一种轨道导向电极制造技术

技术编号:10736843 阅读:61 留言:0更新日期:2014-12-10 12:27
本实用新型专利技术公开了一种轨道导向电极,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。本实用新型专利技术将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种轨道导向电极,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。本技术将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。【专利说明】一种轨道导向电极
本技术涉及镀铝机蒸发领域,尤其是一种轨道导向电极。
技术介绍
在真空铝膜机的应用中,镀铝机蒸发箱中间的坩埚(氮化硼)装夹一直是个大问 题,因为在镀铝过程中,坩埚必须保持固定位置不变,而在镀铝完成后需要对之进行拆卸清 理,国内的镀铝机通常在正极铜轴上装配弹簧,在此处安装弹簧,从效果上讲,作用上已经 达到,但是考虑到弹簧的线性运动不是很精确,偶尔发生故障是弹簧不但发生轴向的移动, 还发生细微的径向移动,此移动导致电极的导电性能下降。而且目前国内不做导向结构,设 备使用寿命短,出现问题时要进行花费巨大的维修,造成资源的浪费,成本提高。为解决这 些问题,特提出一种轨道导向电极。
技术实现思路
针对上述问题,本技术旨在提供一种电极的稳定性高,使用寿命长的轨道导 向电极。 为实现该技术目的,本技术的方案是: -种轨道导向电极,包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固定板、绝缘胶 木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正极铜轴下端 设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定 在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在 电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极 铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。 作为优选,所述坩埚为氮化硼。 作为优选,所述直线导轨安装在蒸发箱底部上。 本技术将直线导轨与蒸发电极连接一起,确保电极运行的运动轨迹,安装有 绝缘胶木套,避免了蒸发箱与正电极的接触,并通过紧固装置,完全确保电极的直线性往复 运动,提高了电极的稳定性。从而很大程度的提高运动的可靠性,使用寿命长。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术的结构示意图。 【具体实施方式】 下面结合附图和具体实施例对本技术做进一步详细说明。 如图1所示,本技术实施例的一种轨道导向电极,包括正极铜轴1、固体板2、 正电极墙板3、正极铜轴固定板4、绝缘胶木套5、直线导轨6、电极导向板7、弹性装置8、正 极挡热片9、坩埚10和负极铜轴11,所述正极铜轴1下端设有固体板2和正极铜轴固定板 4,所述固体板2与正极铜轴固定板4连接,所述正电极墙板3固定在正极铜轴1的下端,所 述绝缘胶木套5设置在正极铜轴固定板4的下端,所述直线导轨6安装在电极导向板7的 上端,所述弹性装置8连接在电极导向板7的一端,所述正极挡热片9固定在正极铜轴1的 一端,所述坩埚10 -端连接在负极铜轴11上。 作为优选,所述坩埚10为氮化硼。 作为优选,所述直线导轨6安装在蒸发箱底部上。 本技术的工作原理为在蒸发箱底部装上直线导轨6,通过装配丝杆和弹簧的 弹性装置8,实现电极导向板7的左右来回的直线运动,装上绝缘胶木套5,避免蒸发箱与正 电极的接触,最后通过固体板2和正极铜轴固定板4的紧固装置,完全确保正极铜轴1的直 线性往复运动,提高电极的稳定性。 以上所述,仅为本技术的较佳实施例,并不用以限制本技术,凡是依据本 技术的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进,均应包含在本 技术技术方案的保护范围之内。【权利要求】1. 一种轨道导向电极,其特征在于:包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固 定板、绝缘胶木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正 极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电 极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线 导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片 固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。2. 根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于:所述坩埚为氮化硼。3. 根据权利要求1所述的一种轨道导向电极,其特征在于:所述直线导轨安装在蒸发 箱底部上。【文档编号】C23C14/26GK203999788SQ201420425155【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月31日 优先权日:2014年7月31日 【专利技术者】陈生贩, 江裕捺, 陈生镇, 田晓东 申请人:上海宝镀真空设备科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种轨道导向电极,其特征在于:包括正极铜轴、固体板、正电极墙板、正极铜轴固定板、绝缘胶木套、直线导轨、电极导向板、弹性装置、正极挡热片、坩埚和负极铜轴,所述正极铜轴下端设有固体板和正极铜轴固定板,所述固体板与正极铜轴固定板连接,所述正电极墙板固定在正极铜轴的下端,所述绝缘胶木套设置在正极铜轴固定板的下端,所述直线导轨安装在电极导向板的上端,所述弹性装置连接在电极导向板的一端,所述正极挡热片固定在正极铜轴的一端,所述坩埚一端连接在负极铜轴上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈生贩江裕捺陈生镇田晓东
申请(专利权)人:上海宝镀真空设备科技有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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