微型气体传输装置制造方法及图纸

技术编号:10815872 阅读:92 留言:0更新日期:2014-12-24 19:56
本发明专利技术关于一种微型气体传输装置,包括:进气板、流道板、共振片及压电致动器;进气板具有至少一进气孔;流道板具有至少一汇流排孔及中心孔洞;共振片具有中空孔洞;压电致动器具有悬浮板、外框及连接于其间的至少一支架,于悬浮板的一表面贴附压电陶瓷板;其中共振片与压电致动器之间具有一间隙形成的一第一腔室,当压电致动器受驱动时,气体由进气板的进气孔进入,并由流道板的汇流排孔汇集至中心孔洞,经共振片的中空孔洞,以进入第一腔室内,再由压电致动器的支架之间的空隙向下传输,以形成压力梯度流道持续推出气体。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型气体传输装置,适用于一微型气压动力装置,至少包括:一进气板,具有至少一进气孔,供导入气体;一流道板,具有至少一汇流排孔及一中心孔洞,该汇流排孔对应该进气板的进气孔,且引导该进气孔的气体汇流至该中心孔洞;一共振片,具有一中空孔洞,对应该流道板的中心孔洞;以及一压电致动器,具有一悬浮板及一外框,该悬浮板及该外框之间以至少一支架连接,且于该悬浮板的一表面贴附一压电陶瓷板;其中,上述的进气板、流道板、共振片及压电致动器依序对应堆迭设置定位,且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室,以使该压电致动器受驱动时,气体由该进气板的该至少一进气孔导入,经该流道板的该至少一汇流排孔汇集至该中心孔洞,再流经该共振片的该中空孔洞,以进入该第一腔室内,再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输,以持续推出气体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:薛达伟张英伦吴祥涤余荣侯陈世昌周宗柏李耀吉廖家淯
申请(专利权)人:研能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:中国台湾;71

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