根据直接浮动装置的一个实施例的气体滑动装置(1)具有矩形的滑动轴(2)，以及框架形状的滑动器(3)，滑动器具有平面形状、并面对着要被支撑的目标(21)的空气静力支承表面(31A-31D)。在形成空气静力支承表面(31A-31D)的多孔层(32A-32D)的背侧，滑动器(3)具有供气通道(33A-33D)，包括以沿着滑动轴(2)要被支撑的表面(21)的边缘的图案设置的供气槽。由此可以获得实现更高精度的线性引导的直接浮动装置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】根据直接浮动装置的一个实施例的气体滑动装置(1)具有矩形的滑动轴(2)，以及框架形状的滑动器(3)，滑动器具有平面形状、并面对着要被支撑的目标(21)的空气静力支承表面(31A-31D)。在形成空气静力支承表面(31A-31D)的多孔层(32A-32D)的背侧，滑动器(3)具有供气通道(33A-33D)，包括以沿着滑动轴(2)要被支撑的表面(21)的边缘的图案设置的供气槽。由此可以获得实现更高精度的线性引导的直接浮动装置。【专利说明】直接浮动装置
本专利技术涉及一种直接浮动装置(direct levitat1n device),在没有接触的情况下，该装置相对于滑动轴使滑动器沿着轴中心方向运动，同时利用空气静力支承(aerostatic bearing)使滑动器从滑动轴浮起,更特别地，本专利技术涉及一种能够获得更高精度的线性引导的供气通道结构。
技术介绍
作为沿着矩形滑动轴(固定主体)的轴中心方向的方向引导绕着该滑动轴外周表面设置的滑动器(可移动主体)的气体滑动装置(直接浮动装置)，专利文献I中所描述的用于在真空室中传输半导体等的引导装置是已知的。 该引导装置包括:长方体形状的滑动轴，其在外周上具有四个平面形状的引导表面；以及管形滑动器，该管形滑动器具有运动表面，每一表面面对着内周中的滑动轴的对应引导表面。 沿着滑动轴轴中心方向(滑动器移动方向)的气垫设置在滑动轴四个引导表面的每一个上，且到达所有气垫的公共压缩气体供给流动路径被设置在滑动轴内侧。此外，在滑动轴的四个引导表面中每一个上，收集供给的压缩气体的环形收集槽绕着对应的气垫形成，以及到达收集槽的排出路径被设置在滑动轴内侧。 在这种结构中，一旦压缩气体提供到滑动轴供给流动路径，压缩空气在相同的压力下从滑动轴的四个引导表面的气垫喷出，从而在滑动轴的外周表面(四个引导表面)以及滑动器的内周表面(四个运动表面)之间形成气层，从而使得滑动器可以在滑动器相对于滑动轴浮起的状态下沿着滑动轴的轴中心方向移动。此外，由于从滑动轴的每个引导表面上的气垫喷出的压缩气体被绕着对应气垫的收集槽收集，压缩气体通过滑动轴中的排出路径排出到真空腔的外侧，而不会在滑动轴的引导表面和滑动器的运动表面之间泄漏。 引用列表 专利文献 专利文献1:日本专利申请特开N0.2011-247405。
技术实现思路
技术问题 在专利文献I中所述的引导装置滑动轴其引导表面中，仅靠近中央区域设置气垫，所述中央区域包括在专利文献I所描述的引导装置的滑动轴的引导表面中沿着滑动轴的轴中心方向的中心线，但所述气垫不靠近滑动轴宽度方向的侧部设置。因此，压缩气体不可能在宽度方向上送到滑动轴引导表面以及滑动器运动表面两者侧部的附近。因此，可以认为在滑动轴宽度方向上，滑动轴引导表面和滑动器运动表面之间间隙中的压力从设置气垫的中央区域向着滑动轴运动表面的两侧减少。在产生这样的压力梯度时，例如，如果负载变化(如冲击)施加到滑动轴或者滑动器，滑动器和滑动轴可能绕着滑动轴的轴中心相对地摆动。 此外，在专利文献I中所述的引导装置中，在结构中，压缩气体不可能沿轴中心方向送到滑动轴引导表面以及滑动器运动表面两者的端部附近。因此，当弯曲载荷施加到滑动轴时，滑动轴可能弯曲且滑动器的直线稳定性降低。 本专利技术根据上述情况而做出，且本专利技术的目的在于提供能够实现更高精度线性引导的直接浮动装置。 问题的解决方案 为了解决上述问题，根据本专利技术的气体滑动装置包括: 柱形滑动轴，其具有沿着轴中心方向的多个侧表面；及 滑动器，其包括绕着滑动轴的轴中心围绕滑动轴的内壁表面，且每一个内壁表面面对着滑动轴的一个侧表面，滑动器沿着轴中心方向相对于滑动轴移动， 在滑动轴的侧表面以及滑动器的内壁表面的相对表面中，任意一个表面都包括空气静力支承表面，其在不接触的情况下，支撑其他作为要被支撑的目标表面的表面，及 在滑动轴和滑动器中，具有空气静力支承表面的一部分具有: 基座部件，其具有槽形成表面，每一个槽形成表面面向对应的要被支撑的目标表面,且在每一个槽形成表面上供气槽以沿着空气静力支承表面边缘的方式形成,从空气静力支承表面向着要被支撑的每一目标表面喷出的压缩气体供给到供气槽；以及 多孔层，堆叠在基座部件的槽形成表面上并形成空气静力支承表面。 本专利技术的有益效果 根据本专利技术，足够的浮力作用在矩形滑动轴的每一侧表面或者面对着滑动轴的每一侧表面的滑动器内壁的外周区域上，这样能够防止滑动器或者滑动轴绕着其轴中心摆动，以及增加滑动轴对抗力矩的刚度。结果，能够实现更高精度的线性引导。 【专利附图】【附图说明】 图1㈧为根据本专利技术一个实施方式的气体滑动装置I的外部视图，图1(B)为图UA)中所示的气体滑动装置I的A-A截面图。 图2(A)为滑动器3的外部视图，图2 (B)为图2 (A)所示滑动器3的B-B截面图。 图3(A)和3 (B)为在滑动器3中设置为相互面对的两块板30B和30D的前视图和底视图，图3 (C)和⑶为图3 (A)中所示板30B和30D的C-C截面图以及D-D截面图。 图4(A)和4 (B)为在滑动器3中设置为相互面对的另两块板30A和30C中的一块板30A的前视图和后视图，图4(C) ,4(D)和4(E)为图4(A)中所示的板30A的E-E、F-F及G-G截面图。 图5㈧为在滑动器3中设置为相互面对的其他两块板30A和30C中的另一块板30C的前视图，图5⑶、5 (C)和5 (D)为图5 (A)所示的板30A的H_H、1-1及G-G截面图。 图6为解释施加到滑动轴2的浮力的视图。 【具体实施方式】 下面将参照【专利附图】【附图说明】本专利技术的一个实施方式。 首先，对根据该实施例的气体滑动装置I的结构进行说明。此处，滑动轴2通过固定滑动器3在其纵向方向上得到线性引导的结构将通过示例进行描述，在示例中气体滑动装置I被用作需要高精度定位的例如半导体安装装置的高精度定位装置的Z轴可移动机构。 图1 (A)为根据该实施例的气体滑动装置的外部视图，而图1⑶为这个气体滑动装置I的A-A截面图。此外，图2(A)为形成这个气体滑动装置I的滑动器3其外部视图，而图2(B)为这个滑动器3的B-B截面图。为了进行解释，在正交坐标系中，滑动轴2的纵向被定义为z,而滑动轴2的水平宽度和竖直宽度方向被定义为图1(A)中的X和y,其他附图将利用该坐标系进行充分说明。 如图所示，根据该实施例的气体滑动装置I包括:固定到高精度定位装置等的z轴上的滑动器3，以及滑动轴2，其外周21在不接触的情况下由滑动器3支撑，并沿着滑动器3的轴中心z (即z方向)引导。 滑动轴2具有长方体的形状，其具有对应于所需移动距离的长度，且沿着滑动器3的轴中心z的四个侧表面21 (其中两个表面未示出)形成了要通过滑动器3的非接触支撑来引导的表面21 (此后称之为要被支撑的目标表面21)。此外，根据高精度定位装置的应用，在滑动轴2的一端表面22上，比如，用来固定用于吸住工件的吸附夹头的保持件的螺孔25以及使得来自减少吸附夹头中压力的真空泵的抽吸管通过的吸附路径24的开口也在该端表面上形成。 同时，滑动器3具有框架形本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种直接浮动装置，包括：柱状滑动轴，其包括沿着轴中心方向的多个侧表面；和滑动器，其包括绕滑动轴的轴中心围绕滑动轴的内壁表面，且每一内壁表面面对着滑动轴的一个侧表面，滑动器相对于滑动轴沿着轴中心的方向移动；在滑动轴的侧表面和滑动器的内壁表面中的相对表面中，任意一个表面包括在不接触另一表面的情况下支撑作为要被支撑的目标表面的另一表面的空气静力支承表面；在滑动轴和滑动器中，具有空气静力支承表面的一部分包括：基体部件，其具有槽形成表面，每个槽形成表面面向对应的要被支撑的目标表面，并且在每个槽形成表面上以沿着空气静力支承表面的边缘的图案形成供气槽，要从空气静力支承表面喷向每个要被支撑的目标表面的压缩气体被提供给供气槽，以及多孔层，堆叠在基体部件的槽形成表面上，并形成空气静力支承表面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：上田智士，
申请(专利权)人：奥依列斯工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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