一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统技术方案

涉及一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，设置工艺参数采集系统、工艺进程模拟系统、工艺可靠性分析系统及工艺参数改进系统。工艺参数采集系统是检测传感器的数据，形成反应晶体生长状态的工艺参数。工艺进程模拟系统设置晶体生长理论所形成的长晶核心算法，根据工艺参数采集系统获得的工艺参数再现晶体生长的状态。工艺可靠性分析系统是基于晶体生长的状态和工艺参数，判断整个工艺完成情况的系统。工艺参数改进系统则是基于工艺可靠性分析系统的结果，对工艺参数进行即时调整的程序。该系统是具有简单的自学习与分析功能的机器人程序，可以不断提高了系统的可靠性和进程模拟的精确程度，使晶体成品率得到最大限度的保证。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石晶体（氧化铝单晶）生长
，尤其是一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统。 
技术介绍
蓝宝石晶体的组成为氧化铝(Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。蓝宝石晶体具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等特点，是一种用途相当广泛的光电材料。由于蓝宝石晶体的光学穿透带很宽，从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度激光镜片材料及掩模材料上。蓝宝石的另一个重要用途是氮化镓外延（GaN）的衬底材料，因为蓝宝石（单晶Al2O3）C面Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 外延工艺中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。但是用于光学及LED衬底的蓝宝石晶体其应力和缺陷要求极高，尽管半个多世纪以来陆续出现了提拉法、热交换法、布里奇曼法以及倒模法等蓝宝石生长技术，目前最成熟的生长大尺寸低应力无缺陷蓝宝石晶体的技术仍然还是泡生法或KY法。泡生法生长蓝宝石的一般工艺是将一根受冷的籽晶与熔体接触，如果界面的温度低于凝固点，则籽晶开始生长，为了使晶体不断长大，就需要逐渐降低熔体的温度，同时旋转晶体，以改善熔体的温度分布。也可以缓慢的（或分阶段的）上提晶体，以扩大散热面。晶体在生长过程中或生长结束时不与坩埚壁接触，这就大大减少了晶体的应力。因为泡生法生长蓝宝石的温度高达2100摄氏度，而温度梯度又较小，目前的测温方法都难以达到其要求。而判断熔体温度是引晶的基本要求，通过肉眼观察并经由大量的经验，可以对蓝宝石晶体过程进行判断，由此产生了基于肉眼判断的纯经验晶体生长方式。由于缺乏足够的由经验的晶体生长的工程师，泡生法的成品率以及产能都受到了严重的制约。本专利技术提供了一种可替代人工生长的泡生法蓝宝石工艺机器人系统，能根据生长情况随时对参数进行调整，并能自动判断晶体生长进程的质量。这将有效的提高目前泡生法生长蓝宝石晶体的成品率及产能。 
技术实现思路
（一）要解决的技术问题有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，不仅可以实现自动引晶，还可以自动优化工艺参数，以达到大规模生产条件下的蓝宝石晶体自动引晶过程成功率的最大化。 （二）技术方案为达到上述目的，本专利技术提供了一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，设置四个组成部分：工艺参数采集系统、工艺进程模拟系统、工艺可靠性分析系统及工艺参数改进系统。所述的工艺参数采集系统是检测传感器的数据，形成反应晶体生长状态的工艺参数，所述的传感器包括检测晶体质量的重量传感器、检测晶体位置的位置传感器和检测冷却水温度的水温传感器。所述的工艺进程模拟系统设置晶体生长理论所形成的长晶核心算法，所述的长晶核心算法根据所述的工艺参数采集系统获得的工艺参数再现晶体生长的状态。所述的工艺可靠性分析系统是基于晶体生长的状态和工艺参数，判断整个工艺完成情况的系统。所述的工艺参数改进系统则是基于所述的工艺可靠性分析系统的结果，对所述的工艺参数进行即时调整的程序。 （三）有益效果从上述技术方案可以看出，本专利技术具有以下有益效果：1、本专利技术提供的泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，集成了通过晶体生长理论及实验验证过的有效算法，因此可以基于获得的晶体生长参数对生长过程进行有效的模拟，解决泡生法晶体生长过程无法监测的问题，从而提高晶体的成品率。2、本专利技术提供的泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，集成了晶体生长的可靠性判据，并且该判据会根据晶体生长的结果进行调整，使得系统具有了一定的学习能力，从而给予晶体生长过程更加准确的控制，从而不断优化晶体生长的质量。附图说明图1是蓝宝石晶体生长炉的示意图；图2是工艺机器人系统的系统框图。 具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。图1是泡生法蓝宝石的晶体生长炉1的示意图，设置了进行集中控制的计算机，并安装了检测晶体质量的重量传感器、检测晶体位置的位置传感器和检测冷却水温度的水温传感器，以及调节晶体位置的提拉机构和具有功率可调的加热系统，以及可调节冷却水流量的水泵。所述的计算机设置了工艺机器人系统。如图2所示，本专利技术提供的泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统的流程图。设置四个组成部分：工艺参数采集系统2、工艺进程模拟系统3、工艺可靠性分析系统4及工艺参数改进系统5。所述的工艺参数采集系统2是检测传感器的数据，形成反应晶体生长状态的工艺参数，所述的传感器包括安装在所述的晶体生长炉1上的重量传感器、位置传感器和水温传感器。所述的工艺进程模拟系统3是根据晶体生长理论所形成的长晶核心算法，所述的长晶核心算法根据所述的工艺参数采集系统2获得的工艺参数再现晶体生长的状态。所述的工艺可靠性分析系统4是基于晶体生长的状态和工艺参数，判断整个工艺完成情况的系统。所述的工艺参数改进系统5则是基于所述的工艺可靠性分析系统4的结果，对所述的工艺参数进行即时调整的程序。所述的工艺参数的调整可通过所述的提拉机构、加热系统和水泵来实现。所述的提拉机构可调节晶体的位置，所述的加热系统可调节加热功率，从而调节晶体的重量，所述的水泵可调节冷却水的流量，从而调节冷却水的温度。其具体步骤如下：将原料加热至化料功率后，将控制权交予所述的工艺机器人系统，所述的工艺参数采集系统2获取晶体生长参数，并传递给所述的工艺进程模拟系统3进行生长状态的模拟，所述的工艺可靠性分析系统4根据生长状态进行可靠性分析，而所述的工艺参数改进系统5根据分析结果对生长进程进行调整，直到调整结果满足进程控制的要求，最后达到最佳的生长控制工艺。以上所述的具体实施例，对本专利技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本专利技术的具体实施例而已，并不用于限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：设置四个组成部分：工艺参数采集系统、工艺进程模拟系统、工艺可靠性分析系统及工艺参数改进系统。

【技术特征摘要】
1.一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：设置四个组成部分：工艺参数采集系统、工艺进程模拟系统、工艺可靠性分析系统及工艺参数改进系统。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：所述的工艺参数采集系统是检测传感器的数据，形成反应晶体生长状态的工艺参数，所述的传感器包括检测晶体质量的重量传感器、检测晶体位置的位置传感器和检测冷却水温度的水温传感器。
3.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石晶体生长的工艺机器人系统，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑜，陈晓玲，
申请(专利权)人：刘瑜，
类型：发明
国别省市：浙江;33