本发明专利技术公开了一种高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，包括有玻璃基片，其特征在于：在玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有十三个膜层，其中第一膜层即最内层为SSTZrOX层，第二层为AZO层，第三层为Si层，第四层为AZO层，第五层为Cu层，第六层为CrNxOy层，第七层为SnO2层，第八层为AZO层，第九层为Si层，第十层为AZO层，第十一层为Ag层，第十二层为CrNxOy层，最外层为Si3N4层。本发明专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种透过率高，色泽鲜艳，辐射率低，节能效果显著，生产成本低的高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，本发明专利技术还提供一种磁控溅射法制备高透光率的金色类双银LOW-E玻璃的方法。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，包括有玻璃基片，其特征在于：在玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有十三个膜层，其中第一膜层即最内层为SSTZrOX层，第二层为AZO层，第三层为Si层，第四层为AZO层，第五层为Cu层，第六层为CrNxOy层，第七层为SnO2层，第八层为AZO层，第九层为Si层，第十层为AZO层，第十一层为Ag层，第十二层为CrNxOy层，最外层为Si3N4层。本专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种透过率高，色泽鲜艳，辐射率低，节能效果显著，生产成本低的高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，本专利技术还提供一种磁控溅射法制备高透光率的金色类双银LOW-E玻璃的方法。【专利说明】一种高透光率的金色类双银LOW-E玻璃及制备方法【
】本专利技术涉及一种高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，本专利技术还涉及一种磁控溅射法制备高透光率的金色类双银LOW-E玻璃的方法。【
技术介绍
】镀膜玻璃具有节能减排及装饰幕墙的双重功效。而金色玻璃作为镀膜玻璃的一个非常规品种，深受人们喜爱。但由于市场上现有的金色镀膜玻璃产品，色调暗淡且生产成本高，且大多数为阳光控制镀膜玻璃。【
技术实现思路
】本专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种透过率高，色泽鲜艳，辐射率低，节能效果显著，生产成本低的高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，本专利技术还提供一种磁控溅射法制备高透光率的金色类双银LOW-E玻璃的方法。本专利技术是通过以下技术方案实现的:一种高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，包括有玻璃基片1，其特征在于:在玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有十三个膜层，其中第一膜层即最内层为SSTZrOjl 21，第二层为AZ0层22，第三层为Si层23，第四层为AZ0层24，第五层为Cu层25，第六层为CrNxOy层26，第七层为SnO 2层27，第八层为AZ0层28，第九层为Si层29，第十层为AZ0层210，第^ 层为Ag层211，第十二层为CrNxOy层212，最外层为Si 3N4层213。如上所述的高透光率的金色类双银LOW-E玻璃，其特征在于所述第一膜层SSTZrOx层21的厚度为30?40nmo如上所述的高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，其特征在于所述第二层AZ0层22的厚度为10?15nm，第四层AZ0层24的厚度10?20nm，第八层AZ0层28的厚度为8?12nm，第十层为AZ0210的厚度为10?20nm。如上所述的高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，其特征在于所述第三层Si层23的厚度为3?5nm，第九层Si层295?8nm。如上所述的高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，其特征在于所述第五层Cu层25的厚度为10?15nm。如上所述的高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，其特征在于所述第六层CrNxOy层26和第十二层CrNxOy层212的厚度均为3nm?如上所述的高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，其特征在于所述第七层SnOjl 27的厚度为60nmo如上所述的高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，其特征在于所述第十一层Ag层211的厚度为10?15nm。如上所述的高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，其特征在于所述最外层Si3N4层213的厚度为50nmo一种制备上述的高透光率的金色类双银LOW-E玻璃的方法，其特征在于包括如下步骤:(1)磁控溅射SSTZrOjl，用交流中频电源、氧气作反应气体溅射掺锆的不锈钢靶Fe:Zr = 80:20，氩氧比为 400SCCM ?420SCCM:450SCCM ?500SCCM ；(2)磁控溅射氧AZ0层，用中频交流电源溅射陶瓷Zn勒，用氩气作为溅射气体，掺入少量02，氩氧比为:400SCCM-420SCCM:20?40SCCM，为S1、Cu层作铺垫；(3)磁控溅射Si层，交流电源溅射，用Ar气作为溅射气体，气体流量500?550SCCM ；(4)磁控溅射AZ0层，用中频交流电源溅射陶瓷Zn靶，用氩气作为溅射气体，掺入少量02，氩氧比为400SCCM-420SCCM:20?40SCCM，为Cu层作铺垫；(5)磁控溅射Cu层，直流电源溅射，用氩气作为工艺气体，体流量500?550SCCM ；(6)磁控溅射CrNxOy层，用直流电源溅射，用氮气做反应气体，渗少量氧气；(7)磁控溅射SnOjl，用交流中频电源、氧气作反应气体溅射Sn靶，氩氧比为400SCCM ?420SCCM:450SCCM ?500SCCM ；(8)磁控溅射AZ0层，用中频交流电源溅射陶瓷Zn靶，用氩气作为溅射气体，掺入少量02，氩氧比为400SCCM-420SCCM:20?40SCCM，为S1、Ag层作铺垫；(9)磁控溅射Si层，交流电源溅射，用Ar气作为溅射气体，气体流量500?550SCCM ；(10)磁控溅射AZ0层，用中频交流电源溅射陶瓷Zn靶，用氩气作为溅射气体，掺入少量02，氩氧比为400SCCM?420SCCM:20?40SCCM，为Ag层作铺垫；(11)磁控溅射Ag层，直流电源溅射，气体流量500?550SCCM。(12)磁控溅射CrNxOy层，用直流电源溅射，用氮气做反应气体，渗少量氧气；(13)磁控溅射Si3N4层，用交流中频电源、氮气作反应气体溅射硅铝靶，硅铝质量百分比 92:8，氩氮比为 400SCCM ?420SCCM:450SCCM ?500SCCM。与现有技术相比，本专利技术有如下优点:1、本专利技术特殊膜系的金色类双银L0W-E玻璃，色泽鲜艳，而且透光率高，达到70%以上；Ο2、本专利技术与采用金作为功能层生产的金色相比较，Si作为功能层的成本不到用金的千分之一，且产品的辐射率仅0.02，节能效果显著。3、本专利技术采用铜替代一层银，在保证了金色效果的同时比普通的双银L0W-E玻璃成本更低。【【专利附图】【附图说明】】图1是本专利技术结构示意图。【【具体实施方式】】一种高透光率的金色类双银L0W-E玻璃，包括有玻璃基片1，在玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有十三个膜层，其中第一膜层即最内层为SSTZrOjl 21，第二层为AZO层22，第三层为Si层23，第四层为AZ0层24，第五层为Cu层25，第六层为CrNxOy层26，第七层为SnOjl 27，第八层为AZ0层28，第九层为Si层29，第十层为AZ0层210，第i 层为Ag层211，第十二层为CrNxOy层212，最外层为Si 3N4层213。所述第一膜层即最内层为SSTZrOjl 21，即掺锆氧化不锈钢层，通过在不锈钢内掺锆，在反应溅射时提高膜层的折射率，达到2.0左右，从而提升复合膜系的透过率。作调节金色颜色层，可得到较黄的金色效果。SSTZrOjl 21的厚度为30?40nm，优选35nm，nm是纳米，lm = 109nm。所述第二层AZO层22，即铝掺杂的氧化锌层，平整层，平滑Si层，为S1、Cu层作铺垫，降低辐射率。AZ0层的厚度为10?15nm。优选12nm。所述第三层Si层23，即硅层，为功能层，用来作为金色提供层。Si层的厚度为3?5nm，优选 4nm。所述第四层AZ0层24，即铝掺杂的氧化锌层，平整层，由于Si溅射后成簇状结构，通过用AZ0层平滑Si层，为下层本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高透光率的金色类双银LOW‑E玻璃，包括有玻璃基片(1)，其特征在于：在玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有十三个膜层，其中第一膜层即最内层为SSTZrOX层(21)，第二层为AZO层(22)，第三层为Si层(23)，第四层为AZO层(24)，第五层为Cu层(25)，第六层为CrNxOy层(26)，第七层为SnO2层(27)，第八层为AZO层(28)，第九层为Si层(29)，第十层为AZO层(210)，第十一层为Ag层(211)，第十二层为CrNxOy层(212)，最外层为Si3N4层(213)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：魏佳坤，林改，郑梅鹏，宋晓群，郑凯永，
申请(专利权)人：揭阳市宏光镀膜玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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