【技术实现步骤摘要】
—种对中可调的籽晶夹持装置
本技术涉及一种对中可调的籽晶夹持装置,尤其涉及大尺寸上籽晶生长法的一种对中可调的籽晶夹持装置。
技术介绍
采用上籽晶单晶生长的主要方法有泡生法,直拉法等,籽晶在上的主要优点在于,整个生长过程中,晶体的侧面不与坩埚接触,因此单晶的热应力小,质量高;同时坩埚与晶体之间存在的缝隙使得坩埚在降温过程中不会受到来自晶体的径向力的作用,增加坩埚的寿命。 随着对成本的考虑,单晶生长的尺寸越来越大,因此单晶生长所使用的坩埚与温场也随之增大,在引晶过程中,对籽晶中心度的要求也越来越高,特别是转速较大的引晶。如果在籽晶安装的中心度较差,在旋转电机的带动下不会自转,而是围绕中心轴画圈,这样在引晶过程中生长界面不均匀,导致拖曳尾巴情况出现,并会直接造成后期生长晶体的质量下降,甚至造成长晶的失败。 现阶段多数单晶炉的籽晶调节都是通过整个上提拉装置的移动来实现的,其缺点在于成本高,精度差,且只能在水平面平移,使籽晶调整到中心点,如果籽晶杆等出现变形;即使通过平移使籽晶位于中心点附近,在其旋转时,籽晶依然沿一锥面划圈。 如中国专利(申请号201210538756.2)可以解决划圈问题,但其过程是由调整弹簧实现的,其缺点在于:1、考虑到籽晶夹持装置所处工作温度较高,时间较长,因此弹簧在使用过程中很容易发生蠕动变形,使用寿命大大缩短,且稳定性差;2、其三方向调节的精度差。3其与籽晶杆的连接采用类弹簧夹头设计,经过高温生长后不易拆卸,寿命短。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种对中可调的籽晶夹持装置,该装置可以实现大尺寸单 ...
【技术保护点】
一种对中可调的籽晶夹持装置,其特征在于,包括:两个形状大小相同的调节器,两调节器上下90°交叉设置,调节器侧壁上开有调整间隙,顶部设有两个上下贯通的紧定螺钉孔,及一个贯通的圆柱头螺钉;位于上方的调节器顶部有上连接杆;上连接杆一端与电机连接,位于下方的调节器底部设有下连接杆,下连接杆与下夹头连接,下夹头上设有籽晶杆插入的内孔,下夹头侧壁上开有与内孔相连通的螺钉孔。
【技术特征摘要】
1.一种对中可调的籽晶夹持装置,其特征在于,包括:两个形状大小相同的调节器,两调节器上下90°交叉设置,调节器侧壁上开有调整间隙,顶部设有两个上下贯通的紧定螺钉孔,及一个贯通的圆柱头螺钉;位于上方的调节器顶部有上连接杆;上连接杆一端与电机连接,位于下方的调节器底部设有下连接杆,下连接杆与下夹头连接,下夹头上设有籽晶杆插入的内孔,下...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗仁辉,杨明超,秦英谡,
申请(专利权)人:内蒙古京晶光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:内蒙古;15
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