【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本公开涉及用于在其中发生负对比的条件下固化可光致固化的组合物的多光子吸收方法。所述可光致固化的组合物包括可自由基聚合的化合物。所述方法适用于具有微米级维度或更小的结构的制造。【专利说明】
本公开广义地涉及用于多光子诱导的光固化的方法和材料。
技术介绍
在用于制造微米级或亚微米级分辨率的二维（2D)和/或三维（3D)结构的典型多 光子工艺中，可光致固化的组合物利用高强度光（例如，由例如近红外（NIR)激光器所提供 的近红外光）来选择性地固化。 在许多已知的具体实施中，可光致固化的组合物包括一种或多种可自由基聚合的 化合物（例如，丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯）。可光致固化的组合物对具有近红外波长的 光一般不敏感的，但是可通过包括在可光致固化的材料中的多光子光引发剂体系对光的非 线性同时多光子吸收来固化。通过该工艺，约等于所使用光的两倍的能量由多光子光引发 剂体系吸收，该多光子光引发剂体系分解以产生自由基，该自由基引发包括在可光致固化 的组合物中的可自由基聚合的化合物的自由基聚合（通常为交联）。因此，可光致固化的组 合物的至少部...
【技术保护点】
一种方法，该方法包括以下步骤：a)提供光束，其中所述光束具有横截面光束分布，所述横截面光束分布包括由具有相对较高光强度的外区域界定的具有相对较低光强度的内区域，并且其中所述内区域和所述外区域具有相同的时间分布；b)提供可光致固化的组合物，其中所述可光致固化的组合物包括可自由基聚合的化合物、自由基聚合抑制剂和多光子光引发剂体系；c)将所述可光致固化的组合物的至少一部分曝光于所述光束，使得所述多光子光引发剂体系对所述光的一部分的多光子吸收引发所述可自由基聚合的化合物的至少一部分的自由基聚合，其中用所述光束的所述内区域的至少一部分来照射所述可光致固化的组合物引起将所述可光致固化的...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特·J·德沃，李子成，布拉因·J·盖茨，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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