样品座制造技术

一种样品座，涉及平面TEM样品制备的领域，其中，样品座包括底板和呈面向设置在底板上两侧的第一侧板和第二侧板，第一侧板与底板铰接，第二侧板固定设置于底板上，当第一侧板的侧边面朝第二侧板的侧边时，第一侧板和第二侧板之间构成第一容置槽，第一侧板的顶部设置有第二容置槽，第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的样品并通过螺栓进行固定。通过此样品座来改善样品表面的电荷累计情况，即防止在制备平面样品时，样品发生漂移的状况，同时，折叠小样品槽的设计极大程度上的保护了样品不受污染，这样既提高了制样的效率，又节省了资源，同时又能保证在制备样品过程中，FIB机台腔体不受污染。

【技术实现步骤摘要】
样品座
本专利技术涉及平面TEM样品制备领域，尤其涉及一种样品座。
技术介绍
随着半导体技术的不断发展和进步，对于器件研发的尺寸也越来越小，因而也提高了对样品结构、材料等分析的能力，而对于FIB(FocusedIonBeam，聚焦离子束)制备平面样品的要求也越来越高，其中如何防止平面TEM(TransmissionElectronMicroscopy，透射电子显微镜)样品在制备过程中的表面电荷累计情况已然成了一个难题。目前传统的固定平面TEM样品的方法时利用碳导电胶或铜导电胶带粘样品靠近成像区域，并与金属底座导通，但是此方法对于减少样品表面的电荷累积情况不是很显著。若样品导电性不良，探测器或捕获不到电子成像或捕获到的电子携带的信息不准确而影响成像质量，通常表现为图像发黑或图像流动；同时，由于碳导电胶属于有机物，放置于机台腔体中会产生脱气现象，故这种固定方法甚至可能对机台的腔体造成污染，这样大大降低了制备此类TEM样品的质量和效率。中国专利(CN103743609A)记载了一种用于制备平面TEM样品的样品座，包括：样品座本体，为导电性材质制备，并进一步包括底板和呈面向设置在所述底板上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样品座，其特征在于，所述样品座包括底板和呈面向设置在所述底板上两侧的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板与所述底板铰接，所述第二侧板固定设置于所述底板上；当所述第一侧板的侧面面朝所述第二侧板的侧面时，所述第一侧板和所述第二侧板之间构成第一容置槽，所述第一侧板的顶部设置有第二容置槽，所述第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的样品并通过螺栓进行固定。

【技术特征摘要】
1.一种样品座，其特征在于，所述样品座包括底板和呈面向设置在所述底板上两侧的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板与所述底板铰接，所述第二侧板固定设置于所述底板上；当所述第一侧板的侧面面朝所述第二侧板的侧面时，所述第一侧板和所述第二侧板之间构成第一容置槽，所述第一侧板的顶部设置有第二容置槽，所述第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的样品并通过螺栓进行固定；所述第一侧板中设置有若干螺孔，至少一个螺纹孔贯穿所述第一侧板的外侧面至第二容置槽，至少一个螺纹孔贯穿所述第一侧板的外侧面和内侧面，且该所述第一侧板的底面设置有至少一个螺孔。2.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，所述底板与第一侧板、第二侧板均为金属材质。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙蓓瑶，陈强，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31