一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法技术

一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法。步骤如下：(1)在玻璃常规清洗后，在玻璃表面用离子束溅射方法溅射沉积5～20nm厚的Ti或Si单质元素薄膜，作为结晶诱导层；(2)采用直流反应磁控溅射方法，在结晶诱导层上反应溅射沉积氧化钒薄膜；反应溅射靶材用纯度为99.96％的高纯钒与不同原子比的掺杂元素融合制成；反应溅射源气为Ar/O2混合气体，Ar/O2的流量比例为5％～10％；(3)沉积氧化钒薄膜后，采用卤素灯光加热的快速热处理技术对其进行热处理；整个热处理过程温度在450～550℃，时间为10～20分钟；退火气氛采用N2/O2混合气体，N2和O2都为液氮和液氧气化，其中N2气与O2的流量比例为98％～99％：2％～1％。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】。步骤如下：(1)在玻璃常规清洗后，在玻璃表面用离子束溅射方法溅射沉积5～20nm厚的Ti或Si单质元素薄膜，作为结晶诱导层；(2)采用直流反应磁控溅射方法，在结晶诱导层上反应溅射沉积氧化钒薄膜；反应溅射靶材用纯度为99.96％的高纯钒与不同原子比的掺杂元素融合制成；反应溅射源气为Ar/O2混合气体，Ar/O2的流量比例为5％～10％；(3)沉积氧化钒薄膜后，采用卤素灯光加热的快速热处理技术对其进行热处理；整个热处理过程温度在450～550℃，时间为10～20分钟；退火气氛采用N2/O2混合气体，N2和O2都为液氮和液氧气化，其中N2气与O2的流量比例为98％～99％：2％～1％。【专利说明】
本专利技术涉及智能薄膜在玻璃上的PVD沉积、掺杂、调色的制备技术，尤其涉及的是。
技术介绍
节能环保是当今世界必须面对的严峻课题。在炎炎夏日，太阳光中48%的红外线(波长0.78?2.5mm)对房屋、汽车等的直接辐照，是室内、车内产生高温的主要原因，而空调用电就成为夏日家庭的主要能源消耗。据实测，在室外温度高于35°C时，室内制冷温度设定降低2°C，空调的能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法，其特征在于，其步骤如下：(1)玻璃表面的结晶诱导层制备在玻璃常规清洗后，在玻璃表面用离子束溅射方法溅射沉积5～20nm厚的Ti或Si单质元素薄膜，作为结晶诱导层；(2)直流反应磁控溅射氧化钒薄膜沉积采用直流反应磁控溅射方法，在结晶诱导层上反应溅射沉积氧化钒薄膜；反应溅射靶材用纯度为99.96％的高纯钒与不同原子比的掺杂元素融合制成；反应溅射源气为Ar/O2混合气体，Ar/O2的流量比例为5％～10％；(3)溅射薄膜的结晶热处理沉积氧化钒薄膜后，采用卤素灯光加热的快速热处理技术对其进行热处理；整个热处理过程温度在450～550℃，时间为10～20分...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李金华，谢建生，
申请(专利权)人：李金华，
类型：发明
国别省市：江苏;32