支撑体供应装置、叠层体制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及支撑体供应装置、叠层体制造装置。本发明专利技术的一个方式的目的之一是提供一种具有清洁的表面的支撑体的供应装置。或者，本发明专利技术的目的之一是提供一种叠层体制造装置，该叠层体具备表面被剥离的加工构件的剩余部及支撑体。上述装置包括对准部、切口形成部及剥离部。对准部包括具备支撑体及隔膜的叠层膜的第一传送机构及固定叠层膜的工作台。切口形成部包括形成残留有隔膜的切口的刀具。剥离部包括第二传送机构及在拉长隔膜后将其剥离的剥离机构。此外，装置包括使支撑体的表面活化的预处理部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种物体、方法或制造方法。或者，本专利技术涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或组合物(composition of matter)。尤其是，本专利技术例如涉及一种半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、上述装置的驱动方法或制造方法。尤其是，本专利技术的一个方式涉及一种支撑体供应装置或叠层体制造装置。
技术介绍
与信息传送方法有关的社会基础越来越充实。因此，通过使用信息处理装置，不仅可以在工作场所或家里还可以在外出目的地取得、加工或发送多种丰富的信息。在上述背景下，对便携式信息处理装置积极地展开了开发。例如，便携式信息处理装置经常在室外被使用，所以有时因掉下而使便携式信息处理装置及在其中使用的显示装置意外受到意外的外力冲击。作为不容易破损的显示装置的一个例子，已知具有使发光层分离的结构体与第二电极层之间的紧密性得到提高的结构的显示装置(专利文献1)。[专利文献1]日本专利申请公开2012-190794号公报
技术实现思路
本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种具有清洁的表面的支撑体供应装置。或者，本专利技术的目的之一是提供一种叠层体制造装置，该叠层体制造装置具备表面被剥离的加工构件的剩余部及支撑体。或者，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种新颖的制造装置。或者，本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种使用新颖的制造装置制造的装置。注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。此外，本专利技术的一个方式并不需要实现所有上述目的。另外，说明书、附图以及权利要求书等的记载中显然存在上述目的以外的目的，可以从说明书、附图以及权利要求书等的记载中获得上述目的以外的目的。本专利技术的一个方式是一种支撑体供应装置，该支撑体供应装置包括对准部、切口形成部以及剥离部，其中，该对准部包括：具备能够供应支撑体及相接于支撑体的一个面的隔膜的薄片状叠层膜的第一传送机构；以及固定被供应的叠层膜的工作台，该切口形成部包括：能够在叠层膜的端部附近形成残留有隔膜的切口的切割器，该剥离部包括：支撑叠层膜的另一面并进行传送的第二传送机构；以及持着与形成有切口的端部重叠的隔膜，并在拉长隔膜后将其剥离的剥离机构。另外，本专利技术的一个方式是一种包括预处理部的上述支撑体供应装置，该预处理部包括：对支撑体的一个面照射超声波，并一边喷射压缩空气一边抽吸气氛的第一预处理机构或/及照射紫外线的第二预处理机构。上述本专利技术的一个方式的支撑体供应装置包括对准部、切口形成部及剥离部。对准部包括：具备支撑体及隔膜的叠层膜的第一传送机构；以及固定叠层膜的工作台。切口形成部包括形成残留有隔膜的切口的切割器。剥离部包括第二传送机构及在拉长隔膜后将其剥离的剥离机构。此外，上述本专利技术的一个方式的支撑体供应装置包括使支撑体表面活化的预处理部。由此，可以将隔膜从支撑体与隔膜的叠层膜剥离，而使支撑体的表面保持清洁的状态。再者，可以使该表面活化而供应。其结果是，可以提供一种能够供应清洁且粘合性良好的支撑体的支撑体供应装置。另外，本专利技术的一个方式是一种包括薄片供应部的上述支撑体供应装置，包括：容纳有薄片状叠层膜的托盘；对第一传送机构从托盘中拾起的叠层膜的端部喷射气体的重送防止机构；以及检测第一传送机构所拾起的叠层膜是否为一个的重送检测机构。上述本专利技术的一个方式的支撑体供应装置包括薄片供应部，该薄片供应部包括：整理第一传送机构所拾起的多个叠层膜来防止重送的重送防止机构；以及检测重送的叠层膜的重送检测机构。由此，第一传送机构可以以良好的再现性来供应一个薄片状叠层膜。其结果是，可以减少伴随重送的停滞时间，而可以提供一种生产率被提高的支撑体供应装置。此外，本专利技术的一个方式是一种包括薄片供应部的上述支撑体供应装置，包括：从被卷起的状态供应叠层膜的开卷机构；将供应的叠层膜切割成预定尺寸的薄片状的切割机构；以及容纳薄片状叠层膜的托盘。上述本专利技术的一个方式的支撑体供应装置将叠层膜开卷，将其切割成预定尺寸的薄片，并包括容纳薄片状的托盘。由此，从被卷起的叠层膜制造预定尺寸的薄片状叠层膜，并容纳于托盘。其结果是，可以提供一种能够供应所希望的尺寸的支撑体的支撑体供应装置。此外，本专利技术的一个方式是一种叠层体制造装置，包括：供应加工部件的第一供应单元；形成第一剩余部的第一分离单元；被供应第一支撑体，并使用第一粘合层将第一支撑体贴合于第一剩余部的第一贴合单元；供应第一支撑体的支撑体供应单元；以及第一装运单元，该第一装运单元装运具备第一剩余部、第一粘合层以及由第一粘合层贴合的第一支撑体的第一叠层体。并且，支撑体供应单元包括对准部、切口形成部以及剥离部，其中，该对准部包括：具备能够供应支撑体及相接于支撑体的一个面的隔膜的薄片状叠层膜的第一传送机构；以及固定被供应的叠层膜的工作台，该切口形成部包括：能够在叠层膜的端部附近形成残留有隔膜的切口的切割器，该剥离部包括：支撑叠层膜的另一面并传送的第二传送机构；以及持着与形成有切口的端部重叠的隔膜，并在拉长隔膜后将其剥离的剥离机构。上述本专利技术的一个方式的叠层体制造装置包括：加工构件的供应单元；形成第一剩余部的第一分离单元；将第一支撑体贴合于第一剩余部的第一贴合单元；供应第一支撑体的支撑体供应单元；以及第一装运单元，该第一装运单元装运具备第一剩余部、第一粘合层以及由第一粘合层贴合的第一支撑体的第一叠层体。由此，可以从加工构件剥离其一个表层，形成第一剩余部，并将第一支撑体贴合于第一剩余部。其结果是，可以提供一种包括表层被剥离的加工构件的剩余部及支撑体的叠层体制造装置。另外，本专利技术的一个方式的叠层体制造装置包括：供应加工构件的第一供应单元；剥离加工构件的一个表层，而形成第一剩余部的第一分离单元；使用第一粘合层将第一支撑体贴合于第一剩余部的第一贴合单元；供应第一支撑体及第二支撑体的支撑体供应单元；第一装运单元，该第一装运单元装运具备第一剩余部、第一粘合层以及由第一粘合层贴合的第一支撑体的第一叠层体；供应第一叠层体的第二供应单元；在第一剩余部及第一支撑体的端部附近形成剥离起点的起点形成单元；剥离第一叠层体的一个表层，而形成第二剩余部的第二分离单元；被供应第二支撑体，使用第二粘合层将第二支撑体贴合于第二剩余部的第二贴合单元；以及第二装运单元，该第二装运单元装运...

【技术保护点】
一种支撑体供应装置，包括：对准部；设置有切割器的切口形成部；设置有剥离机构的剥离部；第一传送机构；第二传送机构；以及工作台,其中，所述第一传送机构被配置为将支撑体及与所述支撑体的一个面相接的隔膜传送到所述对准部，该操作在所述第一传送机构支撑所述支撑体的另一个面的期间中执行，并且所述第一传送机构被配置为将所述支撑体及所述隔膜放置于所述工作台的预定位置处，其中，所述工作台被配置为：进行移动且旋转，以在所述对准部中针对所述预定位置调整所述支撑体及所述隔膜，将所述支撑体及所述隔膜固定在所述预定位置处，并且将所述支撑体及所述隔膜从所述对准部传送到所述切口形成部，其中，所述第二传送机构被配置为在所述切口形成部与所述剥离部之间传送所述支撑体及所述隔膜，该操作在所述第二传送机构支撑所述支撑体的所述另一个面的期间中执行，其中，所述切割器被配置为在所述支撑体的端部的附近形成不穿过所述隔膜的切口，并且其中，所述剥离机构被配置为保持且拉伸与所述支撑体的所述端部重叠的所述隔膜，并接着从所述支撑体剥离所述隔膜。

【技术特征摘要】
2013.08.30 JP 2013-179700;2014.02.19 JP 2014-029401.一种支撑体供应装置，包括：
对准部；
设置有切割器的切口形成部；
设置有剥离机构的剥离部；
第一传送机构；
第二传送机构；以及
工作台,
其中，所述第一传送机构被配置为将支撑体及与所述支撑体的一
个面相接的隔膜传送到所述对准部，该操作在所述第一传送机构支撑
所述支撑体的另一个面的期间中执行，并且所述第一传送机构被配置
为将所述支撑体及所述隔膜放置于所述工作台的预定位置处，
其中，所述工作台被配置为：进行移动且旋转，以在所述对准部
中针对所述预定位置调整所述支撑体及所述隔膜，将所述支撑体及所
述隔膜固定在所述预定位置处，并且将所述支撑体及所述隔膜从所述
对准部传送到所述切口形成部，
其中，所述第二传送机构被配置为在所述切口形成部与所述剥离
部之间传送所述支撑体及所述隔膜，该操作在所述第二传送机构支撑
所述支撑体的所述另一个面的期间中执行，
其中，所述切割器被配置为在所述支撑体的端部的附近形成不穿
过所述隔膜的切口，并且
其中，所述剥离机构被配置为保持且拉伸与所述支撑体的所述端
部重叠的所述隔膜，并接着从所述支撑体剥离所述隔膜。
2.根据权利要求1所述的支撑体供应装置，还包括所述对准部中
的相机，其中所述相机被配置为进行拍照以判断所述支撑体及所述隔
膜是否位于所述工作台的所述预定位置处。
3.根据权利要求1所述的支撑体供应装置，其中所述工作台被配

\t置为在所述切口形成部中旋转。
4.根据权利要求1所述的支撑体供应装置，还包括预处理部，该
预处理部包括：
第一预处理机构，使用超声波照射所述支撑体的所述一个面，并
一边喷射压缩空气一边抽吸气氛；或者
第二预处理机构，使用紫外线照射所述支撑体的所述一个面。
5.根据权利要求1所述的支撑体供应装置，还包括预处理部，该
预处理部包括：
第一预处理机构，使用超声波照射所述支撑体的所述一个面，并
一边喷射压缩空气一边抽吸气氛；以及
第二预处理机构，使用紫外线照射所述支撑体的所述一个面。
6.根据权利要求1所述的支撑体供应装置，还包括薄片供应部，
该薄片供应部包括：
托盘，其中储存有包括所述支撑体及所述隔膜的叠层膜；
重送防止机构，对由所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：大野正胜，横山浩平，井户尻悟，池田寿雄，神保安弘，安达广树，平形吉晴，江口晋吾，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：日本;JP