闸阀制造技术

本发明专利技术提供一种闸阀。在气缸的驱动杆与阀装配体之间夹设由导向槽以及导辊构成的平行移动机构、以及由凸轮槽以及凸轮辊构成的垂直移动机构，在利用平行移动机构使阀装配体相对于在阀箱的一对开口周围形成的阀座面平行移动之后，利用垂直移动机构使阀装配体相对于这些阀座面垂直移动，从而使阀体的阀密封件与各阀座面接触或分离，能够选择性地开闭所述各开口。

【技术实现步骤摘要】
闸阀
本专利技术涉及配置在半导体制造装置等中的真空腔之间的闸阀，更详细地涉及能够以不滑动的方式选择性地开闭通向处理腔的第一开口和通向转移腔的第二开口的闸阀。
技术介绍
闸阀通常用于通向半导体制造装置等中的真空腔的开口的开闭，闸阀构成为，具有安装有阀板的阀轴以及与该阀轴连结的气缸，通过由该气缸操作所述阀轴，从而使所述阀板的密封部件与设置在所述开口周围的阀座面接触或分离来开闭该开口。而且，关于闸阀中的所述开口的开闭操作，主要已知有以阀轴的一点为支点使其转动来开闭操作阀板的方式、以及使由阀轴及阀板构成的阀装配体相对于阀座面垂直移动来开闭操作阀板的方式。其中特别是采用了后者的方式的闸阀，可以使阀板的密封部件的整周同时与所述开口的阀座面接触或分离地开闭该开口而不使两者相互滑动，因此，被称为不滑动型闸阀(non-slidetypegatevalve)，由于可以抑制由密封部件和密封面的摩擦而引起的密封部件的扭曲、磨损粉末的产生等，所以近来正被关注。如上所述的不滑动型闸阀的一例在专利文献1中公开。如图11、图12所示，该专利文献1中记载的闸阀具有：在经由杆臂124固定于驱动杆109的一对凸轮架128的每一个上以相对于阀座面110倾斜的朝向形成的两条凸轮槽130、以及在棒部件112的左侧面和右侧面上各自分别安装有两个且与对应的各个凸轮槽130嵌合的凸轮辊133。而且，安装于凸轮辊133的停止辊136与形成于辊架132的抵接部137抵接，在棒部件112停止上升并压缩了压缩弹簧125的状态下，凸轮架128上升，各个凸轮槽130相对于对应的凸轮辊133而上升，因此，凸轮辊133被倾斜的凸轮槽130的槽壁推压，使得阀板105以及阀轴107相对于阀座面110垂直移动。专利文献专利文献1：日本特开2013-96557号公报专利技术要解决的课题但是，上述专利文献1中公开的不滑动型闸阀是以不滑动的方式进行与处理腔连接的一个开口的开闭的闸阀，但另一方面，为了谋求闸阀和处理腔的维护作业的高效化，针对与转移腔连接的另一个开口也能够以不滑动的方式进行开闭的闸阀被期待。
技术实现思路
即，本专利技术的目的在于提供一种闸阀，不仅针对与处理腔连接的第一开口，而且针对与转移腔连接的第二开口也能够以不滑动的方式进行开闭。用于解决课题的方案为了实现上述目的，本专利技术的闸阀具有：阀箱，所述阀箱在相互相向的侧壁上设置有与处理腔连接的第一开口以及与转移腔连接的第二开口，在这些开口周围分别形成有相互平行的阀座面；阀装配体，所述阀装配体由阀轴、板状的第一阀体以及第二阀体构成，所述阀轴在长度方向上具有前端部和基端部，所述第一阀体以及第二阀体安装在该阀轴的前端部并分别具有与所述各阀座面对应的阀密封件；以及气缸，所述气缸的驱动杆与该阀轴连结，所述闸阀构成为，能够利用所述气缸使所述阀装配体从所述各阀体与所述各开口非相向的全开位置，经由所述各阀体与所述各开口相向的相向位置，移动到所述第一阀体的阀密封件被压在所述第一开口周围的阀座面上而堵塞该第一开口的第一堵塞位置、以及所述第二阀体的阀密封件被压在所述第二开口周围的阀座面上而堵塞该第二开口的第二堵塞位置，所述闸阀的特征在于，所述闸阀具有：连结机构，所述连结机构将所述驱动杆和阀轴以能够相对位移的方式连结；平行移动机构，所述平行移动机构使所述阀装配体相对于所述各阀座面平行移动；垂直移动机构，所述垂直移动机构使该阀装配体相对于所述各阀座面垂直移动；以及止动机构，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述止动机构使该阀装配体的平行移动停止，并且允许利用所述垂直移动机构进行的该阀装配体的垂直移动，所述连结机构具有：固定于所述驱动杆的杆臂、固定于所述阀轴的基端部的棒部件、以及夹设在该棒部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，所述平行移动机构具有：以分别面对所述棒部件的左侧面和右侧面的方式固定于所述杆臂的左右一对凸轮架、在平行移动方向上形成于各个凸轮架的导向槽、以及在左右一对辊架的每一个上安装有多个且嵌合于所述导向槽的导辊，所述左右一对辊架固定于所述阀箱所安装的阀帽，所述垂直移动机构具有：在所述一对凸轮架的每一个上形成有多个的凸轮槽、以及在所述棒部件的左右侧面的每一个上设置有多个且分别嵌合于所述各凸轮槽的凸轮辊，所述各凸轮槽在所述平行移动方向上具有所述阀体侧的始端位置、与其相反的一侧的终端位置、以及设置在上述始端位置和终端位置之间的中间位置，在垂直移动方向上，所述中间位置相比始端位置设置在更靠所述第一开口侧，所述终端位置相比始端位置设置在更靠所述第二开口侧，在所述阀装配体进行自所述全开位置到达相向位置的平行移动时，所述凸轮辊配置在所述始端位置，在该凸轮辊移动到了中间位置时，所述阀装配体占据所述第一堵塞位置，在该凸轮辊移动到了所述终端位置时，该阀装配体占据第二堵塞位置。在本专利技术中，从强度方面来看优选为，分别形成于所述左右一对凸轮架的导向槽在该导向槽的所述阀体侧的端部具有槽宽扩大了的加宽部，在所述左右的辊架的每一个上安装的多个导辊中的、配置在最靠近所述阀体侧的导辊，相比其他的导辊形成为大径并嵌合于所述加宽部。另外，在本专利技术中，优选为，所述止动机构具有：在所述垂直移动方向上转动自如地设置的停止辊、以及与所述停止辊接触或分离的抵接部，上述停止辊以及抵接部相互相向地分别设置于所述棒部件以及所述阀帽，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述停止辊抵接于抵接部而使所述阀装配体的平行移动停止，在利用所述垂直移动机构使该阀装配体垂直移动时，停止辊在该抵接部上滚动。此时，优选为，在所述止动机构中，所述停止辊和抵接部构成的对设置在隔着所述阀轴的左右两侧，更优选为，所述抵接部由缓冲杆和缓冲部件构成，所述缓冲杆在长度方向的一端具有所述停止辊能够滚动地抵接的抵接面，该缓冲杆的长度方向的另一端侧抵接于所述缓冲部件。根据本专利技术的闸阀，通过使具有第一阀体和第二阀体的阀装配体相对于第一开口以及第二开口周围的各阀座面垂直移动，从而可以使各阀体的对应的阀密封件分别以不滑动的方式与上述阀座面接触或分离，因此，不仅在开闭与处理腔连接的第一开口时，而且在开闭与转移腔连接的第二开口时，也可以抑制阀密封件的扭曲、磨损粉末的产生等。其结果是，即便在处理腔、第一阀体等的维护作业时堵塞第二开口，也可以抑制由阀密封件的扭曲引起的真空泄漏、磨损粉末的产生等，可以谋求维护作业的高效化。附图说明图1是表示本专利技术的闸阀的实施方式的局部剖视图，左半部表示阀装配体处于全开位置的状态、右半部表示阀装配体处于相向位置的状态。图2是分解表示图1的一部分的立体图。图3是沿着图1的轴线X1的纵剖视图。图4是图1的左半部侧的主要部分纵剖视图。图5是图1的右半部侧的主要部分纵剖视图。图6是表示阀装配体处于第一堵塞位置的状态的剖视图。图7是图6的纵剖视图。图8是表示阀装配体处于第二堵塞位置的状态的剖视图。图9是图8的纵剖视图。图10(a)是止动机构的剖视图、图10(b)是表示停止辊抵接于抵接部的缓冲杆的状态的剖视图。图11是以往所使用的闸阀的剖视图，左半部表示阀板处于开阀位置的状态，右半部表示阀板处于相向位置的状态。图12是分解表示图11的主要部分的立体图。附图标记说明1闸阀2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闸阀，具有：阀箱，所述阀箱在相互相向的侧壁上设置有与处理腔连接的第一开口以及与转移腔连接的第二开口，在这些开口周围分别形成有相互平行的阀座面；阀装配体，所述阀装配体由阀轴、板状的第一阀体以及第二阀体构成，所述阀轴在长度方向上具有前端部和基端部，所述第一阀体以及第二阀体安装在该阀轴的前端部并分别具有与所述各阀座面对应的阀密封件；以及气缸，所述气缸的驱动杆与该阀轴连结，所述闸阀构成为，能够利用所述气缸使所述阀装配体从所述各阀体与所述各开口非相向的全开位置，经由所述各阀体与所述各开口相向的相向位置，移动到所述第一阀体的阀密封件被压在所述第一开口周围的阀座面上而堵塞该第一开口的第一堵塞位置、以及所述第二阀体的阀密封件被压在所述第二开口周围的阀座面上而堵塞该第二开口的第二堵塞位置，所述闸阀的特征在于，所述闸阀具有：连结机构，所述连结机构将所述驱动杆和阀轴以能够相对位移的方式连结；平行移动机构，所述平行移动机构使所述阀装配体相对于所述各阀座面平行移动；垂直移动机构，所述垂直移动机构使该阀装配体相对于所述各阀座面垂直移动；以及止动机构，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述止动机构使该阀装配体的平行移动停止，并且允许利用所述垂直移动机构进行的该阀装配体的垂直移动，所述连结机构具有：固定于所述驱动杆的杆臂、固定于所述阀轴的基端部的棒部件、以及夹设在该棒部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，所述平行移动机构具有：以分别面对所述棒部件的左侧面和右侧面的方式固定于所述杆臂的左右一对凸轮架、在平行移动方向上形成于各个凸轮架的导向槽、以及在左右一对辊架的每一个上安装有多个且嵌合于所述导向槽的导辊，所述左右一对辊架固定于所述阀箱所安装的阀帽，所述垂直移动机构具有：在所述一对凸轮架的每一个上形成有多个的凸轮槽、以及在所述棒部件的左右侧面的每一个上设置有多个且分别嵌合于所述各凸轮槽的凸轮辊，所述各凸轮槽在所述平行移动方向上具有所述阀体侧的始端位置、与其相反的一侧的终端位置、以及设置在上述始端位置和终端位置之间的中间位置，在垂直移动方向上，所述中间位置相比始端位置设置在更靠所述第一开口侧，所述终端位置相比始端位置设置在更靠所述第二开口侧，在所述阀装配体进行自所述全开位置到达相向位置的平行移动时，所述凸轮辊配置在所述始端位置，在该凸轮辊移动到了中间位置时，所述阀装配体占据所述第一堵塞位置，在该凸轮辊移动到了所述终端位置时，该阀装配体占据第二堵塞位置。...

【技术特征摘要】
2013.07.10 JP 2013-1450331.一种闸阀，具有：阀箱，所述阀箱在相互相向的侧壁上设置有与处理腔连接的第一开口以及与转移腔连接的第二开口，在这些开口周围分别形成有相互平行的阀座面；阀装配体，所述阀装配体由阀轴、板状的第一阀体以及第二阀体构成，所述阀轴在长度方向上具有前端部和基端部，所述第一阀体以及第二阀体安装在该阀轴的前端部并分别具有与所述各阀座面对应的阀密封件；以及气缸，所述气缸的驱动杆与该阀轴连结，所述闸阀构成为，能够利用所述气缸使所述阀装配体从所述各阀体与所述各开口非相向的全开位置，经由所述各阀体与所述各开口相向的相向位置，移动到所述第一阀体的阀密封件被压在所述第一开口周围的阀座面上而堵塞该第一开口的第一堵塞位置、以及所述第二阀体的阀密封件被压在所述第二开口周围的阀座面上而堵塞该第二开口的第二堵塞位置，所述闸阀的特征在于，所述闸阀具有：连结机构，所述连结机构将所述驱动杆和阀轴以能够相对位移的方式连结；平行移动机构，所述平行移动机构使所述阀装配体相对于所述各阀座面平行移动；垂直移动机构，所述垂直移动机构使该阀装配体相对于所述各阀座面垂直移动；以及止动机构，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述止动机构使该阀装配体的平行移动停止，并且允许利用所述垂直移动机构进行的该阀装配体的垂直移动，所述连结机构具有：固定于所述驱动杆的杆臂、固定于所述阀轴的基端部的棒部件、以及夹设在该棒部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，所述平行移动机构具有：以分别面对所述棒部件的左侧面和右侧面的方式固定于所述杆臂的左右一对凸轮架、在平行移动方向上形成于各个凸轮架的导向槽、以及在左右一对辊架的每一个上安装有多个且嵌合于所述导向槽的导辊，所述左右一对辊架...

【专利技术属性】
技术研发人员：石垣恒雄，下田洋己，小川浩司，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP