传感器元件、电子设备、以及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种传感器元件、电子设备、以及移动体，其能够抑制可动体与基板、或可动体与固定电极的抵接。传感器元件设有：检测电极部；可动体，其与检测电极部对置设置；突起部，在从垂直方向俯视检测电极部时，所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中，并朝向所述可动体而突出，所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种传感器元件、电子设备、以及移动体，其能够抑制可动体与基板、或可动体与固定电极的抵接。传感器元件设有：检测电极部；可动体，其与检测电极部对置设置；突起部，在从垂直方向俯视检测电极部时，所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中，并朝向所述可动体而突出，所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。【专利说明】传感器元件、电子设备、以及移动体
本专利技术涉及传感器元件、电子设备、以及移动体。
技术介绍
一直一来，作为检测加速度等物理量的传感器元件，众所周知一种传感器元件，其具备以可摆动的方式被支承部支承的作为可动电极的可动体、和配置在与可动体对置的位置处的作为固定电极部的检测电极部。在这种传感器元件中，通过可动体对应于施加在该传感器元件上的力而进行摆动，从而使可动体与检测电极部之间的距离发生变化。根据对应于该距离的变化而在两个电极部之间产生的电容变化，而对施加于传感器元件上的加速度等进行检测。例如，专利文献I中公开了一种电容型传感器元件，其具备可动电极以及相对于该可动电极具有间隙并在绝缘层上与其间隔设置的固定电极。 但是，在设置有固定电极的绝缘层带电的情况下，该带电所引起的静电引力(吸引力)有可能导致可动电极被吸引到固定电极侧。由于可动电极被吸引到固定电极侧并与固定电极抵接将导致两个电极之间产生的静电电容丧失(短路)，因此还存在对加速度等的检测带来影响的问题。 专利文献1:日本专利第4605087号公报
技术实现思路
本专利技术为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，能以下述的方式或应用例来实现。 应用例I 本应用例中所述的传感器元件的特征在于，设有:检测电极部，可动体，其与检测电极部对置设置；突出部，在从垂直方向俯视观察检测电极部时，所述突出部被设置在设有检测电极部的区域中，并朝向可动体而突出，突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。 根据这样的传感器元件，设置有检测电极部和与检测电极部对置设置的可动体。此外，以从设有检测电极部的区域朝向可动体而突出的方式设置有表面的至少一部分为绝缘体的突起部。 可动体能够根据施加在传感器元件上的加速度等而进行位移。通过对置地设置检测电极部和可动体，从而使二者之间产生静电电容。静电电容通过施加在传感器元件上的加速度等而随着检测电极部与可动体之间的间隙变化而发生变动。 传感器元件能够根据静电电容的变化而对被施加的加速度等进行检测。 可动体在过度位移的情况下与突起部抵接。可动体通过与表面的至少一部分由绝缘材料构成的突起部抵接，从而被抑制了与检测电极部的接触及短路，从而能够抑制可动体和检测电极部之间产生的静电电容的丧失。 因此，可获得抑制了可动体和检测电极部的抵接、且即使被施加了在过度的加速度等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件。 应用例2 在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，检测电极部包括设置在与可动体对置的位置处的第一检测电极部和第二检测电极部，突起部包括第一突起部和第二突起部，在从垂直方向俯视观察检测电极部时，该第一突起部被设置在设有第一检测电极部的区域中，并朝向可动体而突出，该第二突起部被设置在设有第二检测电极部的区域中，并朝向可动体而关出。 根据这样的传感器元件，包括第一检测电极部以及第二检测电极部，并且以与这些检测电极部对置的方式设置了可动体。另外，设有表面的至少一部分为绝缘体的第一突起部和第二突起部。第一突起部以从设有第一检测电极部的区域朝向可动体而突出的方式被设置。另外，第二突起部以从设有第二检测电极部的区域朝向可动体而突出的方式被设置。 可动体在通过施加在传感器元件上的加速度等而发生了过度位移时，将与第一突起部或第二突起部、或与两个突起部抵接。可动体通过与表面的至少一部分由绝缘材料构成的第一突起部或第二突起部、或与两个突起部抵接，从而被抑制了与检测电极部的接触以及短路，由此能够进一步抑制可动体与检测电极部之间产生的静电电容的丧失。 因此，可获得抑制了可动体和检测电极部之间的抵接，且即使在施加了过度的加速等的情况下也能够继续对加速度等进行检测的传感器元件。 应用例3 在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，检测电极部和突起部被设置在基板上，且突起部与基板被一体设置。 根据这样的传感器元件，在基板的一面上设有检测电极部与突起部。突起部从基板延伸的同时与基板一体设置。 由此，能够以简单的结构设置突起部。 应用例4 在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，在突起部的表面上设置有检测电极部，并且在突起部的与可动体抵接的部分设置有绝缘材料。 根据这样的传感器元件，在突起部的表面设有检测电极部，还在与可动体抵接的部分设有绝缘材料。 由此，通过用检测电极部覆盖由绝缘材料构成的突起部，从而能够屏蔽可动体与突起部之间产生的电场。 另外，通过在设置于突起部上的该检测电极部当中的与可动体抵接的部分处设置绝缘材料，从而能够抑制可动体和检测电极部之间的短路。 因此，即使在由绝缘材料构成的突起部上由于带电而产生了电荷，也能够抑制可动体被静电吸引在突起部上的情况。 因此可以获得抑制了对施加于传感器元件上的加速度等的错误检测的传感器元件。 应用例5 上述应用例所涉及的传感器元件优选为，设置有虚设电极部，所述虚设电极部以至少一部分与可动体的对置的方式而配置，且与检测电极部电绝缘。 根据这样的传感器元件，通过设置检测电极部和以至少一部分与可动体对置的方式配置且与该检测电极部电绝缘的虚设电极部，从而能够抑制基板露出的面积，并且屏蔽由于基板带电而产生的电荷。 因此，通过设置虚设电极部而抑制了基板露出的面积，并能够屏蔽由于带电而在基板和可动体之间产生的电场。因此，可以获得抑制了可动体被吸引到基板上的现象、且加速度等的检测精度较高的传感器元件。 应用例6 上述应用例所涉及的传感器元件优选为，检测电极部和虚设电极部被设置于基板上，且在检测电极部与虚设电极部之间、以及检测电极部的第一检测电极部与第二检测电极部之间的至少一方设置槽部。 根据这样的传感器元件，由于基板上设置的检测电极部与虚设电极部之间、以及第一检测电极部和第二检测电极部之间是电绝缘的，所以在各个电极部的边界部将产生露出基板的部分。因此，在各个电极部间且在基板上设有槽部。由于设有槽部，从而传感器元件能够扩大可动体与基板在各个电极部间露出的面之间的间隔距离。因此，通过设置槽部使得可动体与基板露出的面间的间隔距离变宽，减弱了基板带电所产生的对可动体的静电引力，从而可得到能够抑制可动体被吸引到基板上的传感器元件。 应用例7 在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，在槽部的外缘设置有朝向可动体而突出的突出部。 根据这样的传感器元件，在槽部的外缘设置有朝向可动体而突出的突出部。在这样的传感器元件中，虽然基板带电所产生的电场会从第一检测电极部和第二检测电极部的边界部泄漏，但通过设置在槽部外缘的突出部而减小了相对于第一检测电极部和第二检测电极部的电场。因此，能够抑制对在可动体与第一检测电极部之间、以及可动体与第二检测电极部之间产生的电容造成的影响。 应用例8 在上述应用例所涉及的传感器元件中，优选为，虚设电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器元件，其特征在于，设有：检测电极部；可动体,其与所述检测电极部对置设置；突起部，在从垂直方向上俯视观察所述检测电极部时，所述突起部被设置在设有所述检测电极部的区域中，并朝向所述可动体而突出，所述突起部的表面的至少一部分为绝缘材料。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高木成和，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP