一种手动片盒清洗装置制造方法及图纸

技术编号:11279912 阅读:65 留言:0更新日期:2015-04-09 13:03
本实用新型专利技术创造提供一种手动片盒清洗装置,包括冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU设备、水槽排放液系统、注水系统、箱体和工作台,刷洗槽和冲洗槽分别位于浸泡槽的两侧,FFU设备位于箱体上方,水槽排放液系统和注水系统分别与冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽连接,工作台由孔板组成。一种手动片盒清洗装置,其水槽供水、溢流及排水均由气动阀控制,每个水槽有注水开关,排水开关,溢流开关和溢流量调节阀,装置操作简便、安全性高,不需要买免洗片盒,能同时对多个不同规格硅片片盒进行清洗,不仅降低了生产成本,而且大大节省了片盒清洗的时间,提高了片盒清洗的产能。除此之外,操作台上方配置FFU设备,为硅片片盒清洗工作提供了一个洁净的微环境。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种手动片盒清洗装置,其特征在于:包括冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU设备、水槽排放液系统、注水系统、箱体和内嵌于所述箱体内的工作台,所述冲洗槽、刷洗槽和浸泡槽均位于所述工作台上,所述刷洗槽和所述冲洗槽分别位于所述浸泡槽的两侧,所述FFU设备位于所述箱体上方,所述水槽排放液系统和所述注水系统分别与所述冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽连接,所述工作台由孔板组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘振福张晋英刘伯云刘园尼志超
申请(专利权)人:天津中环领先材料技术有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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