一种接线工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种接线工具，所述接线工具包括接线板、连线结构和与所述接线板配合使用的插杆。所述接线工具预先通过连线结构将测试机台内的插孔和探针卡内的插孔依次引出并连接至接线板的相邻两侧，在测试的过程中可以通过拔插插杆实现测试机台和探针卡的连通，大大提高了接线的简便性、跳线分配的可读性，在接线出现问题时，排查更加便捷，更改跳线的时候更容易实现。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种接线工具，所述接线工具包括接线板、连线结构和与所述接线板配合使用的插杆。所述接线工具预先通过连线结构将测试机台内的插孔和探针卡内的插孔依次引出并连接至接线板的相邻两侧，在测试的过程中可以通过拔插插杆实现测试机台和探针卡的连通，大大提高了接线的简便性、跳线分配的可读性，在接线出现问题时，排查更加便捷，更改跳线的时候更容易实现。【专利说明】 一种接线工具
本技术涉及一种半导体工艺设备
，特别是涉及一种接线工具。
技术介绍
由于日益复杂的集成电路、材料和工艺的迅速引入，在今天的硅片制造中几乎不可能每个芯片都符合规格要求，为了纠正制作过程中的问题，并确保有缺陷的芯片不会被送到客户手里，在集成电路制造过程中引入了芯片测试(CP，Circuit Probing)。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片级集成电路上进行的电学参数测量和功能测试，测试可以检验出各芯片是否具有可接受的电学性能和完整的功能，其测试过程中使用的电学规格随测试目的的不同而有所不同。如果芯片测试不完善，就可能造成更多的产品在客户使用过程中失效，最终给芯片制造者带来严重的后果。为此，在集成电路的制造过程中引入能够及早发现工艺问题和将不良的芯片挑选出来的芯片测试是必不可少的。 图1为芯片测试系统的组成结构示意图，如图1所示，芯片测试系统包括测试机台 11、探针卡12、位于所述测试机台11和探针卡12内的接线区域13、位于所述接线区域13内的插孔14、两端设有插头16用于连接所述插孔14的信号线15。由于在配置芯片测试时，需要依据芯片管脚的要求，将测试机台11内的插孔14与探针卡12内的插孔14相连接，然后再通过探针将测试信号输入到芯片的管脚上。由于探针卡12内的插孔14与测试机台11内的插孔14没有固定的对应关系，测试的过程中需要用信号线15通过两端的插头16将测试机台11和探针卡12进行连接。由于所述探针卡12内的插孔14与测试机台11内的插孔14没有固定的对应关系，所述信号线15在连接的时候会交叉重叠，接线情况比较复杂，容易出现接错的情况。并且，在信号线15接好之后进行测试的过程中，如果发现测试不正常时，由于接线情况比较复杂，增大了排查的困难性；而且在需要改变所述插头16的接线位置时，更改跳线不方便。需要说明的是，图1中所述测试机台11和探针卡12内的接线区域13通过所述信号线15电性连接的插孔14被所述插头16所遮挡，图1中未予示出。 鉴于此，有必要设计一种新的接线工具用以解决上述技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种接线工具，用于解决现有技术中由于测试机台内的插孔与探针卡内的插孔没有固定的对应关系，在将所述测试机台内的插孔和所述探针卡内的插孔通过信号线连接时，信号线会交叉重叠，接线情况复杂，容易出现接错，在发现测试不正常时，排查比较困难，以及在需要改变信号线接线位置时，更改跳线不方便的问题。 为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种接线工具，所述接线工具适于连接测试机台和探针卡，以对芯片进行电性测试，所述测试机台和探针卡内均设有接线区域，所述接线区域内设置插孔，其特征在于，所述接线工具至少包括:接线板和与所述接线板配合使用的插杆；所述接线板包括第一子接线板和第二子接线板，所述第一子接线板位于所述第二子接线板的上表面；所述第一子接线板包括多个横向排列的接线单元，所述第二子接线板包括多个纵向排列的接线单元；其中，所述接线单元包括接线条和固定于所述接线条上的插柱，所述插柱设有垂直于所述第一子接线板和第二子接线板的圆柱形通孔；所述接线条和所述插柱均为三层结构，在垂直于所述接线板的方向上自下而上依次为第一绝缘层、导电层和第二绝缘层；所述插柱和所述接线条至少通过所述导电层接触连接；所述第一子接线板和所述第二子接线板内的插柱一一对应。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述接线工具还包括第三绝缘层，所述第一子接线板中相邻两接线单元均被第三绝缘层隔离开；所述第二子接线板中相邻两接线单元均被第三绝缘层隔离开。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述每个接线条上相邻插柱的间距相等；所述第一子接线板中相邻两接线条的间距与所述第二子接线板中相邻两接线条的间距均相等，且均等于所述接线条上相邻两插柱的间距。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述圆柱形通孔内壁涂覆一层导电层。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述插柱的长度小于或等于所述接线条的厚度。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述第一子接线板内接线条的行数与所述第二子接线板内接线条的列数相等，且均小于或等于所述每个接线条上插柱的数目。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述第一子接线板内接线条的行数与所述第二子接线板内接线条的列数均大于或等于所述测试机台或探针卡内插孔的数目。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述插杆包括第一圆柱体和第二圆柱体，所述第二圆柱体位于所述第一圆柱体的上表面；所述第一圆柱体为金属圆柱体，适于将所述第一圆柱体插入所述圆柱形通孔内，以实现所述第一子接线板和所述第二子接线板的连通。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述第一圆柱体的直径小于或等于所述圆柱形通孔的直径，所述第二圆柱体的直径大于所述圆柱形通孔的直径。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述第一圆柱体的长度大于所述接线条的厚度。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述第二圆柱体为绝缘圆柱体。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述接线工具还包括一连线结构，所述连线结构包括至少两根信号线和包裹在所述信号线外围的包裹层，所述信号线两端均设有与所述信号线连接的插头，所述包裹层两端均分别依次将所述插头引出。 作为本技术的接线工具的一种优选方案，所述连线结构中信号线的数目大于或等于一个所述接线区域内插孔的数目。 如上所述，本技术的接线工具，具有以下有益效果:所述接线工具包括接线板、插杆和连线结构，预先通过连线结构将测试机台内的插孔和探针卡内的插孔依次引出并连接至接线板的相邻两侧，在测试的过程中可以通过拔插插杆实现测试机台和探针卡的连通，大大提高了接线的简便性、跳线分配的可读性，在接线出现问题时，排查更加便捷，更改跳线的时候更容易实现。 【专利附图】【附图说明】 图1显示为现有技术中测试机台与探针卡通过信号线相连接的示意图。 图2显示为本技术的接线单元的结构示意图。 图3显示为本技术的第一种接线板的结构示意图。 图4显示为本技术的第一种接线板的俯视图。 图5显示为本技术的第二种接线板的结构示意图。 图6显示为本技术的第二种接线板的俯视图。 图7显示为本技术的插杆与插柱配合使用的示意图。 图8显示为本技术的连线结构的结构示意图。 图9显示为本技术的接线工具连接测试机台和探针卡的示意图。 元件标号说明 11 测试机台 12 探针卡 13 接线区域 14 插孔 15 信号线 16 插头 2 接线板 21 第一子接线板 22 第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接线工具，适于连接测试机台和探针卡，以对芯片进行电性测试，所述测试机台和探针卡内均设有接线区域，所述接线区域内设置插孔，其特征在于，所述接线工具至少包括：接线板和与所述接线板配合使用的插杆；所述接线板包括第一子接线板和第二子接线板，所述第一子接线板位于所述第二子接线板的上表面；所述第一子接线板包括多个横向排列的接线单元，所述第二子接线板包括多个纵向排列的接线单元；其中，所述接线单元包括接线条和固定于所述接线条上的插柱，所述插柱设有垂直于所述第一子接线板和第二子接线板的圆柱形通孔；所述接线条和所述插柱均为三层结构，在垂直于所述接线板的方向上自下而上依次为第一绝缘层、导电层和第二绝缘层；所述插柱和所述接线条至少通过所述导电层接触连接；所述第一子接线板和所述第二子接线板内的插柱一一对应。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵瑞豪，林光启，胡启誉，张克堂，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11