿透能力强。目前，冷阴极气体放电电子枪的工作电压都比较低，一般都小于40kV。相对于高压热阴极电子束流系统，电子速度慢，动能较小，电子束穿透能力不强，很难适应于焊接等加工技术。
技术实现思路
本专利技术提供了一种高电压冷阴极气体放电电子枪的电源装置，用以获得一种阴极寿命长，电子运动速度高的电子束流发生技术，该装置包括:高压电源、高压采样电路、电离电源、电离电压采样电路、电压控制与调节电路、束流采样电阻Rl...
【技术保护点】
一种高电压冷阴极气体放电电子枪的电源装置，其特征在于，包括：高压电源(10)、高压采样电路(31)、电离电源(20)、电离电压采样电路(32)、电压控制与调节电路(3)、束流采样电阻R1和束流控制与调节电路(8)；其中，所述高压电源(10)输出的正端与所述束流采样电阻R1的第一端连接，所述高压电源(10)输出的负端与所述电离电源(20)的正端和高压气体放电电子枪放电阳极(6)连接；所述高压电源(10)的控制信号输入端，与所述电压控制与调节电路(3)的第一输出端连接，所述高压电源(10)的控制信号输入端用于接收所述电压控制与调节电路(3)输出的高压调节信号Uhvff；所述高压...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许海鹰，左从进，韩瑞清，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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