一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统技术方案

本发明专利技术公开了一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，包括系统包括：第一水箱、第二水箱，其中，所述第一水箱与真空镀膜设备冷却水进水口之间连接有第一水管，所述第二水箱与所述真空镀膜设备冷却水出水口之间连接有第二水管，所述第一水箱与所述第二水箱之间连接有第三水管，其中，所述第一水管上设有第一水阀、第一水泵、第一水温检测报警器，所述第二水管上设有第二水阀、第二水泵、第二水温检测报警器、第一流速检测报警仪，所述第一水箱内设有制冷机，所述第三水管上设有第三水阀、第三水泵，实现了系统结构设计合理，对水温和水流进行准确的判断和预警，在温度和水流出现异常时进行报警，保障的冷却水的冷却效果，冷却效果较好。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，包括系统包括：第一水箱、第二水箱，其中，所述第一水箱与真空镀膜设备冷却水进水口之间连接有第一水管，所述第二水箱与所述真空镀膜设备冷却水出水口之间连接有第二水管，所述第一水箱与所述第二水箱之间连接有第三水管，其中，所述第一水管上设有第一水阀、第一水泵、第一水温检测报警器，所述第二水管上设有第二水阀、第二水泵、第二水温检测报警器、第一流速检测报警仪，所述第一水箱内设有制冷机，所述第三水管上设有第三水阀、第三水泵，实现了系统结构设计合理，对水温和水流进行准确的判断和预警，在温度和水流出现异常时进行报警，保障的冷却水的冷却效果，冷却效果较好。【专利说明】一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统
本专利技术涉及工业加工制造领域，尤其涉及一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统。
技术介绍
真空镀膜机在工业加工中经常用到，真空镀膜机具体为将靶材上的原料镀到基片上，而在加工的过程中靶材由于反应会热量积累，温度升高容易导致靶材破坏，失效，第一程度上对溅射效率和设备使用上造成影响；并且在高温时，镀膜机高温会使射枪变形，影响溅射效果，因此需要冷却系统进行冷却。 在现有技术中，主要采用冷却水系统进行冷却，对靶材进行降温处理，但是现有技术中的冷却水系统由于长期使用容易导致失效，水温不稳定，而水温的不稳定不容易被工作人员发现，进而导致生产出来的产品质量出现问题，且现有技术中的冷却水循环系统由于长期使用容易导致堵塞影响冷却效果，堵塞后工作人员也不容易发现，进而导致温度升高，镀膜机熔靶。 综上所述 ，本申请专利技术人在实现本申请实施例中专利技术技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题:在现有技术中，由于冷却水系统由于长期使用容易导致失效，水温不稳定，而水温的不稳定不容易被工作人员发现，进而导致生产出来的产品质量出现问题，且现有技术中的冷却水循环系统由于长期使用容易导致堵塞影响冷却效果，堵塞后工作人员也不容易发现，进而导致温度升高，镀膜机熔靶，所以，现有技术中的真空镀膜机冷却水系统存在结构设计不合理，对水温和水流无法进行准确的判断，导致冷却效果较差，温度升高，镀膜机熔靶，产品出现质量问题。
技术实现思路
本专利技术提供了一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，解决了现有技术中的真空镀膜机冷却水系统存在结构设计不合理，对水温和水流无法进行准确的判断，导致冷却效果较差，温度升高，镀膜机熔靶，产品出现质量问题，实现了真空镀膜机冷却水系统结构设计合理，对水温和水流进行准确的判断和预警，在温度和水流出现异常时进行报警，保障的冷却水的冷却效果，且冷却水温度较低，冷却效果较好，保障了产品质量。 为解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，包括系统包括:第一水箱、第二水箱，其中，所述第一水箱与真空镀膜设备冷却水进水口之间连接有第一水管，所述第二水箱与所述真空镀膜设备冷却水出水口之间连接有第二水管，所述第一水箱与所述第二水箱之间连接有第三水管，其中，所述第一水管上设有第一水阀、第一水泵、第一水温检测报警器，所述第二水管上设有第二水阀、第二水泵、第二水温检测报警器、第一流速检测报警仪，所述第一水箱内设有制冷机，所述第三水管上设有第三水阀、第三水栗。 其中，所述第一水管上连接有一应急进水管，所述应急进水管上设有第四水阀。 其中，所述第一水温检测报警器用于检测所述第一水管内的水温，当所述第一水管内的水温高于第一预设温度时进行报警。 其中，所述第一水温检测报警器包括:第一温度传感器、第一判断单元、第一报警单元，所述第一温度传感器用于获得所述第一水管内的水温，所述第一判断单元用于判断获得的水温是否高于所述第一预设温度，当高于所述第一预设温度时，所述第一报警单元进行报警。 其中，所述第二水温检测报警器用于检测所述第二水管内的水温，当所述第二水管内的水温低于第二预设温度时进行报警。 其中，所述第二水温检测报警器包括:第二温度传感器、第二判断单元、第二报警单元，所述第二温度传感器用于获得所述第二水管内的水温，所述第二判断单元用于判断获得的水温是否低于所述第二预设温度，当低于所述第二预设温度时，所述第二报警单元进行报警。 其中，所述冷却水通过所述第一水泵从所述第一水箱流向所述真空镀膜设备，所述冷却水通过所述第二水泵从所述真空镀膜设备流向所述第二水箱，所述冷却水通过所述第三水泵从所述第二水箱流向所述第一水箱形成冷却水循环。 其中，所述制冷机用于对所述第一水箱内的冷却水进行降温处理。 其中，所述第一流速检测报警仪包括:流速检测仪、第三判断单元、第三报警单元，所述流速检测仪用于获得所述第二水管内的冷却水流速，所述第三判断单元用于判断获得的冷却水流速是否低于第一预设流速，当低于所述第一预设流速时，所述第三报警单元进行报警。 本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点: 由于采用了将真空镀膜机冷却水系统设计为包括:第一水箱、第二水箱，其中，所述第一水箱与真空镀膜设备冷却水进水口之间连接有第一水管，所述第二水箱与所述真空镀膜设备冷却水出水口之间连接有第二水管，所述第一水箱与所述第二水箱之间连接有第三水管，其中，所述第一水管上设有第一水阀、第一水泵、第一水温检测报警器，所述第二水管上设有第二水阀、第二水泵、第二水温检测报警器、第一流速检测报警仪，所述第一水箱内设有制冷机，所述第三水管上设有第三水阀、第三水泵的技术手段，即利用三个水泵提供动力实现了水循环，且设立了第一水温检测报警器用于当进入真空镀膜设备的水温度过高时进行报警，设立了第二水温检测报警器用于对真空镀膜设备出水口流出的水温过低时进行报警，保障了水温的正常，进而保障冷却的效果，且设立了第一流速检测报警仪用于当水流速度较小，即堵塞的时候进行报警，且设立了制冷机，可以将对第一水箱内的水进行降温，使得进入真空镀膜设备的水温更低，达到更好的冷却效果，所以，有效解决了现有技术中的真空镀膜机冷却水系统存在结构设计不合理，对水温和水流无法进行准确的判断，导致冷却效果较差，温度升高，镀膜机熔靶，产品出现质量问题，进而实现了真空镀膜机冷却水系统结构设计合理，对水温和水流进行准确的判断和预警，在温度和水流出现异常时进行报警，保障的冷却水的冷却效果，且冷却水温度较低，冷却效果较好，保障了产品质量。 【专利附图】【附图说明】 图1是本申请实施例一中防止镀膜机熔靶的冷却水系统的结构示意图；其中，1-第一水箱，2-第二水箱，3-真空镀膜设备，4-第一水管，5-第二水管，6-第三水管，7-第一水阀，8-第二水阀,9-第三水阀，10-第四水阀，11-应急进水管，12-第一水泵，13-第二水泵，14-第三水泵，15-第一水温检测报警器，16-第二水温检测报警器，17-第一流速检测报警仪，18-制冷机。 【具体实施方式】 本专利技术提供了一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，解决了现有技术中的真空镀膜机冷却水系统存在结构设计不合理，对水温和水流无法进行准确的判断，导致冷却效果较差，温度升高，镀膜机熔靶，产品出现质量问题，实现了真空镀膜机冷却水系统结构设计合理，对水温和水流进行准确的判断和预警，在温度和水流出现异常时进行报本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，其特征在于，包括系统包括：第一水箱、第二水箱，其中，所述第一水箱与真空镀膜设备冷却水进水口之间连接有第一水管，所述第二水箱与所述真空镀膜设备冷却水出水口之间连接有第二水管，所述第一水箱与所述第二水箱之间连接有第三水管，其中，所述第一水管上设有第一水阀、第一水泵、第一水温检测报警器，所述第二水管上设有第二水阀、第二水泵、第二水温检测报警器、第一流速检测报警仪，所述第一水箱内设有制冷机，所述第三水管上设有第三水阀、第三水泵。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林华业，
申请(专利权)人：成都派莱克科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51