基于半导体量子点的多结太阳能电池及其制作方法技术

技术编号:11115079 阅读:85 留言:0更新日期:2015-03-05 20:24
本发明专利技术提供了一种基于半导体量子点的多结太阳能电池及其制作方法,包括以下步骤:GaAs衬底上依次外延生长缓冲层、牺牲层以及太阳能电池层制作出外延片,太阳能电池层包括N型接触层、GaInP顶电池、隧道结I、GaInAs中电池、隧道结II、InGaAs/GaAs量子点底电池和P型接触层,GaInP顶电池禁带宽度为1.80-1.92eV,GaInAs中电池禁带宽度为1.38-1.42eV,InGaAs/GaAs量子点底电池禁带宽度为1.0-1.3eV;利用外延片制作基于半导体量子点的多结太阳能电池。与传统多结太阳能电池相比,其器件结构与聚光系统简单,具有柔性,且制作工艺简单、生产成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池
,具体地说,是一种基于半导体量子点的多结太阳能电池及其制作方法
技术介绍
以煤、石油和天然气为代表的传统能源会产生严重的环境污染,因此太阳能光伏产业为代表的可再生洁净能源受到普遍重视并取得快速发展。目前在光伏市场占据主导地位的单晶硅和多晶硅太阳能电池组件的转换效率分别为18%和15%左右。由于硅材料和砷化镓(GaAs)分别是间接带隙和直接带隙半导体材料,硅太阳能电池的理论光电转换效率(23%)远低于砷化镓太阳能电池,其中单结的砷化镓电池的理论效率为27%,多结的砷化镓电池的理论效率高于50%。硅电池的最大优势在于硅材料的价格低廉且制作工艺成熟,因此砷化镓电池需要在保持高效率的优势的同时,通过引入新型的器件结构和工艺,降低成本,赢得市场。据理论预测,最优设计的中间带太阳能电池的光电转换效率在高倍聚光情况下分别可达63%(见A.Luque and A.Marti,Phys.Rev.Lett.78,5014(1997))。中间带(Intermediate-Band,IB)太阳能电池是利用能级处于n型和p型半导体禁带宽度之间的半导体材料来吸收亚禁带(Sub-Bandgap)能量的光子,实现光生电子从价带(VB)到中间带(即VB-IB)以及中间带到导带(CB)(即IB-CB)的跃迁。中间带太阳能电池是通过接力式地吸收了两个或者多个长波长光子,实现吸收低能量光子而产生高输出电压的高效光伏技术。例如,优化中间带太阳能电池的能带结构设计,可以分别吸收能量为0.70电子伏特(eV)和1.25eV的光子,激发禁带宽度为1.95eV的半导体材料的价带电子实现VB-IB和IB-CB跃迁,使电池的开路电压达到1.55伏(V)左右。以InGaAs/GaAs为代表的III-V族半导体量子点的密度、尺寸和禁带宽度可以通过变化其组分与生长温度来调节,能够设计出吸收光谱与太阳能光谱匹配的半导体量子点活性层(Active Layer),实现高效率量子点太阳能电池。基于InAs/GaAs量子点超晶格结构的中间带太阳能电池的吸收光谱可以拓展到红外波段(0.8-2.0μm),而且光电流会明显增强,分别在AM 1.5G单倍和两倍太阳光照条件下,实现18.7%和19.4%的效率(见K.Tanabe et al,Appl.Phys.Lett.100,193905(2012))。传统的多结III-V族半导体太阳能电池一般是在锗(Ge)衬底上外延生长GaInAs和GaInP半导体材料组成的三对p-n结以及重掺杂的隧道结叠层结构来实现,其中Ge、GaInAs和GaInP的禁带宽度为0.67,1.4和1.9电子伏特(eV)。三结III-V族半导体太阳能电池的理论效率达到52.4%,在高倍聚光条件下,其实验室最高效率已经达到44.4%,保持着太阳能电池效率的世界纪录。GaAs衬底上生长的三结太阳能电池器件结构与上述三结太阳能电池不同,先外延生长GaInP和GaInAs太阳能电池,然后需要生长5微米左右、组分渐变的GaInAs缓冲层来消除晶格失配引起的应力与缺陷后,再外延生长禁带宽度为1.0eV的GaInAs电池。Ge基和GaAs基多结太阳能电池结构复杂,配套的聚光光伏系统的制作工艺繁琐,生产成本很高,价格昂贵,因此难以进入民用市场。现有技术存在的主要问题在于如何制作出可以替代Ge基太阳能电池同时具有0.67eV、1.0eV、1.4eV和1.9eV禁带宽度的高效多结太阳能电池,其不仅器件结构与聚光系统简单,且制作工艺简单、生长成本低。
技术实现思路
为此,本专利技术所要解决的技术问题在于传统的多结III-V族半导体太阳能电池一般是在锗(Ge)衬底上外延生长GaInAs和GaInP半导体材料组成的三对p-n结以及重掺杂的隧道结叠层结构来实现,但这种Ge基多结太阳能电池的器件结构与聚光系统复杂、制作工艺繁琐而且生产成本高昂。从而提出一种能够接力式地吸收1.0-1.3eV和0.6-0.9eV光子的中间带量子点太阳能电池,代替Ge电池然后再与GaInAs和GaInP外延层结合成具有1.0-1.3,1.4和1.9eV禁带宽度的三结太阳能电池。为解决上述技术问题,本专利技术提供了如下技术方案:一种基于半导体量子点的多结太阳能电池的制作方法,包括以下步骤:S1:在GaAs衬底上依次外延生长缓冲层、牺牲层以及太阳能电池层制作出太阳能电池外延片,太阳能电池层包括N型接触层、GaInP顶电池、隧道结I、GaInAs中电池、隧道结II、InGaAs/GaAs量子点底电池和P型接触层,GaInP顶电池的禁带宽度为1.80-1.92eV,GaInAs中电池的禁带宽度为1.38-1.42eV,InGaAs/GaAs量子点底电池的禁带宽度为1.0-1.3eV;S2:在太阳能电池外延片的P型接触层表面沉积金属背电极层并黏贴在柔性载体上,腐蚀掉牺牲层,太阳能电池层与GaAs衬底无损分离后,在N型接触层表面沉积上电极和减反射膜,制作出基于半导体量子点的多结太阳能电池。作为优化,InGaAs/GaAs量子点底电池包括量子点超晶格结构以及分设在量子点超晶格结构两侧的基极和发射极,量子点超晶格结构包括至少一层InxGa1-xAs量子点层、以及设置在InxGa1-xAs量子点层之间的GaAs间隔层,其中InxGa1-xAs量子点层中的In组分0.0≤x≤1.0。作为优化,步骤S1还包括:优化InxGa1-xAs量子点层的组分以及生长参数使其禁带宽度为1.0-1.3eV,InxGa1-xAs量子点层的In组分为0.4≤x≤1.0、沉积速率为0.01-1.0单层每秒、生长温度为450-540℃、厚度为1.8-10.0单层。作为优化,步骤S1还包括:在GaAs间隔层和/或InxGa1-xAs量子点层中掺杂施主硅原子来增强InGaAs/GaAs量子点底电池的电流密度和转换效率,硅原子浓度为1.0×1017-1.0×1018cm-3。作为优化,GaAs间隔层厚度为5-100nm。作为优化,InxGa1-xAs量子点层设置1-100层,GaAs间隔层相应设置1-100层。作为优化,基极为P型GaInP基极,发射极为N型GaInP发射极,GaInP的晶格常数为0.56-0.57nm、禁带宽度为1.80-1.92eV,P型GaInP基极的厚度为0.5-3.0μm,N型GaInP发射极的厚度为50-300nm。作为优化,步骤S2中在本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种基于半导体量子点的多结太阳能电池的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:在GaAs衬底上依次外延生长缓冲层、牺牲层以及太阳能电池层制作出太阳能电池外延片,所述太阳能电池层包括N型接触层、GaInP顶电池、隧道结I、GaInAs中电池、隧道结II、InGaAs/GaAs量子点底电池和P型接触层,所述GaInP顶电池的禁带宽度为1.80‑1.92eV,所述GaInAs中电池的禁带宽度为1.38‑1.42eV,所述InGaAs/GaAs量子点底电池的禁带宽度为1.0‑1.3eV;S2:在所述太阳能电池外延片的P型接触层表面沉积金属背电极层并黏贴在柔性载体上,腐蚀掉所述牺牲层,所述太阳能电池层与所述GaAs衬底无损分离后,在所述N型接触层表面沉积上电极和减反射膜,制作出基于半导体量子点的多结太阳能电池。

【技术特征摘要】
1.一种基于半导体量子点的多结太阳能电池的制作方法,其特征在于,
包括以下步骤:
S1:在GaAs衬底上依次外延生长缓冲层、牺牲层以及太阳能电池层制作
出太阳能电池外延片,所述太阳能电池层包括N型接触层、GaInP顶电池、隧
道结I、GaInAs中电池、隧道结II、InGaAs/GaAs量子点底电池和P型接触层,
所述GaInP顶电池的禁带宽度为1.80-1.92eV,所述GaInAs中电池的禁带宽度
为1.38-1.42eV,所述InGaAs/GaAs量子点底电池的禁带宽度为1.0-1.3eV;
S2:在所述太阳能电池外延片的P型接触层表面沉积金属背电极层并黏贴
在柔性载体上,腐蚀掉所述牺牲层,所述太阳能电池层与所述GaAs衬底无损
分离后,在所述N型接触层表面沉积上电极和减反射膜,制作出基于半导体量
子点的多结太阳能电池。
2.如权利要求1所述的基于半导体量子点的多结太阳能电池的制作方法,
其特征在于,所述InGaAs/GaAs量子点底电池包括量子点超晶格结构以及分设
在所述量子点超晶格结构两侧的基极和发射极,所述量子点超晶格结构包括
至少一层InxGa1-xAs量子点层、以及设置在InxGa1-xAs量子点层之间的GaAs间隔
层,其中InxGa1-xAs量子点层中的In组分0.0≤x≤1.0。
3.如权利要求2所述的基于半导体量子点的多结太阳能电池的制作方法,
其特征在于,步骤S1还包括:优化所述InxGa1-xAs量子点层的组分以及生长参
数使其禁带宽度为1.0-1.3eV,所述InxGa1-xAs量子点层的In组分为0.4≤x≤1.0、
沉积速率为0.01-1.0单层每秒、生长温度为450-540℃、厚度为1.8-10.0单层。
4.如权利要求2或3所述的基于半导体量子点的多结太阳能电池的制作方
法,其特征在于,步骤S1还包括:在所述GaAs间隔层和/或InxGa1-xAs量子点层
中掺杂施主硅原子来增强所述InGaAs...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨晓杰叶继春刘凤全
申请(专利权)人:苏州强明光电有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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