一种新型真空舱前级泵机组制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型真空舱前级泵机组，它涉及真空泵机组领域，第一罗茨泵与第二罗茨泵连接，第二罗茨泵与第三罗茨泵连接，第三罗茨泵通过蝶阀二通与蝶阀和泵架弯头连接，泵架弯头的一端与内置管道泵架连接，内置管道泵架上安装有第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，其中第一过滤器与第一旋片泵连接，第二过滤器与第二旋片泵连接，第三过滤器与第三旋片泵连接。它结构设计合理，安装简单，使用方便，相比之前的结构，该结构设计缩短了三分之一的抽气时间，大大的提高了工作效率，同时配合便携式可拆装的过滤器，大大增加了旋片泵的使用寿命，泵架上的罗茨泵间减少了90°弯头，使气流效率增加了10%以上。

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空舱前级泵机组
本技术涉及一种新型真空舱前级泵机组，属于真空泵机组

技术介绍
水环真空机组以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的，水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利，因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，而且与此同时又保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率的优点。它能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能，或者是真空系统不允许油污染时更为明显。如果配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下,还能够抽除易燃易爆的气体。普通的罗茨真空泵是不能单独使用的，必须配上合适的前级真空泵组成机组使用，前级真空泵的作用是降低罗茨真空泵的排出压力，使罗茨真空泵的进、排气压差和压缩比被控制在一定的范围内。由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速很重要，否则会使罗茨真空泵出现过热、过载或咬死等情况，影响整个真空泵机组的工作状况。
技术实现思路
针对上述问题，本技术要解决的技术问题是提供一种新型真空舱前级泵机组。本技术的一种新型真空舱前级泵机组，它包含第一罗茨泵、第二罗茨泵、第三罗茨泵、蝶阀二通、蝶阀、泵架弯头、内置管道泵架、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第一旋片泵、第二旋片泵、第三旋片泵，第一罗茨泵与第二罗茨泵连接，第二罗茨泵与第三罗茨泵连接，第三罗茨泵通过蝶阀二通与蝶阀和泵架弯头连接，泵架弯头的一端与内置管道泵架连接，内置管道泵架上安装有第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，其中第一过滤器与第一旋片泵连接，第二过滤器与第二旋片泵连接，第三过滤器与第三旋片泵连接。本技术的有益效果：它结构设计合理，安装简单，使用方便，相比之前的结构，该结构设计缩短了三分之一的抽气时间，大大的提高了工作效率，同时配合便携式可拆装的过滤器，大大增加了旋片泵的使用寿命，泵架上的罗茨泵间减少了90°弯头，使气流效率增加了10%以上。附图说明：为了易于说明，本技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。图1为本技术的结构示意图。1-第一罗茨泵；2-第二罗茨泵；3-第三罗茨泵；4-蝶阀二通；5-蝶阀；6-泵架弯头；7-内置管道泵架；8-第一过滤器；9-第二过滤器；10-第三过滤器；11-第一旋片泵；12-第二旋片泵；13-第三旋片泵。具体实施方式：如图1所示，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含第一罗茨泵1、第二罗茨泵2、第三罗茨泵3、蝶阀二通4、蝶阀5、泵架弯头6、内置管道泵架7、第一过滤器8、第二过滤器9、第三过滤器10、第一旋片泵11、第二旋片泵12、第三旋片泵13，第一罗茨泵1与第二罗茨泵2连接，第二罗茨泵2与第三罗茨泵3连接，第三罗茨泵3通过蝶阀二通4与蝶阀5和泵架弯头6连接，泵架弯头6的一端与内置管道泵架7连接，内置管道泵架7上安装有第一过滤器8、第二过滤器9和第三过滤器10，其中第一过滤器8与第一旋片泵11连接，第二过滤器9与第二旋片泵12连接，第三过滤器10与第三旋片泵13连接。本具体实施方式的工作原理：开机时打开蝶阀5，同时启动第一旋片泵11、第二旋片泵12和第三旋片泵13，经过第一过滤器8、第二过滤器9和第三过滤器10以箭头所示方向抽气，1分钟后开启第一罗茨泵1、第二罗茨泵2和第三罗茨泵3，此时气流通过蝶阀二通4经过泵架弯头6，经过第一过滤器8、第二过滤器9和第三过滤器10，将超过10000L/s的气流送至第一旋片泵11、第二旋片泵12和第三旋片泵13，通过该结构的设计，将20㎡的空间由大气状态抽至0.1pa只需要6分钟的时间。本具体实施方式结构设计合理，安装简单，使用方便，相比之前的结构，该结构设计缩短了三分之一的抽气时间，大大的提高了工作效率，同时配合便携式可拆装的过滤器，大大增加了旋片泵的使用寿命，泵架上的罗茨泵间减少了90°弯头，使气流效率增加了10%以上。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型真空舱前级泵机组，其特征在于：它包含第一罗茨泵(1)、第二罗茨泵(2)、第三罗茨泵(3)、蝶阀二通(4)、蝶阀(5)、泵架弯头(6)、内置管道泵架(7)、第一过滤器(8)、第二过滤器(9)、第三过滤器(10)、第一旋片泵(11)、第二旋片泵(12)、第三旋片泵(13)，第一罗茨泵(1)与第二罗茨泵(2)连接，第二罗茨泵(2)与第三罗茨泵(3)连接，第三罗茨泵(3)通过蝶阀二通(4)与蝶阀(5)和泵架弯头(6)连接，泵架弯头(6)的一端与内置管道泵架(7)连接，内置管道泵架(7)上安装有第一过滤器(8)、第二过滤器(9)和第三过滤器(10)，其中第一过滤器(8)与第一旋片泵(11)连接，第二过滤器(9)与第二旋片泵(12)连接，第三过滤器(10)与第三旋片泵(13)连接。

【技术特征摘要】
1.一种新型真空舱前级泵机组，其特征在于：它包含第一罗茨泵(1)、第二罗茨泵(2)、第三罗茨泵(3)、蝶阀二通(4)、蝶阀(5)、泵架弯头(6)、内置管道泵架(7)、第一过滤器(8)、第二过滤器(9)、第三过滤器(10)、第一旋片泵(11)、第二旋片泵(12)、第三旋片泵(13)，第一罗茨泵(1)与第二罗茨泵(2)连接，第二罗茨泵(2)与第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈生贩，江裕捺，陈生镇，王蕾，
申请(专利权)人：上海宝镀真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31