【技术实现步骤摘要】
一种偏振可调垂直光电自准直仪
本技术涉光电探测领域,尤其是涉及自准仪领域。
技术介绍
自准直仪是利用光学自准直原理,实现小角度测量的精密测量仪器。由于其使用方便而且具有较高的检测精度,被广泛应用于航空航天、船舶、军工等精密度极高的行业,例如机械加工工业的质量保证(平直度、平面度、垂直度、平行度等)、计量检定行业中角度测试标准、棱镜角度定位及监控、光学元件的测试及安装精度控制等,其应用范围广阔。自准直仪经历了目视式、光电指零式和数显式三个发展阶段。 提高分辨力和示值稳定性是通用数显自准直仪的发展方向。 高分辨力是高准确度的保障与前提,高稳定性又是高分辨力的保障与前提。跳字量是静态数显自准直仪的特点和难点。动态测量每次采样只有一个数值输出,反应不出示值的跳动,其难点是动态响应速度和动态准确度,但通用仪器要读出每个位置的稳定读数值,跳字大就只能估读,影响示值的准确度,也影响分辨力。 数显式自准直仪的出现使自准直仪的性能有质的飞跃,数显式把仪器准确度由I级提高至0.1级,最小显示值由0.1级提高至0.01级。数显式自准直仪准确度高,使用方便, ...
【技术保护点】
一种偏振可调垂直光电自准直仪,其特征是,包括光源、分划板、汇聚透镜、偏振分光棱镜、1/4波片、主镜、可调次镜组和PSD探测器;光源开启后,所发出的光线照亮分划板;经分化板后的光线投射到光源汇聚透镜;经过汇聚透镜的汇聚后,照射到偏振分光棱镜上;经过偏振分光棱镜分光面的投射后,经过1/4波片的相位延迟后,入射到主镜上,经过主镜的准直作用后投射到目标反射面上;经过目标反射面的反射后,再次经过主镜,汇聚后入射到1/4波片中,经过1/4波片后,入射到偏振分光棱镜中,被偏振分光棱镜完全反射后,照射到可调次镜组中;最后投射到PSD探测器中。
【技术特征摘要】
1.一种偏振可调垂直光电自准直仪,其特征是,包括光源、分划板、汇聚透镜、偏振分光棱镜、1/4波片、主镜、可调次镜组和PSD探测器; 光源开启后,所发出的光线照亮分划板;经分化板后的光线投射到光源汇聚透镜; 经过汇聚透镜的汇聚后,照射到偏振分光棱镜上; 经过偏振分光棱镜分光面的投射后,经过1/4波片的相位延迟后,入射到主镜上,经过主镜的准直作用后投射到目标反射面上; 经过目标反射面的反射后,再次经过主镜,汇聚后入射到1/4波片中,经过1/4波片后,入射到偏振分光棱镜中,被偏振分光棱镜完全反射后,照射到可调次镜组中;最后投...
【专利技术属性】
技术研发人员:姜世平,曹志明,胡玲,
申请(专利权)人:四川云盾光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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