一种用于夹取PLC晶圆的镊子制造技术

本实用新型专利技术公开了晶圆加工领域的一种用于夹取PLC晶圆的镊子，包括等长的第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均设有一个固定端和一个活动端，所述第一夹持臂的固定端和所述第二夹持臂的固定端是相互固定的；所述第一夹持臂的活动端设有一个指向所述第二夹持臂的第一支撑部，所述第二夹持臂的活动端设有一个指向所述第一夹持臂的第二支撑部；所述第一夹持臂与所述第一支撑部之间的夹角，以及所述第二夹持臂与所述第二支撑部之间的夹角是相同的，且均在70～90°之间。其技术效果是：其能够在夹取PLC晶圆的过程中，牢牢夹取PLC晶圆，同时避免与PLC晶圆的上表面接触，以防止PLC晶圆在人工显影过程中发生显影不均匀等缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了晶圆加工领域的一种用于夹取PLC晶圆的镊子，包括等长的第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均设有一个固定端和一个活动端，所述第一夹持臂的固定端和所述第二夹持臂的固定端是相互固定的；所述第一夹持臂的活动端设有一个指向所述第二夹持臂的第一支撑部，所述第二夹持臂的活动端设有一个指向所述第一夹持臂的第二支撑部；所述第一夹持臂与所述第一支撑部之间的夹角，以及所述第二夹持臂与所述第二支撑部之间的夹角是相同的，且均在70～90°之间。其技术效果是：其能够在夹取PLC晶圆的过程中，牢牢夹取PLC晶圆，同时避免与PLC晶圆的上表面接触，以防止PLC晶圆在人工显影过程中发生显影不均匀等缺陷。【专利说明】_种用于夹取PLC晶圆的镊子
本技术涉及晶圆加工领域的一种用于夹取PLC晶圆的镊子。
技术介绍
在PLC(Planar Lightwave Circuit平面光波导)晶圆生产中，为防止人为因素而使灰尘污染PLC晶圆的表面，操作人员必须通过一种用于夹取PLC晶圆的镊子来夹取PLC晶圆，而不能用手直接提取PLC晶圆。 请参阅图1至图3，普通的用于夹取PLC晶圆的镊子包括第一夹持臂I和第二夹持臂2，第一夹持臂I的第一端部和第二夹持臂2的第一端部是相互固定的。即第一夹持臂I的第一端部和第二夹持臂2的第一端部均为固定端，第一夹持臂I的第二端部和第二夹持臂2的第二端部均为活动端，第一夹持臂I的第二端部设有第一台阶结构19，第二夹持臂2的第二端部设有第二台阶结构29。第一台阶结构19和第二台阶结构29是同向排列的。同时第一夹持臂I的长度小于第二夹持臂2的长度。在夹取PLC晶圆时，第一夹持臂I通过第一台阶结构19与PLC晶圆的上表面，即光刻表面接触，第二夹持臂2通过第二台阶结构29与PLC晶圆的下表面接触，对PLC晶圆起到支撑作用。 该用于夹取PLC晶圆的镊子，存在以下问题。第一，其是用人力夹取PLC晶圆的，第二夹持臂2通过第二台阶结构29对PLC晶圆的下表面的支撑只是在PLC晶圆的径向一侧的支撑，因而PLC晶圆容易脱落。第二，第一夹持臂I的第二端部与PLC晶圆的光刻表面直接接触，因此在光刻工艺中的人工显影时，容易造成显影不均等不良现象，造成良品率的下降。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种用于夹取PLC晶圆的镊子，其能够在夹取PLC晶圆的过程中，牢牢夹取PLC晶圆，同时避免与PLC晶圆的上表面接触，以防止PLC晶圆在人工显影过程中发生显影不均匀等缺陷。 实现上述目的的一种技术方案是:一种用于夹取PLC晶圆的镊子，包括等长的第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均设有一个固定端和一个活动端，所述第一夹持臂的固定端和所述第二夹持臂的固定端是相互固定的；其特征在于: 所述第一夹持臂的活动端设有一个指向所述第二夹持臂的第一支撑部，所述第二夹持臂的活动端设有一个指向所述第一夹持臂的第二支撑部； 所述第一夹持臂与所述第一支撑部之间的夹角，以及所述第二夹持臂与所述第二支撑部之间的夹角是相同的，且均在70?90°之间。 进一步的，所述第一支撑部上设有第一支撑爪，所述第二支撑部上对称设有第二支撑爪。 进一步的，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的截面形状为梯形。 进一步的，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂都是用软质金属制成的。 采用了本技术的一种用于夹取PLC晶圆的镊子的技术方案，即在在第一夹持臂的活动端增加一个指向第二夹持臂的第一支撑部，在第二夹持臂的活动端增加一个指向第一夹持臂的第二支撑部，第一夹持臂与第一支撑部之间的夹角，第二夹持臂与第二支撑部之间的夹角是相同的，且均在70?90°之间的用于夹取PLC晶圆的镊子的技术方案。其技术效果是:其能够在夹取PLC晶圆的过程中，牢牢夹取PLC晶圆，同时避免与PLC晶圆的上表面接触，以防止PLC晶圆在人工显影过程中发生显影不均匀等缺陷。 【专利附图】【附图说明】 图1为现有技术的用于夹取PLC晶圆的镊子的主视图。 图2为现有技术的用于夹取PLC晶圆的镊子的左视图。 图3为现有技术的用于夹取PLC晶圆的镊子的操作示意图。 图4为本技术的一种用于夹取PLC晶圆的镊子的主视图。 图5为本技术的一种用于夹取PLC晶圆的镊子的左视图。 图6为本技术的一种用于夹取PLC晶圆的镊子的操作示意图。 【具体实施方式】 请参阅图4至图6，本技术的专利技术人为了能更好地对本技术的技术方案进行理解，下面通过具体地实施例，并结合附图进行详细地说明: 请参阅图4?图6，本专利技术一种用于夹取PLC晶圆的镊子，包括等长的第一夹持臂I和第二夹持臂2，第一夹持臂I和第二夹持臂2均设有一个固定端和一个活动端，第一夹持臂I的固定端和第二夹持臂2的固定端是相互固定的，以便于对该用于夹取PLC晶圆的镊子进行操作。 第一夹持臂I的活动端设有一个指向第二夹持臂2的第一支撑部11，第二夹持臂2的活动端设有一个指向第一夹持臂I的第二支撑部21。 第一夹持臂I与第一支撑部21之间的夹角Θ 1，以及第二夹持臂2与第二支撑部21之间的夹角Θ 2是相同的，且均在70?90°之间。 这样设计的目的在于:通过第一夹持臂I上的第一支撑部21，以及第二夹持臂2上的第二支撑部21，在对PLC晶圆4进行夹取作业时，第一支撑部21和第二支撑部21在PLC晶圆4的径向两侧对PLC晶圆4的托起作用。同时，该用于夹取PLC晶圆的镊子在夹取PLC晶圆4时，第一夹持臂I和第二夹持臂2之间的夹角Θ增大，有回复的趋势，对PLC晶圆4产生一个指向PLC晶圆4圆心的作用力，因此，操作该用于夹取PLC晶圆的镊子时，只需用手掌控将第一夹持臂I和第二夹持臂2固定端固定的操作端，同时将PLC晶圆4放在第一支撑部11和第二支撑部21处即可固定PLC晶圆4，该用于夹取PLC晶圆的镊子可以牢牢夹住PLC晶圆4。这样双管齐下，更能确保在操作时夹取PLC晶圆4的安全性，减少生产报废量。同时，第一支撑臂I的活动端和第二支撑臂2的活动端均不与PLC晶圆4的上表面接触，因此在人工显影时使用简单、轻松，并且不会造成PLC晶圆4脱落和显影不均的不良现象的发生。 为了便于第一支撑部11和第二支撑部21托住PLC晶圆4，增大PLC晶圆4与第一支撑部11和第二支撑部21之间的接触面积，第一支撑部11设有第一支撑爪12，第二支撑部21上对称设有第二支撑爪。 为了保证能将第一夹持臂I和第二夹持臂2撑开，增大第一夹持臂I和第二夹持臂2之间的夹角Θ，同时保证第一支撑部11和第二支撑部21在夹取PLC晶圆过程中不变形，必须增大一夹持臂I和第二夹持臂2固定端的韧性，因此第一夹持臂I和第二夹持臂2截面均为梯形。即通过减小第一夹持臂I和第二夹持臂2固定端的水平截面的面积来增加第一夹持臂I和第二夹持臂2固定端韧性。本实施例中将第一夹持臂I和所述第二夹持臂2在竖直平面上的截面形状设计为梯形。 本实施例中，第一夹持臂I和第二夹持臂2均是选用软质金属制成的，比如铝合金制成的来制作第一夹持臂I和第二夹持臂2，增加第一夹持臂I和第二夹持臂2的韧性，便于本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于夹取PLC晶圆的镊子，包括等长的第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均设有一个固定端和一个活动端，所述第一夹持臂的固定端和所述第二夹持臂的固定端是相互固定的；其特征在于：所述第一夹持臂的活动端设有一个指向所述第二夹持臂的第一支撑部，所述第二夹持臂的活动端设有一个指向所述第一夹持臂的第二支撑部；所述第一夹持臂与所述第一支撑部之间的夹角，以及所述第二夹持臂与所述第二支撑部之间的夹角是相同的，且均在70～90度之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：俞月琴，倪智平，李方园，
申请(专利权)人：上海鸿辉光通科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31