一种扫描电镜用限高装置制造方法及图纸

技术编号:10665198 阅读:157 留言:0更新日期:2014-11-20 11:11
本实用新型专利技术公开一种扫描电镜用限高装置,所述装置包括水平底座、与底座垂直连接的垂直壁、设置在所述垂直壁上用于标示样品限高的水平挡板,所述垂直壁上设置有用于水平挡板整体穿过的槽孔,所述水平挡板通过该槽孔嵌设在垂直壁上。本实用新型专利技术的扫描电镜用限高装置通过在垂直壁上设置用于标示样品限高的水平挡板,使得限高装置能更明显的显示高度限制,在挡板上贴覆标签使其清楚的显示出挡板的细微移动,还通过设置水平仪保证限高装置的水平状态,最终使扫描电镜用高度规能够简便快捷,准确的测量样品高度数据。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种扫描电镜用限高装置,所述装置包括水平底座、与底座垂直连接的垂直壁、设置在所述垂直壁上用于标示样品限高的水平挡板,所述垂直壁上设置有用于水平挡板整体穿过的槽孔,所述水平挡板通过该槽孔嵌设在垂直壁上。本技术的扫描电镜用限高装置通过在垂直壁上设置用于标示样品限高的水平挡板,使得限高装置能更明显的显示高度限制,在挡板上贴覆标签使其清楚的显示出挡板的细微移动,还通过设置水平仪保证限高装置的水平状态,最终使扫描电镜用高度规能够简便快捷,准确的测量样品高度数据。【专利说明】—种扫描电镜用限高装置
本技术涉及检测设备领域,尤其涉及一种扫描电镜用限高装置。
技术介绍
在材料检测领域,扫描电镜是常用的检测分析设备,在使用扫描电镜前,需要将样品固定到在载物台上,并严格限定样品的高度,目前主要使用扫描电镜厂商配备的如图1所示的高度规测量载物台与样品的高度。该高度规的垂直壁尺100正面设置有刻度110,该高度规测量样品高度时,视线必须要与刻度线110平行,这一技术操作动作在测量大量样品时会降低测量效率。而且由于扫描电镜对样品高度要求较为苛刻,若检测人员在检测高度时对齐刻度线的检视动作不标准,就会造成所确定的样品高度有偏差,就可能会影响后续的样品检测。 因此,现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种扫描电镜用限高装置,旨在解决使用目前扫描电镜用高度规确定样品高度时不够简便快捷,测量高度数据易出错的问题。 本技术的技术方案如下: 一种扫描电镜用限高装置,其中,所述装置包括水平底座、与底座垂直连接的垂直壁、设置在所述垂直壁上用于标示样品限高的水平挡板,所述垂直壁上设置有用于水平挡板整体穿过的槽孔,所述水平挡板通过该槽孔嵌设在垂直壁上。 所述的扫描电镜用限高装置,其中,所述水平挡板与所述槽孔接触的两侧边上设置有滑轨,所述槽孔的对应槽壁设置有与所述滑轨配合使用的滑块,通过所述滑轨与滑块的配合实现水平挡板沿所述槽孔的水平滑动。 所述的扫描电镜用限高装置,其中,所述水平滑轨的两端分别设置有限位块,通过所述垂直壁对限位块的阻挡作用对所述水平挡板沿槽孔的水平滑动进行限制。 所述的扫描电镜用限高装置,其中,所述水平挡板通过固定销固定与垂直壁的连接,所述垂直壁对应槽孔位置的的两侧边上分别设置有用于固定销插入的插孔,所述水平挡板的两侧边上分别设置有用于固定销插入的孔槽,通过对位所述插孔与孔槽并插入固定销实现所述水平挡板与垂直壁的固定连接。 所述的扫描电镜用限高装置,其中,所述水平挡板上还设置有用于标示水平挡板移动位置的标签,当所述水平挡板通过固定销与垂直壁固定连接时,所述标签边沿与槽孔边沿对齐。 所述的扫描电镜用限高装置,其中,所述标签为长条状标签,该长条状标签一部分贴覆在水平挡板的顶面,另一部分贴覆在相邻侧边上。 所述的扫描电镜用限高装置,其中,所述底座上设置有气泡式水平仪。 所述的扫描电镜用限高装置,其中,所述水平挡板设置在距离所述底座底面45mm的高度位置。 有益效果:本技术提供一种扫描电镜用限高装置,通过在垂直壁上设置用于标示样品限高的水平挡板,使得限高装置能更明显的显示高度限制,在挡板上贴覆标签使其清楚的显示出挡板的细微移动,还通过设置水平仪保证限高装置的水平状态,最终使扫描电镜用高度规能够简便快捷,准确的测量样品高度数据。 【专利附图】【附图说明】 图1为现有的扫描电镜用高度规的结构示意图。 图2为本技术具体实施例中扫描电镜用限高装置的结构示意图。 图3为图2中字母A的放大结构示意图。 【具体实施方式】 本技术提供一种扫描电镜用限高装置,为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确,以下对本技术进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。 如图2所示一种扫描电镜用限高装置的具体实施例,其中,所述装置包括水平底座220、与底座垂直连接的垂直壁210、设置在所述垂直壁上用于标示样品限高的水平挡板230,所述垂直壁上设置有用于水平挡板整体穿过的槽孔,所述水平挡板通过该槽孔嵌设在垂直壁上。所述水平挡板与所述槽孔接触的两侧边上设置有滑轨231,所述槽孔的对应槽壁设置有与所述滑轨配合使用的滑块(图中未给出),通过所述滑轨与滑块的配合实现水平挡板沿所述槽孔的水平滑动。 扫描电镜对于样品高度的要求非常严格,使用上述水平挡板来标示样品的限高,样品可以直接本专利技术的限高装置的水平挡板进行比较而不必采用水平目视方法来确定样品高度是否满足要求,使得高度测量和判断更加便捷。 如图3所示,所述水平滑轨的两端还分别设置有限位块234,通过所述垂直壁210对限位块234的阻挡作用对所述水平挡板沿槽孔的水平滑动进行限制。这样可以避免水平挡板移动幅度过大而脱出滑轨。 如图2所示,所述水平挡板还可以通过固定销232固定与垂直壁的连接,其中,所述垂直壁210对应槽孔位置的的两侧边上分别设置有用于固定销232插入的插孔,所述水平挡板的两侧边上分别设置有用于固定销插入的孔槽,通过对位所述插孔与孔槽并插入固定销实现所述水平挡板与垂直壁的固定连接。更具体的,可以在垂直壁插孔上方设置一凸起,例如螺栓,固定销通过细线233与该凸起连接。由此可以使固定销与高度规连接在一起,不容易丢失,而且方便固定销的使用。较佳实施例中,在所述水平挡板通过固定销固定的情况下,露出垂直壁的水平挡板的部分的长度最佳为5_。 如图3所示,所述水平挡板上还设置有用于标示水平挡板移动位置的标签235,当所述水平挡板通过固定销与垂直壁固定连接时,所述标签边沿与槽孔边沿对齐。这样标签就能起到标示水平挡板位置的作用,当水平挡板从当前位置水平滑动后,标签位置必然变化,其边沿就无法与槽孔边沿对齐,这样的位置变换就能直观地通知操作员,水平挡板已经发生了移动。 该标签主要配合水平挡板在可滑动状态的使用,具体为,当扫描电镜样品观测表面具有一定的弹性且样品高度与水平挡板高度及其近似或略高,加入挡板为固定不动的,在使用本专利技术的限高装置测量样品高度时,样品表面就可能通过一定形变(人可能察觉不到该样品表面形变)被挤压进入水平挡板下,这样就会造成高度判断错误的情况。上述的样品若进入扫面电镜就可能接触到物镜,污染镜头。而本专利技术的限高装置中,水平挡板由于是高度灵活的(可滑动的),一旦有样品接触水平挡板底部,水平挡板就会在接触摩擦力的作用下移动,而操作人员可通过标签直观地判断该样品高度略高于限制高度,因此需要对样品高度进行微调。所述标签通过与槽孔边沿的相对位置显示水平挡板的细微位移,从而避免上述情况的发生,使得本专利技术限高装置对样品高度的测量更加准确、快捷。另外,该标签可以选择不同种类的物料制作,例如使用荧光贴纸,使得提示效果更好。所述标签为长条状标签,该长条状标签一部分贴覆在水平挡板的顶面,另一部分贴覆在相邻侧边上。这样操作人员不管从限高装置的侧面还是正面都能清楚地看到标签位置。 较佳实施例中。本专利技术的扫描电镜用限高装置的底座上设置有气泡式水平仪。这样可以保证高度规水平放置,使其测量结果更本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描电镜用限高装置,其特征在于,所述装置包括水平底座、与底座垂直连接的垂直壁、设置在所述垂直壁上用于标示样品限高的水平挡板,所述垂直壁上设置有用于水平挡板整体穿过的槽孔,所述水平挡板通过该槽孔嵌设在垂直壁上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:金钰
申请(专利权)人:深圳市美信检测技术有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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