用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法技术方案

本发明专利技术提供一种用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法。该检测设备包括：承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔；多个固定装置分别与多个通孔相对应，多个固定装置构造为能够在承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个通孔处，且通孔构造为能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分；压力输送装置具有进气口和出气口，承载装置密封连接至出气口，且承载装置的与第一表面相对的第二表面面向压力输送装置，使得压力传感器的受压面面向压力输送装置。该检测设备可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法
本专利技术总地涉及传感器检测领域，且更具体地涉及一种用于压力传感器的检测设备和检测系统，以及利用该检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法。
技术介绍
现有技术中对压力传感器的检测一般是通过在待检测的压力传感器的外表面套上一个与其直径相近的气管，并使得压力传感器的受压面朝向该气管，从气管的进气口输入气体，使其作用于待检测的压力传感器的受压面，从而进行后续的灵敏度检测操作。但是这种检测方法每次只能对一个压力传感器进行检测，当检测另外的压力传感器的时候，必须重新安装气管，工作效率低。因此，需要提供一种用于压力传感器的检测设备和检测系统，以及利用该检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法，以解决上面提到的问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，根据本专利技术的一个方面，提供了一种用于压力传感器的检测设备。所述检测设备包括：承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔；多个固定装置分别与多个所述通孔相对应，多个所述固定装置构造为能够在所述承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个所述通孔处，且所述通孔构造为能够暴露所述压力传感器的受压面的至少一部分；所述压力输送装置具有进气口和出气口，所述承载装置密封连接至所述出气口，且所述承载装置的与所述第一表面相对的第二表面面向所述压力输送装置，使得所述压力传感器的受压面面向所述压力输送装置。优选地，每个所述固定装置均包括密封件，所述密封件上设有开孔，所述开孔与所述通孔对准，所述密封件在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下在所述通孔处设置在所述压力传感器和所述承载装置之间。优选地，所述固定装置包括套筒和盖体，所述套筒围绕所述通孔固定在所述承载装置上，用于容置所述压力传感器，所述盖体可拆卸地连接在所述套筒上，所述盖体在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下压靠所述压力传感器。优选地，所述固定装置还包括弹性件，所述弹性件设置在所述盖体的朝向所述套筒的一侧，所述弹性件构造为在所述安装状态下能够将所述压力传感器朝向所述承载装置偏压。优选地，所述套筒与所述盖体螺接。优选地，所述承载装置螺接至所述压力输送装置的所述出气口。优选地，所述承载装置与所述压力输送装置一体地形成。优选地，所述承载装置和所述压力输送装置是由金属材料制成的。根据本专利技术的另一方面，提供了一种用于压力传感器的检测系统，所述检测系统包括：如上所述的任一种检测设备；灵敏度检测装置，所述灵敏度检测装置用于分别检测安装在所述检测设备上的压力传感器的灵敏度；以及压力源，所述压力源连接至所述压力输送装置的所述进气口，用于向所述压力输送装置内输入气体。根据本专利技术的还一方面，提供了一种使用上述的检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法，所述方法包括以下步骤：通过多个所述固定装置分别将多个压力传感器安装至所述承载装置的所述第一表面，且所述压力传感器的受压面由所述通孔暴露；将所述压力传感器分别与所述灵敏度检测装置连接；将所述压力输送装置的所述进气口与所述压力源连接；通过所述进气口向所述压力输送装置内输入气体；当所述压力输送装置内的压力稳定后，监测所述灵敏度检测装置的读数。综上，本专利技术提供的检测设备可以同时固定多个压力传感器，从而可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。以下结合附图，详细描述本专利技术的优点和特征。附图说明为了使本专利技术的优点更容易理解，将通过参考在附图中示出的具体实施例更详细地描述上文简要描述的本专利技术。可以理解这些附图只描绘了本专利技术的典型实施例，因此不应认为是对其保护范围的限制，通过附图以附加的特性和细节描述和解释本专利技术。图1为根据本专利技术一个实施例的检测设备的示意图；图2为根据本专利技术一个实施例的承载装置的示意图；图3为图1中所示A区域的放大截面图；以及图4为根据本专利技术一个实施例的包括检测设备的检测系统的示意图。具体实施方式在下文的讨论中，给出了细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，本领域技术人员可以了解，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在特定的示例中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详尽地描述。根据本专利技术的一个方面，公开了一种压力传感器的检测设备（以下简称检测设备），用于检测压力传感器的灵敏度。如图1所示，该检测设备包括承载装置110、多个固定装置120以及压力输送装置130。结合图2所示，该承载装置110上设置有多个通孔111。虽然图2中示出的通孔111的数量为8个，但本专利技术不限于此，本领域的技术人员可根据实际需要选择设置合理数量的通孔。此外，通孔111的形状也并非限于图中所示的圆形，也可以为任何其它形状，只要能够实现本专利技术的目的即可。多个固定装置120的数量与多个通孔111的数量相对应，即每个通孔111处都对应地设置有一个固定装置120，以便将压力传感器固定在通孔111处。当将压力传感器固定在通孔111处时，压力传感器的受压面应当对准通孔111，以便使通孔111暴露压力传感器的受压面。这样，多个固定装置120可以在承载装置110的第一表面（例如图1中所示的承载装置110的左侧表面）将多个压力传感器分别固定到多个通孔111处，且通孔111能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分。通孔111可以暴露受压面的一部分，也可以将受压面全部暴露，只要能够将压力输送装置130输送过来的气体压力通过通孔111施加到压力传感器的受压面即可。压力输送装置130在其两端分别设置有进气口131和出气口132，承载装置110的第二表面朝向压力输送装置130并连接至压力输送装置130的出气口132端。其中，承载装置110的第二表面与第一表面相对，并使得压力传感器的受压面面向所述压力输送装置130，以使来自压力输送装置130的气体能够直接作用于压力传感器的受压面。该检测设备可以同时在承载装置110上安装并固定多个压力传感器，从而可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。优选地，如图3所示，每个固定装置120都包括密封件121，密封件121上设有开孔。在压力传感器300安装到检测设备的安装状态下，密封件121在通孔111处设置在压力传感器300和承载装置110之间，且使得密封件121上的开孔与承载装置110上的通孔111对准，以保证每个压力传感器300和承载装置110之间仅通过相应的通孔111输送气体，进而在每个通孔111处实现承载装置110与相应的压力传感器300之间的密封性。密封件121的设置可以保证当通过通孔111向压力传感器300的受压面施加气体压力的时候气体不会泄露，从而保证了该检测设备的密封性，有利于提高测试数据的准确性。更优选地，如图3所示，每个固定装置120都包括套筒122和盖体123，套筒122围绕通孔111固定在承载装置110上，套筒122的尺寸设置为略大于待检测的压力传感器300的尺寸，以能够将压力传感器300容置在其中。优选地，套筒122的内部尺寸可以与压力传感器300的尺寸相匹配，以便在套筒122的横截面内固定压力传感器300。虽然，图中示出的套筒122为圆柱形的，但是本专利技术并不限于此，其可以为任何形状，只要能够固定压力传感器即可。盖体1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于压力传感器的检测设备，所述检测设备包括：承载装置，其上设置有多个通孔；多个固定装置，其分别与多个所述通孔相对应，多个所述固定装置构造为能够在所述承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个所述通孔处，且所述通孔构造为能够暴露所述压力传感器的受压面的至少一部分；压力输送装置，所述压力输送装置具有进气口和出气口，所述承载装置密封连接至所述出气口，且所述承载装置的与所述第一表面相对的第二表面面向所述压力输送装置，使得所述压力传感器的受压面面向所述压力输送装置。

【技术特征摘要】
1.一种用于压力传感器的检测设备，所述检测设备包括：承载装置，其上设置有多个通孔；多个固定装置，其分别与多个所述通孔相对应，多个所述固定装置构造为能够在所述承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个所述通孔处，且所述通孔构造为能够暴露所述压力传感器的受压面的至少一部分，所述固定装置包括套筒和盖体，所述套筒围绕所述通孔固定在所述承载装置上，用于容置所述压力传感器，所述盖体可拆卸地连接在所述套筒上，所述盖体在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下压靠所述压力传感器；压力输送装置，所述压力输送装置具有进气口和出气口，所述承载装置密封连接至所述出气口，且所述承载装置的与所述第一表面相对的第二表面面向所述压力输送装置，使得所述压力传感器的受压面面向所述压力输送装置。2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，每个所述固定装置均包括密封件，所述密封件上设有开孔，所述开孔与所述通孔对准，所述密封件在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下在所述通孔处设置在所述压力传感器和所述承载装置之间。3.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述固定装置还包括弹性件，所述弹性件设置在所述盖体的朝向所述套筒的一侧，所述弹性件构造为在所述安装状态下能够将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾坚俭，徐伯强，
申请(专利权)人：无锡华润上华半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32