本发明专利技术提供一种空气洁净用过滤器单元。空气洁净用过滤器单元在作业室的排气口的外部安装成与该作业室连接，来使从该作业室内排出的空气洁净化，具备具有第1壁部和第2壁部的矩形筒体和设置于筒体并过滤导入空气的过滤器部件，过滤器部件在其排气面以构成空气排出口部的外壁面的方式设置于该空气排出口部，并排出过滤的空气，空气洁净用过滤器单元的特征在于，具备：环状的密封部件，以环绕空气导入口部的外周部的方式设置于第1壁部的与作业室相对的一侧；和盖体，以能够装卸的方式气密性地封锁空气导入口部，在与作业室连接时，以使上述空气导入口部与上述作业室的排气口相对的方式进行安装，从而密封部件与作业室的外壁部气密性地抵接。
【技术实现步骤摘要】
过滤器单元本申请是国际申请日为2011年6月10日、国际申请号为PCT/JP2011/063415、国家申请号为201180030159.2、专利技术名称为“隔离装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及隔离装置，更详细地说，涉及能够用于使内部保持无菌状态的作业、也能够用于在内部处理对人体有影响的物质的作业的、安全性高的隔离装置。
技术介绍
在洁净的气氛中进行的作业，例如半导体、电子零件的制造阶段的作业，或者医药品的制造阶段的作业中，在以污染物质不从外部环境进入的方式使内部保持无菌/无尘状态的洁净的作业环境中进行作业。当进行相关作业的作业环境规模较小时，利用如下隔离装置:使用与外部环境隔绝的腔室等，作业者能够从该腔室的外部通过手套、半身衣进行作业。将这样的隔离装置特别称为无菌隔离器。 另一方面，在处理对人体有影响的物质的作业，例如医药品的制造阶段的作业，在医学、生物学领域处理毒性较强的微生物的作业，或者处理放射性物质的作业等中，需要保护作业者免受对人体有影响的化学物质、微生物等的污染，另外，需要防止这些对人体有影响的化学物质、微生物等从作业环境泄漏到外部环境。在相关作业中，也利用能够从与外部环境隔绝的腔室的外部通过手套、半身衣进行作业的隔离装置。将这样的隔离装置特别称为封入隔离器。 隔离装置与作业者进行作业的外部环境气密性隔断，另外，通过过滤器净化外部的空气而供给到腔室内，并且通过过滤器净化腔室内的空气并排放到外部。因此,基本上这样的隔离装置既可以作为无菌隔离器使用也可以作为封入隔离器使用。 另外，使用隔离装置时，通过按照目的来调节腔室内的气压，能够更加提高安全性。即，当作为无菌隔离器使用时，使腔室内的气压比外部的气压高(以下称为正压)，即使腔室发生泄漏时，由于空气从腔室侧流向外部，因此浮游菌等也不会从外部侵入到腔室内。 另一方面，当作为封入隔离器使用时，使腔室内的气压比外部的气压低(以下称为负压)而使用，从而即使腔室发生泄漏时，由于空气从外部流向腔室内，因此腔室内的化学物质等也不会污染外部环境。 然而，在隔离装置中设置有能够从外部从观察腔室内的玻璃窗、作业者进行作业的手套、以及用于向腔室内搬入设备或进行维护的开关门等。因此，难以完美地将隔离装置的腔室气密性封闭，还考虑到隔离装置在工作时封闭性被破坏。进一步，即使调节腔室内的气压，因外部的气压的变动等各种原因而总是设定压力差也有界限。 这样，若隔离装置稍微发生泄漏，则在无菌隔离器中无法维持腔室内的无菌/无尘状态，另外，在封入隔离器中在腔室内处理的化学物质、微生物等会泄漏到外部环境。 作为避免隔离装置工作时的这样的危险性的方法，在下述专利文献I中提出了如下的隔离装置的洁净维持装置:在设置于腔室的接合部的内周缘设置相对于腔室内部及外部均为负压的负压空气吸入路径，由负压空气吸入路径吸引通过接合部的内周缘的空气。 另一方面，作为伴随着隔离装置的工作完成后的危险性的作业，存在更换使用后的过滤器的作业。例如，在封入隔离装置中，经由用于净化其内部的空气的过滤器除去空气中的化学物质等，并将净化的空气排放到外部环境。由此，防止在隔离装置等的内部处理的化学物质等泄漏到外部环境。 这些用于净化空气的过滤器使用HEPA过滤器或ULPA过滤器等高性能过滤器，在使用后的过滤器中附着有从空气中除去的大量化学物质等。因此，更换这些使用后的过滤器时，为了作业者的安全和防止泄漏到外部环境而要求谨慎的作业。 在该过滤器更换作业中最广泛采用的方法为袋进袋出(BAG IN-BAG OUT)方式，但是在该现有的方式中，收容过滤器的箱体的结构复杂，过滤器更换作业繁琐。 另外，通过过滤器划分箱体的内部，沿着气流在过滤器的上游侧的面附着化学物质等，而过滤器的下游侧的面未受到污染。在这样的状态下，将使用完的过滤器从箱体内的安装板拆下并收容到袋内，但在至收容到袋内为止的阶段可能会产生附着在过滤器的上游侧的面上的化学物质等污染箱体内的过滤器的下游部的情况。 这样，若箱体内的过滤器的下游部被化学物质等污染，则更换过滤器后使隔离装置工作时，污染箱体内的过滤器的下游部的化学物质等会泄漏到外部环境。 作为避免这样的危险性的方法，在下述专利文献2中提出了按箱体拆下收容使用完的过滤器的箱体而更换收容新过滤器的新箱体的安全的过滤器箱体更换方式。 在该过滤器箱体更换方式中，从在箱体上面开口的吸气口吸入隔离装置等的室内的空气，通过箱体内收容的过滤器净化空气，从在箱体侧面开口的排气口排除洁净空气。在此，将箱体的吸气口连结为能够相对于隔离装置等的作业腔室的插入口拆装，另一方面，将箱体的排气口连结为能够相对于排气侧管道拆装。 更换该箱体时，首先，盖上隔离装置等的作业腔室侧的吸气口从而将箱体内的受到污染的部分即过滤器上游部密封。接下来，对作业腔室内进行清洗后从作业腔室的插入口拆下箱体的吸气口。另外，从排气侧管道拆下箱体的排气口并盖住。 在该过滤器箱体更换方式中，与现有的袋进袋出方式相比，过滤器的更换作业比较简单，能够减少在箱体的拆下作业期间污染外部环境的危险性。另外，拆下的箱体由于吸排气口均被密封从而不会污染外部环境。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2000-346418号公报 专利文献2:W02007/131376号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题 作为避免隔离装置工作时的危险性的方法，在上述专利文献I中提出的隔离装置的洁净维持装置，提供一种目的在于能够维持高度无菌/无尘状态的无菌隔离器，未将提供封入隔离器作为目的。另外，为了在该洁净维持装置中维持高度的安全性，需要在隔离装置的所有接合部分别设置负压空气吸入路径，存在装置的结构复杂且隔离装置的维护成本变高的问题。 另外，在上述专利文献I的说明书中，提出了具备上述洁净维持装置的双层(double-wall)隔离装置，该隔离装置设置在与装置筐体之间形成间隙的内壁而作为空气的环绕路径，在该环绕路径形成上升气流，即使污染空气从外部侵入也会被环绕路径隔断，防护性更加提高(该文献说明书段落0030?0031)。 该双层隔离装置适用于无菌隔离器，在环绕路径中流动的空气是从装置内吸引的，不能适用于装置内的空气中包含化学物质等的封入隔离器。 另一方面，作为避免隔离装置工作完成后的危险性的方法，在上述专利文献2所提出的过滤器箱体更换方式中，需要具有复杂的结构的专用箱体从而制造成本变高。另外，当更换过滤器时，不仅是使用完的过滤器，专用箱体本身也变成一次性使用物，存在包含废弃成本在内的隔离装置的维护成本变高的问题。 另一方面，HEPA过滤器、ULPA过滤器等高性能过滤器在制造后为了确认满足额定捕获效率以及过滤器无泄漏而进行泄漏检查。该泄漏检查方法例如有美国规范IEST-RP-CC006.2、ISO CD14644-3 (1998)，在这些方法中，对作为更换零件的各个过滤器的排气面要求扫描测试。 该扫描测试的方法为，将混合试验粒子的试验空气从试验过滤器的上游侧供给到试验过滤器的整个吸气面，通过扫描试验过滤器的下游侧的排气面的粒子检测器检测透过试验过滤器的粒子。在该扫描测试中，特定部位的检测粒子较本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种空气洁净用过滤器单元，以与作业室连接的方式安装于该作业室的排气口的外部，来净化从该作业室内排出的空气，具备：矩形筒体，具有第1壁部和第2壁部，其中，上述第1壁部设置有用于导入从上述排气口排出的空气的空气导入口部，上述第2壁部形成为与上述第1壁部交叉，并设置有用于排出上述导入空气的空气排出口部；和过滤器部件，设置于上述筒体，用于过滤上述导入空气，上述过滤器部件在其排气面以构成上述空气排出口部的外壁面的方式设置于该空气排出口部，将上述过滤的空气排出，上述空气洁净用过滤器单元的特征在于，具备：环状的密封部件，以环绕上述空气导入口部的外周部的方式设置于上述第1壁部的与上述作业室相对的一侧；和气密性地封闭上述空气导入口部的能够拆装的盖体，在与上述作业室连接时，以使上述空气导入口部与上述作业室的排气口相对的方式进行安装，从而上述密封部件与上述作业室的外壁部气密性地抵接。
【技术特征摘要】
2010.06.18 JP 2010-138841;2010.06.23 JP 2010-142271.一种空气洁净用过滤器单元，以与作业室连接的方式安装于该作业室的排气口的外部，来净化从该作业室内排出的空气， 具备:矩形筒体，具有第I壁部和第2壁部，其中，上述第I壁部设置有用于导入从上述排气口排出的空气的空气导入口部，上述第2壁部形成为与上述第I壁部交叉，并设置有用于排出上述导入空气的空气排出口部；和 过滤器部件，设置于上述筒体，用于过滤上述导入空气， 上述过滤器部件在其排气面以构成上述空气排出口部的外壁面的方式设置于该空气排出口部，将上述过滤的空气排出， 上述空气洁净用过滤器单元的特征在于， 具备:环状的密封部件，以环绕上述空气导入口部的外周部的方式设置于上述第I壁部的与上述作业室相对的一侧；和 气密性地封闭上述空气导入口部的能够拆装的盖体， 在与上述作业室连接时，以使上述空气导入口部与上述作业室的排气口相对的方式进行安装，从而上述密封部件与上述作业室的外壁部气密性地抵接。2.根据权利要求1所述的空气洁净用过滤器单元，其特征在于， 上述空气洁净用过滤器单元具备其他过滤器部件， 上述筒体具有第3壁部，所述第3壁部形成为与上述第2壁部相对，并设置有用于排出上述导入空气的其他空气排出口部， 上述其他过滤器部件在其排气面以构成上述其他空气排出口部的外壁面的方式设置于该其他空气排出口部，将上述过滤的空气排出。3.一种空气洁净用过滤器单元，以与作业室连接的方式安装于该作业室的排气口的外部，来净化从该作业室内排出的空气， 具备:矩形筒体，具有第I壁部和第2壁部，其中，上述第I壁部设置有用于导入从上述排气口排出的空气的空气导入口部，上述第2壁部形成为与上述第I壁部交叉，并设置有用于排出上述导入空气的空气排出口部；和 过滤器部件，设置于上述筒体，用于过滤上述导入空气， 上述过滤器部件在其排气面以构成上述空气排出口部的外壁面的方式设置于该空气排出...
【专利技术属性】
技术研发人员：川崎康司，宫本实，户田俊永，
申请(专利权)人：株式会社爱瑞思，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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