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文档序号:10749063
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一种样品座,涉及平面TEM样品制备的领域,其中,样品座包括底板和呈面向设置在底板上两侧的第一侧板和第二侧板,第一侧板与底板铰接,第二侧板固定设置于底板上,当第一侧板的侧边面朝第二侧板的侧边时,第一侧板和第二侧板之间构成第一容置槽,第一侧板的...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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