具有触控功能的显示面板及其制造方法和复合电极技术

本发明专利技术公开了一种具有触控功能的显示面板及其制造方法和复合电极，该显示面板包括复合电极，其中复合电极包括金属电极以及设置于金属电极的表面上的金属氧化物层。通过上述方式，在该复合电极的金属电极表面形成致密且绝缘的金属氧化物层，从而防止复合电极同周边电路形成短路，提高具有触控功能的显示面板的良率，并降低成本。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种具有触控功能的显示面板及其制造方法和复合电极，该显示面板包括复合电极，其中复合电极包括金属电极以及设置于金属电极的表面上的金属氧化物层。通过上述方式，在该复合电极的金属电极表面形成致密且绝缘的金属氧化物层，从而防止复合电极同周边电路形成短路，提高具有触控功能的显示面板的良率，并降低成本。【专利说明】具有触控功能的显示面板及其制造方法和复合电极
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种具有触控功能的显示面板及其制造方法和复合电极。
技术介绍
现今的显示面板为了实现面板的轻薄化，并提高用户的触控及显示体验，一般是通过in-cell或on-cell技术将触控面板制作在显示面板上而形成一种具有触控功能的显示面板，其中in-cell技术是指将触控面板功能嵌入到液晶像素中的方法，on-cell技术是指将触控面板功能嵌入到彩色滤光片基板和偏光板之间的方法。 而在具有触控功能的显示面板内部，连接触控元件及显示元件的电极需要紧密的相邻排布，因此电极之间的距离较小，容易形成短路，影响制造具有触控功能的显示面板的良率及成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种具有触控功能的显示面板，以解决上述问题。 为解决上述问题，本专利技术提供一种具有触控功能的显示面板，该显示面板包括复合电极，其中复合电极包括金属电极以及设置于金属电极的表面上的金属氧化物层。 其中，金属氧化物层是通过对金属电极进行氧化处理形成。 其中，金属氧化物层是通过紫外线-臭氧或氧气等离子体对金属电极进行氧化处理形成。 其中，金属电极包括单层或至少两层金属层或金属合金层。 其中，金属氧化物层用于将金属电极与周围的导电元件进行电隔离。 其中，复合电极为显示面板的触控电极。 其中，显示面板进一步包括基板、设置于基板上的半导体图案、覆盖于半导体图案以及基板上的栅极绝缘层和层间绝缘层、设置于层间绝缘层上的源极/漏极图案、覆盖于源极/漏极图案和层间绝缘层上的平坦化层、设置于平坦化层上的公共电极图案、覆盖于公共电极图案和平坦化层上的钝化层以及设置于钝化层上的像素电极图案，触控电极设置于钝化层上且与像素电极图案间隔设置，其中平坦化层和钝化层上设置有第一接触孔，像素电极图案经第一接触孔与源极/漏极图案电连接，栅极绝缘层和层间绝缘层上设置有第二接触孔，源极/漏极图案经第二接触孔与半导体图案电连接。 本专利技术还提供一种具有触控功能的显示面板的制造方法，包括:形成金属电极；对金属电极进行氧化处理，进而形成设置于金属电极的表面上的金属氧化物层。 其中，对金属电极进行氧化处理的步骤包括:通过紫外线-臭氧或氧气等离子体对金属电极进行氧化处理。 为解决上述问题，本专利技术还提供一种复合电极，用于显示面板或触控面板，其中复合电极包括金属电极以及设置于金属电极的表面上的金属氧化物层。 通过上述方案，本专利技术的有益效果是:区别于现有技术，本专利技术揭示的具有触控功能的显示面板包括复合电极，该复合电极包括金属电极及设置于金属电极的表面上的金属氧化物层，因此，本专利技术的具有触控功能的显示面板可防止电极同周边的电路形成短路，提高具有触控功能的显示面板的良率，降低成本。 【专利附图】【附图说明】 为了更清楚地说明本专利技术实施方式中的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中: 图1是本专利技术具有触控功能的显示面板的结构示意图； 图2是本专利技术具有触控功能的显不面板的制造工艺不意图； 图3是本专利技术制作具有触控功能的显示面板的复合电极的工艺流程图。 【具体实施方式】 下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。 现今的具有触控功能的显示面板(简称触控显示面板)，在触控显示面板的内部，连接触控元件及显示元件的电极需要紧密的相邻排布，电极之间的距离较小，容易形成短路；本专利技术提出了一种具有触控功能的显示面板，该显示面板包括一种复合电极，该复合电极包括金属电极及设置于金属电极的表面上的金属氧化物层，请参看图1，图1本专利技术具有触控功能的显示面板的结构示意图。如图1所示，本专利技术的具有触控功能的显示面板1包括基板11、设置于基板11上的半导体图案12、覆盖半导体图案12以及基板11的栅极绝缘层13和层间绝缘层14、设置于层间绝缘层14上的源极/漏极图案15、覆盖于源极/漏极图案15和层间绝缘层14上的平坦化层16、设置于平坦化层16上的公共电极图案17、覆盖公共电极图案17和平坦化层16上的钝化层18、设置于钝化层18上的像素电极图案19，复合电极20设置于钝化层18上且与像素电极图案19间隔设置，其中平坦化层16和钝化层18上设置有第一接触孔21，像素电极图案19经第一接触孔21与源极/漏极图案15电连接，栅极绝缘层13和层间绝缘层14上设置有第二接触孔22，该源极/漏极图案15经第二接触孔22与半导体图案12电连接，此外，基板11上还设有缓冲层23。 在本实施方式中，具有触控功能的显示面板1为采用1=-(3611技术制造的11？8 (10? 了6卹61^ 1:111*6 ？017-8丨11(3011，低温多晶娃)液晶显示面板，它具有超薄、重量轻、低电耗、图像更清晰及色彩更绚丽等特点。基板11通常为玻璃基板，缓冲层出机七虹1^61-)23以工艺形成于基板11上，并覆盖整个基板11，缓冲层23可以降低漏电流，优选的半导体图案12设置在基板11的缓冲层23上。栅极绝缘层的社6 1118111^01-) 13通常采用工艺在基板11沉积呢03、31版或氧化层形成。并且，栅极绝缘层13上还覆盖有层间绝缘层14，源极/漏极图案15设置于层间绝缘层14上，并和栅极绝缘层13隔开，其中，栅极绝缘层13和层间绝缘层14上设置第二接触孔22，使源极/漏极图案15中的源极/漏极通过第二接触孔22与半导体图案12电连接。 平坦化层16覆盖源极/漏极图案15和整个层间绝缘层14，该平坦化层16为有机平坦层，平坦化层16可提高液晶效率。公共电极图案17设置于平坦化层16上，钝化层18覆盖公共电极图案17和整个平坦化层16，并且像素电极图案19和复合电极20均设置于钝化层18上，复合电极20与像素电极图案19间隔设置；钝化层18和平坦化层16上设置第一接触孔21，使像素电极图案19通过第一接触孔21与源极/漏极图案15电连接，由于源极/漏极图案15与半导体图案12通过第二接触孔22电连接，因此，实现像素电极图案19与半导体图案12也电连接，从而整个具有触控功能的显示面板I电连接。 本实施方式的复合电极20为触控电极，包括金属电极201及设置于金属电极的表面上的金属氧化物层202，该金属氧化物层202是通过对金属电极201进行氧化处理形成，该氧化处理为采用通过紫外线-臭氧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有触控功能的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括复合电极，其中所述复合电极包括金属电极以及设置于所述金属电极的表面上的金属氧化物层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：虞晓江，占伟，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44