【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种测试结构，包括一对支撑部及连接于该一对支撑部之间的悬空部，其特征在于，所述悬空部包括：纵向相对设置的第一连杆及第二连杆；所述第一连杆与第二连杆内端分别垂直连接有可在应力作用下相对移动的第一测量部及第二测量部，所述第一测量部与第二测量部相向的一面均设置有若干均匀间隔排列的齿状凸点；所述第一连杆外端的左右两侧交错连接有一对第一桥线，所述第一桥线通过第一侧翼部与所述支撑部连接；所述第二连杆外端的左右两侧交错连接有一对第二桥线，所述第二桥线通过第二侧翼部与所述支撑部连接；其中，该一对第二桥线的位置与一对第一桥线的位置中心对称。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑超，王伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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