用于光罩品质检验的暗室制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种用于光罩品质检验的暗室，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯。本实用新型专利技术实施例通过采用由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成的暗室，并在暗室内设置可调式滤光灯，从而达到了环境质量高，光线不受外界影响，安全、方便且高效的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
用于光卓品质检验的日苜室
本技术涉及光罩制作领域，尤其涉及一种用于光罩品质检验的暗室。
技术介绍
近年来，随着世界范围内面板产业的迅速发展，对大尺寸高精度的TFT、CF及普通面板的需求量也逐年的上升，与之对应的光罩(俗称Mask)的需求量也在日益增加，同时更大尺寸及更高精度的面板也对Mask的制作工艺提出了更高的要求。尤其是Mask在制程及机器检查完成后，需要工作人员在强光灯下进行目视检查。现有目视检查通常由I名或多名工作人员完成，工作人员佩戴无尘手套后双手握持Mask，在强光灯下肉眼检查外观、脏污、缺陷等项目。 然而，上述目视检查存在很多缺陷:(1)该检验通常要在ClasslOOO的无尘环境中进行，环境质量的好坏对检查的效果有着很大的影响；(2)由于强光灯置于车间内，车间内的白光对强光灯的光强有着很大的影响，对于1ym以下的表面缺陷不易观察，而微小缺陷的存在对客户使用Mask有致命影响，同时周围环境的过亮以及强光灯本身对Mask表面的反光会严重影响检验人员的视觉判断；(3)强光灯亮度不易调节，且长时间在强光灯下工作对人眼有一定的伤害。
技术实现思路
本技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种环境质量高，光线不受外界影响，安全、方便且高效的用于光罩品质检验的暗室。 为了解决上述技术问题，本技术实施例提出了一种用于光罩品质检验的暗室，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯。 进一步地，所述暗室的顶壁设有包括两级过滤网的过滤送风装置。 进一步地，所述暗室内部还设有可供工作人员进行检视操作的操作台。 进一步地，所述立体框架由空心管材搭建而成，所述暗室的侧壁采用防火阻燃的布料，并采用铝制薄片和螺丝钉将所述布料固定于立体框架上。 进一步地，所述立体框架的底部下方设有多个轮架和与所述轮架匹配的轮子。 进一步地，所述立体框架的底部下方还设有多个调节支座。 本技术实施例的用于光罩品质检验的暗室的有益效果是:通过采用由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成的暗室，并在暗室内设置可调式滤光灯，从而达到了目视检查环境质量高，光线不受外界影响，安全、方便且高效的技术效果。 【附图说明】 图1是本技术实施例的用于光罩品质检验的暗室的透视结构示意图。 图2是图1所示暗室的另一角度的透视图。 图3是图1所示暗室的俯视图。 【具体实施方式】 需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。 请参考图1至图3，本技术实施例提供了一种用于光罩品质检验的暗室，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架10和固设于所述立体框架10上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门20，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯30。在暗室内使用绿光灯30，该绿光灯30具有操作简单、易使用、照射面积广、效果好、对人体无害、对眼睛损伤小的优点，可以清晰明确判断Mask表面各种缺陷，尤其方便确认ΙΟμπι以下的伤痕和微粒子等表面缺陷，并且绿光灯30的光源部可以分离、亮度可调，可以根据Mask的大小及暗室空间位置等任意摆放。 所述立体框架10由空心管材搭建而成，所述暗室的侧壁采用防火阻燃的布料，并采用铝制薄片和螺丝钉将所述布料固定于立体框架10上。其中，所示管材优选为空心钢管或铝管。暗室的室内面积可依需设定，一般设为5平方米至10平方米，本实施方式中，立体框架10的长宽高分别为3m、3m和3m。 所述暗室的顶壁设有包括两级过滤网的过滤送风装置40。具体地，暗室的顶壁安装风机过滤机，并设有初、高效两级过滤网。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以预定的风速匀速送出，内部空气通过底部缝隙流出，进而既提高了暗室内的洁净度级别，营造了黑暗环境，方便品质检验，也无需改变车间布局及对整个车间进行环境等级的升级改造(如由ClasslOOO改造为Class 100等)，大大降低了造价成本。 所述暗室内部还设有可供工作人员进行检视操作的操作台(图未示出)。 所述立体框架10的底部下方设有多个轮架50和与所述轮架50匹配的轮子60，所述立体框架10的底部下方还设有多个调节支座70。所述轮子60方便了暗室的移动，所述调节支座70设于暗房的四个底角，底部为平面，保证整个暗房的平稳。 本技术实施例的暗室对应的目视检查准备工作包括:使暗室内的风机过滤机一直处于开启状态，以保证暗室内的环境质量，准备好丙酮、无尘纸、无尘布以及相对应且清洁干净的出货箱，将这些辅材放置在暗室的操作台上，将清洗干净的Mask拿入暗室，并提前15分钟打开暗室的绿光灯30，具体的目视检查过程为: (I)工作人员首先重新进入风淋室，吹一次风淋以吹掉身上的脏污，以免检验时身上及衣袖内的脏污或灰尘掉落在Mask上。 (2)佩戴新的无尘手套，新佩戴的无尘手套也可经过酒精的擦拭保持其洁净度。 (3)在绿光灯30下对Mask进行目视检查。 (4)检验完毕后，若Mask无任何问题，即打开包装箱，将Mask放入其中，打包出货。 综上，本技术实施例通过在车间内狭小空间的范围内搭建检验暗室，以控制人工检查的小范围内环境质量以及环境的亮暗程度，先将环境亮度调整为全黑环境，并进行过滤送风，然后配合绿光灯30的使用，从而使得人工检验更加安全，减少了脏污来源，既降低成本(及车间整体环境改造的成本)又提升工作人员检验Mask的质量和效率。 以上所述是本技术的【具体实施方式】，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光罩品质检验的暗室，其特征在于，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯。

【技术特征摘要】
1.一种用于光罩品质检验的暗室，其特征在于，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯。2.如权利要求1所述的用于光罩品质检验的暗室，其特征在于，所述暗室的顶壁设有包括两级过滤网的过滤送风装置。3.如权利要求1所述的用于光罩品质检验的暗室，其特征在于，所述暗室内部还设有可...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜武兵，林伟，
申请(专利权)人：深圳市路维光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44