一种传输装置及等离子体加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种传输装置及等离子体加工设备，其用于传输被加工工件，且包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；抓持部件位于固定部件上，并且与固定部件可相对滑动地连接；抓持部件用于抓取被加工工件；间接传动机构设置于固定部件上，其用于在直线驱动单元驱动固定部件作直线往复运动时，同步带动抓持部件相对于固定部件滑动，并且抓持部件相对于固定部件滑动的方向与固定部件移动的方向相同。本发明专利技术提供的传输装置，其不仅结构简单、易于控制且制造成本较低，而且传输距离较大。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种传输装置及等离子体加工设备，其用于传输被加工工件，且包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；抓持部件位于固定部件上，并且与固定部件可相对滑动地连接；抓持部件用于抓取被加工工件；间接传动机构设置于固定部件上，其用于在直线驱动单元驱动固定部件作直线往复运动时，同步带动抓持部件相对于固定部件滑动，并且抓持部件相对于固定部件滑动的方向与固定部件移动的方向相同。本专利技术提供的传输装置，其不仅结构简单、易于控制且制造成本较低，而且传输距离较大。【专利说明】一种传输装置及等离子体加工设备
本专利技术涉及微电子加工
，具体地，涉及一种传输装置及等离子体加工设备。
技术介绍
在半导体、LED芯片、液晶显示屏等制造工艺中，需要将晶片或基板等被加工工件从大气环境中逐步传送到真空反应腔室中进行工艺处理，完成工艺后再从反应腔室传送出来。这一过程需要一套由传输装置、真空设备和检测设备等组成的传输系统，其中最重要就是传输装置，这是一种能够在大气或真空环境中搬运被加工工件的自动化机械手臂，因此也经常被称为传输机械手或机器人。 在传输被加工工件时，通常希望使用的传输装置能够满足以下要求:1)传输距离要大，但体积要小；2)重复性精度高；3)较高的结构刚度；4)性价比高，成本较低。而现有的传输装置难以完全满足上述所有要求。 如图1 所不的一种常见的 SCARA机械臂(Selective Compliance Assembly RobotArm，选择顺应性装配机器手臂)，其模拟了人的胳臂结构，采用两段式关节手臂实现传输动作，具体地，机械臂包括转向驱动机构101、两节关节臂102以及抓持部件103。其中，在两节关节臂102的连接处设置有同步带、钢带等的联动部件(图中未示出)，并且，两节关节臂102中的其中一节的自由端与转向驱动机构101的驱动轴连接，其中另一节的自由端与抓持部件103可旋转地连接。转向驱动机构101包括两个旋转电机，用以分别独立地控制两节关节臂102转动相应的角度，并且在转动过程中，两节关节臂102借助联动部件实现同步联动，从而带动抓持部件103作直线运动。容易理解，两节关节臂102各自的转动角度决定了抓持部件103作直线运动的方向和位移。 在实际应用中，当上述机械臂处于收缩状态时，其整体长度仅为一节关节臂的长度，而当上述机械臂处于展开状态时，其整体长度最大能够达到两节关节臂的长度之和，因此该机械臂具有结构紧凑，传输距离大，动作灵活以及应用广泛等优点。然而，这种机械臂在实际应用中不可避免地存在以下问题: 其一，上述机械臂的两节关节臂102为悬臂结构，该结构的刚度较差，且在运动过程中会导致抓持部件103产生轻微摆动，影响传送的精度； 其二，由于两节关节臂102各自的转动角度决定了抓持部件103作直线运动的方向和位移，因而需要合成计算两节关节臂102的旋转运动才能获得抓持部件103的直线运动，这不仅使得运算过程复杂，而且由于需要借助两个旋转电机进行驱动，导致机械臂的结构复杂，且制造成本较高。 图2为现有技术中另一种常见的机械臂的结构示意图，请参阅图2，其包括驱动源201 (包括旋转电机和减速器)、丝杠202、抓持部件203和转向驱动装置204。其中，驱动源201与丝杠202连接，用以驱动丝杠202转动；在丝杠202上设置有与之相配合的滑动部件(图中未示出)，在丝杠202转动时，该滑动部件可随丝杠202的正、反转而沿丝杠202的轴向作直线往复运动；抓持部件203安装于该滑动部件上，在滑动部件作直线往复运动时，其带动抓持部件203作直线往复运动；转向驱动装置204安装于丝杠202的下方，用以驱动整个机械臂转动，从而可以改变抓持部件203的直线运动的方向。 虽然上述机械臂的结构简单、易于控制且成本较低，但是，由于受到机械臂整体长度的限制，抓持部件203可移动的最大行程即为丝杠202在其轴向上的长度，导致机械臂的传输距离较短，从而可能无法满足对传输距离要求较高的场合。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种传输装置及等离子体加工设备，其不仅结构简单、易于控制且制造成本较低，而且传输距离较大。 本专利技术提供的一种传输装置，用于传输被加工工件，所述传输装置包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，所述直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；所述抓持部件，位于所述固定部件上，并且与所述固定部件可相对滑动地连接；所述抓持部件用于抓取被加工工件；所述间接传动机构设置于所述固定部件上，其用于在所述直线驱动单元驱动所述固定部件作直线往复运动时，同步带动所述抓持部件相对于所述固定部件滑动，并且所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的方向与所述固定部件移动的方向相同。 其中，所述间接传动机构包括:定固定件、动固定件、两个传动轮和挠性件，其中:所述两个传动轮固定在所述固定部件上，且沿所述固定部件的直线运动方向间隔设置；所述挠性件为围绕所述两个传动轮缠绕一周的环形结构；所述定固定件分别与所述直线驱动单元和所述挠性件固定连接；所述动固定件分别与所述抓持部件和所述挠性件固定连接；其中，所述定固定件和动固定件分别位于所述两个传动轮之间的两条所述挠性件上；所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的距离与所述固定部件移动的距离相同；并且，所述定固定件和动固定件在所述挠性件上的位置被设置为:在所述直线驱动单元驱动所述固定部件完成直线运动的最大行程的过程中，所述定固定件和动固定件均不会与所述两个传动轮中的任意一个发生碰撞。 其中，在所述固定部件上设置有直线导轨，并且在所述抓持部件上设置有和所述直线导轨滑动配合的第一滑动件。 其中，所述固定部件为一水平板，所述抓持部件与所述水平板滑动连接；所述两个传动轮均固定在所述水平板上，且所述两个传动轮的旋转轴垂直于所述水平板所在平面；或者，所述固定部件为由水平板和竖直板形成的组合板，所述抓持部件与所述水平板滑动连接；所述两个传动轮固定在所述竖直板上，且二者的旋转轴垂直于所述竖直板所在平面。 其中，所述挠性件为传动带，所述两个传动轮为带轮；或者，所述挠性件为传动链，所述两个传动轮为链轮；或者，所述挠性件为传动绳，所述两个传动轮为绳轮。 其中，所述直线驱动单元包括旋转电机、丝杠和第二滑动件，其中，所述丝杠与所述旋转电机的驱动轴固定连接；所述第二滑动件与所述固定部件固定连接，且与所述丝杠相配合；所述旋转电机用于驱动所述丝杠顺时针或逆时针旋转，以使所述丝杠带动所述滑动件和固定部件作直线往复运动。 其中，所述传输装置还包括转向驱动单元，所述转向驱动单元用于驱动所述直线驱动单元、固定部件、抓持部件以及间接传动机构同时旋转。 其中，所述传输装置还包括安装板，所述直线驱动单元、固定部件、抓持部件以及间接传动机构均通过所述安装板与所述转向驱动单元连接。 其中，所述转向驱动单元，包括旋转驱动源和传动机构，所述旋转驱动源用于借助所述传动机构驱动所述直线驱动单元旋转，所述传动机构，包括:支架和传动组件，其中:所述支架位于所述安装板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传输装置，用于传输被加工工件，其特征在于，所述传输装置包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，所述直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；所述抓持部件，位于所述固定部件上，并且与所述固定部件可相对滑动地连接；所述抓持部件用于抓取被加工工件；所述间接传动机构设置于所述固定部件上，其用于在所述直线驱动单元驱动所述固定部件作直线往复运动时，同步带动所述抓持部件相对于所述固定部件滑动，并且所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的方向与所述固定部件移动的方向相同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11