白光干涉仪干涉条纹展宽方法技术

白光干涉仪干涉条纹展宽方法，涉及光学检测领域中的一种干涉条纹展宽方法。本发明专利技术的目的在于提供一种白光干涉仪的自动条纹展宽方法，在提高测量效率的同时，降低操作难度与工作量。该方法实施步骤为：首先调节白光干涉仪至条纹出现在屏幕中心处；然后计算屏幕四个子区域的条纹强度；计算两个条纹较强子区域的条纹方向；通过两区域中心沿各自条纹方向作虚拟直线并计算交点屏幕坐标；将该屏幕坐标转换为实际位置偏移，并根据元件曲率半径控制镜头摆动角度；重复以上过程直至条纹满足测量要求。本方法采用图像处理技术，不需外加传感器，计算简单，调节周期短，对于一般情况条纹，经过3～5次调节即可满足测量要求。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】，涉及光学检测领域中的一种干涉条纹展宽方法。本专利技术的目的在于提供一种白光干涉仪的自动条纹展宽方法，在提高测量效率的同时，降低操作难度与工作量。该方法实施步骤为：首先调节白光干涉仪至条纹出现在屏幕中心处；然后计算屏幕四个子区域的条纹强度；计算两个条纹较强子区域的条纹方向；通过两区域中心沿各自条纹方向作虚拟直线并计算交点屏幕坐标；将该屏幕坐标转换为实际位置偏移，并根据元件曲率半径控制镜头摆动角度；重复以上过程直至条纹满足测量要求。本方法采用图像处理技术，不需外加传感器，计算简单，调节周期短，对于一般情况条纹，经过3～5次调节即可满足测量要求。【专利说明】
本专利技术涉及光学检测
，具体涉及一种。
技术介绍
光学光件表面粗糙度通常采用白光干涉仪来检测。但由于白光干涉仪的检测范围 很小，通常在一平方毫米左右，所以为了获得更为真实的光学表面粗糙度信息，通常在表面 取多个采样点进行平均处理，并作为最终表面的粗糙度检测结果。 这样一来，每个表面均需测量十几至几十个采样点，若测量表面为曲面（球面、非 球面、自由曲面）时，每个点都需完成对位、条本文档来自技高网...

【技术保护点】
白光干涉仪干涉条纹的展宽方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、调整白光干涉仪镜头与被测光学元件表面之间的距离和角度，使干涉条纹呈现于屏幕上；步骤二、将屏幕均匀划分为四个区域，分别计算每个区域的条纹强度；步骤三、设定步骤二中获得条纹强度的阈值，判断是否存在两个或两个以上区域的条纹强度超过所述阈值，如果否，则提示条纹强度过低，并返回步骤一；如果是，则执行步骤四；步骤四、求取条纹强度最高的两个区域的条纹方向，并以所述两个区域的中心分别作为对应区域的参考点，通过对两个参考点分别沿条纹方向作直线，获得两直线交点的屏幕坐标；步骤五、判断步骤四获得的两直线交点的屏幕坐标与屏幕中心的距离是否小于预定值...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍治，刘健，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22